在深亞微米(0.15μm及以下)集成電路制造中，后段工藝日趨重要，為降低阻容遲滯(RCDelay)，保證信號傳輸，減小功耗，有必要對后段工藝進行改進，Via阻擋層MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition，金屬有機物化學氣相淀積)TiN是其中重要研究課題之一。本論文基于薄膜電阻的理論分析，從厚度、雜質濃度和晶體結構三大薄膜電阻影響因素出發系統研究MOCVDTiN材料在平面薄膜上和真實結構中的各種性質，重點是等離子體處理(PlasmaTreatment，PT)下的晶體生長，制備循環次數的選擇對薄膜雜質濃度、晶體結構及電阻性能的影響，不同工藝薄膜在真實結構中物理形貌、晶體結構和電阻性能的表現和規律，超薄TiN薄膜(＜5nm)的實際應用等。俄歇能譜、透射電子顯微鏡和方塊電阻測試證明PT作用下雜質濃度降低，同時晶體生長，薄膜致密化而電阻率降低。PT具有飽和時間和深度，較厚薄膜需多循環制備以充分處理，發現薄膜厚度較小時(本實驗條件下為4nm)，增加循環次數雖然進一步降低了雜質濃度，但會引入界面而使薄膜電阻率增加。通過TEM觀測發現由于等離子體運動的各向異性，真實結構中PT效率在側壁遠低于頂部和底部，這導致側壁薄膜在PT后更厚?；诘亙灹嫉膶щ娦阅埽勺龀筛鞣N電極以及點觸頭等材料。河北注塑模具氮化鈦功能

氮化鈦陶瓷涂層具有的金黃色外表，涂覆于刀具之上雖擁有優化外觀的好處，但主要作用卻并非是為了裝飾，其具有的硬度值在韋氏硬度（HV）高達2500以上，涂覆于刀具上的厚度一般為3至5微米，相較于未進行涂層加工的原產品具有更高的耐磨性和耐熱性，使用壽命也更長。將這項技術應用在工業生產中的機械設備上，例如在齒輪滾刀上涂覆氮化鈦其壽命可延長3至4倍，在切削齒輪時可將切削速度或進給量提高更多，從而減少材料機加工時間。工業發達國家對涂層高速刀具的使用率已占高速刀具的70%，汽車行業中幾乎全部都采用涂層高速鋼刀來加工齒輪，其滾削速度可達70~150m/㎜。常州注塑模具氮化鈦鍍黑鈦改善鈦雙極板在質子交換膜(PEM)水電解槽環境中耐腐蝕和導電性能，在鈦基底表面制備碳摻雜氮化鈦復合涂層。

1.氯化鈦的超導臨界溫度較高，可作為優良的超導材料。氮化鈦的熔點高于大多數過渡金屬氮化物，密度低于大多數金屬氮化物，從而成為一種獨特的耐火材料。氮化鈦可以作為一種膜鍍在玻璃上，在紅外線反射率大于75%的情況下，當氮化鈦薄膜厚度大于90nm時能有效提高玻璃的保溫性能。另外，調整氮化鈦中氮元素的百分含量，可以改變氮化鈦薄膜的顏色，從而達到理想的美觀效果。氮化鈦(TiN)是相當穩定的化臺物，在高溫下不與鐵、鉻、鈣和鎂等金屬反應，TiN坩堝在CO與N2氣氛下也不與酸性渣和堿性渣起作用，因此TiN坩堝是研究鋼液與一些元素相互作用的優良容器。TiN在真空中加熱失去氮，生成氮含量較低的氮化鈦。TiN有著誘人的金黃色、熔點高、硬度大、化學穩定性好、與金屬的潤濕小的結構材料、并具有較高的導電性和超導性，可應用于高溫結構材料和超導材料。

46.氮化鈦具有熔點高、化學穩定性好、硬度大、導電、導熱和光性能好等良好的理化性質，在各領域具有十分重要的用途，特別是在新型金屬陶瓷領域和黃金裝飾領域。對氮化鈦粉末的工業需求越來越高，氮化鈦作為涂層價格低廉、耐磨性好，性能比真空涂層好很多，氮化鈦的應用前景非常廣闊。主要適用于以下領域：1)氮化鈦生物相容性強，可應用于臨床醫學和口腔醫學。2)氮化鈦摩擦系數低，可用作高溫潤滑劑。3)氮化鈦具有金屬光澤，作為模擬金色裝飾材料，在黃金裝飾行業具有良好應用前景的氮化鈦也可以作為金色涂料應用于珠寶行業;作為替代WC的潛在材料，可以明顯降低材料的應用成本。4)可用于研制具有強硬度和耐磨性，比普通硬質合金工具耐久性和壽命顯著提高的新型工具。氮化鈦是用于優良度的金屬陶瓷工具、噴汽推進器、以及火箭等優良的結構材料。另氮化鈦可作為高溫潤滑劑。

相關研究顯示，由于氮化鈦(TiN)屬于生物相容性較好的材料(曾經被用于冠脈支架)，因此血栓源性要遠低于鎳鈦本身。早在2004年，先健科技（深圳）有限公司就針對這一醫學困擾研發推出了一種采用高能離子沉淀涂層技術的Cera陶瓷膜封堵器，在原鎳鈦合金封堵器設計的基礎上保持原房間隔封堵器、室間隔封堵器、動脈導管未閉封堵器設計外形，利用等離子技術，在其鎳鈦合金表面均勻包裹一層氮化鈦TiN薄膜，采用離子技術，使金屬鈦鍍層與C、N、O等化合轉化為生物涂層，很大程度上提高了封堵器的耐腐蝕性以及生物組織和血液相容性。根據從Cera陶瓷膜封堵器和普通鎳鈦封堵器的動物實驗數據對比可看出：在細胞爬覆生長性能上，Cera陶瓷膜封堵器要遠優于普通鎳鈦封堵器，在提高使先心病缺損的修復的同時較好降低了血栓的風險；血小板黏附及溶血率也遠低于普通鎳鈦封堵器。氮化鈦是一種優良的結構材料。在軸承和密封環領域也多用氮化鈦合金凸顯了氮化鈦優異的應用效果。江蘇鍍鈦氮化鈦鍍黑鈦

氮化鈦是用于優良度的金屬陶瓷工具、噴汽推進器、以及火箭等結構材料，較低的摩擦系數可作為高溫潤滑劑。河北注塑模具氮化鈦功能

氮化鈦具有耐腐蝕性強、抗氧化性好、化學穩定性高以及電導性好等優點。本文以陽極氧化法制得的納米TiO2薄膜、多孔結構和納米管材料為前驅體,通過氨氣高溫還原氮化法制得了納米氮化鈦薄膜、多孔結構和納米管材料。XRD和EDS分析結果表明,三種納米結構氮化鈦的化學組分均只含Ti、N兩種元素,且前驅體TiO2已經被完全轉化為氮化鈦,主要以TiN相和Ti2N相存在。SEM結果表明,高溫氮化得到的三種納米結構氮化鈦仍保持了前驅體的微觀結構,氮化鈦多孔結構和納米管均具有有序陣列特征,納米管管徑和孔道直徑均小于100nm,TiN薄膜表面具有很多大小不均的突起顆粒。四探針法測試得到三種納米氮化鈦的電阻率約為5.0×l0-7?·m,顯示了很好的電子導電性。恒電位階躍測試得到氮化鈦納米管的真實表面積為1591.2cm2,多孔結構為366.3cm2,薄膜為125.8cm2。采用線性伏安曲線和Tafel曲線研究了制備得到的三種納米結構氮化鈦電極在硫酸溶液中的電化學析氫性能。研究表明,雖然三種TiO2前驅體具有較大的比表面積,但由于其導電性較差,導致析氫過電位高,而形成氮化物后則能顯著提高其析氫能力。氮化鈦納米管電極真實表面積比較大,且高度有序的納米管陣列結構,具有比氮化鈦薄膜和多孔結構更好的析氫電催化活性。河北注塑模具氮化鈦功能

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