在深亞微米(0.15μm及以下)集成電路制造中，后段工藝日趨重要，為降低阻容遲滯(RCDelay)，保證信號傳輸，減小功耗，有必要對后段工藝進行改進，Via阻擋層MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition，金屬有機物化學氣相淀積)TiN是其中重要研究課題之一。本論文基于薄膜電阻的理論分析，從厚度、雜質濃度和晶體結構三大薄膜電阻影響因素出發系統研究MOCVDTiN材料在平面薄膜上和真實結構中的各種性質，重點是等離子體處理(PlasmaTreatment，PT)下的晶體生長，制備循環次數的選擇對薄膜雜質濃度、晶體結構及電阻性能的影響，不同工藝薄膜在真實結構中物理形貌、晶體結構和電阻性能的表現和規律，超薄TiN薄膜(＜5nm)的實際應用等。俄歇能譜、透射電子顯微鏡和方塊電阻測試證明PT作用下雜質濃度降低，同時晶體生長，薄膜致密化而電阻率降低。PT具有飽和時間和深度，較厚薄膜需多循環制備以充分處理，發現薄膜厚度較小時(本實驗條件下為4nm)，增加循環次數雖然進一步降低了雜質濃度，但會引入界面而使薄膜電阻率增加。通過TEM觀測發現由于等離子體運動的各向異性，真實結構中PT效率在側壁遠低于頂部和底部，這導致側壁薄膜在PT后更厚。氮化鈦具有良好導電性、高熔點、高硬度及耐磨耐酸堿腐蝕等特性，在開發高耐用的催化劑載體領域具應用前景。河北醫療器械氮化鈦產品介紹

口腔是有生物化學和電化學因素影響的復雜環境，具有較強的腐蝕性。因而對應用于口腔中的金屬材料也提出了更高的要求。在磁性附著體的研究及臨床應用中，我們發現磁性附著體在口腔中長期使用后所出現的腐蝕和磨損是導致磁性附著體的固位力下降的主要原因，也是影響磁性附著體遠期應用效果的主要問題。進一步提高磁性附著體的耐腐蝕性和耐磨損性是解決這一問題的適合途徑。近年來，隨著當今各種鍍膜技術，如化學氣相沉積(chemicalvapordepositionCVD)、物物理相沉積(physicalvapordepositionPVD)、等離子體輔助化學氣相沉積(physicalchemicalvapordepositionPCVD)、激光輔助化學氣相沉積(laserchemicalvapordepositionLCVD)、離子鍍(ionplateIP)和離子束輔助沉積技術(ionbeamassisteddepositionIBAD)等不斷完善和發展，使具有高硬度、高耐磨性、良好耐腐蝕性的氮化鈦納米膜在國際和國內都得到了適合研究與應用。淮安加硬氮化鈦檢測氮化鈦有較高的導電性可用作熔鹽電解的電極以及點觸頭、薄膜電阻等材料。

1.氯化鈦的超導臨界溫度較高，可作為優良的超導材料。氮化鈦的熔點高于大多數過渡金屬氮化物，密度低于大多數金屬氮化物，從而成為一種獨特的耐火材料。氮化鈦可以作為一種膜鍍在玻璃上，在紅外線反射率大于75%的情況下，當氮化鈦薄膜厚度大于90nm時能有效提高玻璃的保溫性能。另外，調整氮化鈦中氮元素的百分含量，可以改變氮化鈦薄膜的顏色，從而達到理想的美觀效果。氮化鈦(TiN)是相當穩定的化臺物，在高溫下不與鐵、鉻、鈣和鎂等金屬反應，TiN坩堝在CO與N2氣氛下也不與酸性渣和堿性渣起作用，因此TiN坩堝是研究鋼液與一些元素相互作用的優良容器。TiN在真空中加熱失去氮，生成氮含量較低的氮化鈦。TiN有著誘人的金黃色、熔點高、硬度大、化學穩定性好、與金屬的潤濕小的結構材料、并具有較高的導電性和超導性，可應用于高溫結構材料和超導材料。

黃金能保持光澤如初,經久不變的寶貴特性;自古以來做為貨幣使用,并成為財富和永恒的象征.因而,在人們心中喚起深刻的美感,雍雅華貴,燦爛眩目的金色,成為傳統的普遍受人偏愛的色彩.為了裝飾的目的,人們希望在各種基材的物品上獲得金色的表面,仿金技術便成為表面處理工作者們不懈研討的課題. 在眾多的仿金工藝中,近年發展起來的離子沉積氮化鈦(TiN)工藝具有突出的優點.TiN涂層的膜結構穩定,不會變色;它特別耐磨,因此,足以保持被裝飾件的金色外觀于始終;另外它所消耗的原材料廉價;加工過程中無污染公害.這些優點自然引起各方面的濃厚興趣.國內在近十幾年內迅速開展了對離子沉積氮化鈦的研究和推廣應用.TiN涂層已被廣泛應用于航空、工模具、電子等加工領域，并且在刀具、模具等方面有力推動了制造業的發展。

在鎂碳磚中添加一定量的TiN，可以明顯提高鎂碳磚的抗渣侵蝕性。1)氮化鈦是優良的結構材料，可用于蒸汽噴射推進器和火箭等。在軸承和密封圈領域也大量使用氮化鈦合金，強調了氮化鈦的應用效果。2)基于氮化鈦的優異導電性，可以制作各種電極和點接觸等材料。3)氮化鈦具有高超導臨界溫度，可作為優良的超導材料。4)氮化鈦熔點高于許多過渡金屬氮化物，密度低于許多金屬氮化物，是一種獨特的耐火材料。5)氮化鈦可以作為一種膜鍍在玻璃上，紅外反射率大于75%時，氮化鈦薄膜厚度大于90nm時，可以有效提高玻璃的保溫性能。另外，通過調整氮化鈦中的氮含量，可以改變氮化鈦薄膜的顏色，達到理想的美觀。氮化鈦具有熔點高，化學穩定性好硬度大導電、導熱和光性能好等良好的理化性質。嘉興加硬氮化鈦價格

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氮化鈦具有耐腐蝕性強、抗氧化性好、化學穩定性高以及電導性好等優點。本文以陽極氧化法制得的納米TiO2薄膜、多孔結構和納米管材料為前驅體,通過氨氣高溫還原氮化法制得了納米氮化鈦薄膜、多孔結構和納米管材料。XRD和EDS分析結果表明,三種納米結構氮化鈦的化學組分均只含Ti、N兩種元素,且前驅體TiO2已經被完全轉化為氮化鈦,主要以TiN相和Ti2N相存在。SEM結果表明,高溫氮化得到的三種納米結構氮化鈦仍保持了前驅體的微觀結構,氮化鈦多孔結構和納米管均具有有序陣列特征,納米管管徑和孔道直徑均小于100nm,TiN薄膜表面具有很多大小不均的突起顆粒。四探針法測試得到三種納米氮化鈦的電阻率約為5.0×l0-7?·m,顯示了很好的電子導電性。恒電位階躍測試得到氮化鈦納米管的真實表面積為1591.2cm2,多孔結構為366.3cm2,薄膜為125.8cm2。采用線性伏安曲線和Tafel曲線研究了制備得到的三種納米結構氮化鈦電極在硫酸溶液中的電化學析氫性能。研究表明,雖然三種TiO2前驅體具有較大的比表面積,但由于其導電性較差,導致析氫過電位高,而形成氮化物后則能顯著提高其析氫能力。氮化鈦納米管電極真實表面積比較大,且高度有序的納米管陣列結構,具有比氮化鈦薄膜和多孔結構更好的析氫電催化活性。河北醫療器械氮化鈦產品介紹

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