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南京真空鍍膜DLC加工中心

來源: 發(fā)布時間:2023-05-18

1. 類金剛石(diamond-like carbon,DLC)涂層具有優(yōu)異的性能,應(yīng)用潛力適合.但DLC涂層的較為缺點,即內(nèi)應(yīng)力高和熱穩(wěn)定性差,限制了DLC涂層的推廣應(yīng)用.本實驗采用等離子增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)的方法,調(diào)控涂層含氮量,調(diào)節(jié)偏壓大小,以及進(jìn)行硅氮共摻.利用拉曼光譜,紅外光譜(FTIR),X射線光電子能譜(XPS)和薄膜應(yīng)力測試儀,微納米力學(xué)綜合測量系統(tǒng)等分析測試手段對涂層組織和性能進(jìn)行表征,探討了DLC涂層沉積態(tài)及退火態(tài)的組織結(jié)構(gòu)和性能的變化規(guī)律.實驗獲得如下結(jié)論:(1)對摻氮含氫類金剛石(a-CN:H)涂層而言.隨著N_2流通量增加,涂層含氮量增加,sp~3含量先增加后減小,拐點氮含量為0.12 at%.涂層中的N元素以C=N鍵為主,且C=N鍵在490°C以上溫度退火時才發(fā)生部分?jǐn)嗔?存在臨界退火溫度430°C.低于該溫度退火時,與純含氫類金剛石(a-C:H)涂層相比,摻氮涂層具有較低的sp~3→sp~2的結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變溫度.但當(dāng)退火溫度大于430°C時,摻氮涂層的結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變速率比a-C:H涂層低.即隨著涂層含氮量增加,低氮摻雜涂層的高溫?zé)岱€(wěn)定性增加.當(dāng)摻氮涂層經(jīng)430°C退火后,可以獲得具有高硬度,高導(dǎo)率,低殘余應(yīng)力和低摩擦系數(shù)等綜合性能優(yōu)異的DLC涂層類金剛石涂層(DLC)作為一種新型功能涂層材料,具有高硬度和高彈性模量、耐磨損、高結(jié)合強度等優(yōu)點。南京真空鍍膜DLC加工中心

1. 類金剛石(diamond-like carbon,DLC)是一類含有金剛石結(jié)構(gòu)(sp3雜化鍵)和石墨結(jié)構(gòu)(sp2雜化鍵)的亞穩(wěn)態(tài)非晶物質(zhì),具有高硬度、耐腐蝕、低摩擦因數(shù)、耐磨損等優(yōu)良特性,但也存在著由于制備工藝、沉積參數(shù)等不同導(dǎo)致的內(nèi)應(yīng)力大、熱穩(wěn)定性差、摩擦學(xué)行為敏感等問題,明顯限制了其產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。類金剛石薄膜的幾種常見制備方法:等離子增強化學(xué)氣相沉積法(PECVD)、脈沖激光沉積法(PLD)、磁過濾陰極真空電弧法(FCVA)、磁控濺射法(MS)。類金剛石(Diamond-like Carbon,DLC)薄膜是碳以sp3和sp2雜化鍵結(jié)合形成的一種亞穩(wěn)態(tài)非晶材料,具有高硬度、高耐磨性、良好的透明性和生物相容性等獨特的性質(zhì)。采用不同的工藝方法制備的DLC薄膜具有不同的微觀結(jié)構(gòu)和性質(zhì)。特別地,作為光學(xué)材料,DLC薄膜具有較寬的禁帶寬度和較低的折射率,且折射率可在一定范圍內(nèi)調(diào)控。嘉興防銹DLC加工中心DLC適合用于各種醫(yī)療器械、精密五金零配件、五金電子零件及汽車、摩托車零配件、航天航空配件、新能源等。

目的比較分析CrN過渡層與不同膜厚對DLC薄膜性能的影響,以及涂層模具的成型特性。方法采用PECVD方法在718合金試樣及模具表面沉積Cr N/DLC復(fù)合膜,預(yù)設(shè)Cr N過渡層厚度為0.2μm,DLC膜層厚度為0.5~1.2μm。采用無損設(shè)備對不同沉積時間(10、15、20、1.

以類金剛石(DLC)薄膜作為電極進(jìn)行污水處理時,具有比IrO2/Ta2O5鈦涂層電極、PbO2等電極更好的氧化效果,這是由于DLC具有更寬的電勢窗口和更低的背景電流.此外,DLC還具有耐酸、耐腐蝕以及低吸附特性等特點,不會在酸性、腐蝕性的污水中破損,因此比其他的電極更適合在污水中長時間工作.為此,對DLC的制備、DLC電極電化學(xué)性能的影響參數(shù),以及DLC在污水處理中應(yīng)用的研究成果進(jìn)行了綜述總結(jié).

1. 利用DLC來制備晶體硅表面的減反射膜,用于提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)化效率。使用磁控濺射沉積設(shè)備在單晶硅基體上制備了系列DLC薄膜,薄膜的折射率和與sp3含量有關(guān),sp3含量越高,折射率越高。改變工藝參數(shù),DLC薄膜的折射率可在1.64~2.18之間變化。DLC薄膜消光系數(shù)與DLC薄膜中sp2相的含量有關(guān)。sp2含量越高,消光系數(shù)越高。甲烷濃度對DLC薄膜光學(xué)性質(zhì)的影響,隨著甲烷濃度的增加,DLC薄膜的透射率呈現(xiàn)逐漸減少的趨勢。當(dāng)甲烷濃度在5SCCM以下時,薄膜的透光性比較好,在硅基底上添加多層DLC薄膜能夠?qū)崿F(xiàn)在可見光區(qū)的多波段減反射效果。在玻璃基底上添加DLC薄膜能夠?qū)崿F(xiàn)在可見光區(qū)的多波段增透效果。DLC涂層可以應(yīng)用于鉆頭和銑刀上,特別是摻雜金屬的DLC膜,它有高的硬度,有低的摩擦系數(shù)、抗有色金屬粘結(jié)。

1.類金剛石薄膜(DLC)具有優(yōu)良的摩擦性能和力學(xué)性能,也具有較好的耐腐蝕性、組織相容性和血液相容性,可被廣泛應(yīng)用于骨科、心血管和牙科等領(lǐng)域,是一種很有前途的生物醫(yī)學(xué)材料。

2.實驗結(jié)論表明DLC有著較好的抗凝血性能,并且與其他醫(yī)用材料對比其抗凝血效果也更佳。另外發(fā)現(xiàn)DLC抑菌能力并不突出,但可通過摻雜其他元素、改變工藝參數(shù)等措施使其成為較為理想的無機(jī)抑菌薄膜材料。兩種性能的結(jié)合使DLC可能成為人體植入材料的表面鍍層。 DLC是一種非晶態(tài)薄膜,具有高硬度和高彈性模量、低摩擦因數(shù)、耐磨損以及良好的真空摩擦特性,是耐磨涂層。南京真空鍍膜DLC加工中心

DLC涂層在醫(yī)療器械的應(yīng)用,以DLC涂層具有很好的生物相容性,它對蛋白質(zhì)的吸附率高,對血小板的吸附率低。南京真空鍍膜DLC加工中心

1. 柴油機(jī)關(guān)鍵部件活塞銷受到周期性的交變機(jī)械載荷和熱載荷作用,易因粘著導(dǎo)致磨損。為提高柴油機(jī)活塞銷的摩擦磨損性能,采用磁控濺射方法在活塞銷表面沉積了Cr、W、Cr與Ti 3種金屬摻雜的類金剛石薄膜(DLC)涂層,結(jié)果表明:3種涂層表面微觀形貌類似,致密、無明顯缺陷和孔洞,但都附著少量的顆粒物,相較而言摻雜Cr的DLC涂層表面更加平滑;摻雜Cr的DLC涂層,Cr以單質(zhì)和CrC化合物形式存在,具有更高的膜-基結(jié)合強度、更優(yōu)的摩擦學(xué)性能;摻雜Cr與Ti的DLC涂層性能與摻雜Cr的DLC涂層類似,Cr、Ti以單質(zhì)和CrC、Ti C化合物的形式存在;摻雜W的DLC涂層,由于生成了WC化合物,涂層脆性高,韌性較差南京真空鍍膜DLC加工中心

蘇州華銳杰新材料科技有限公司是一家主要將此類薄膜材料應(yīng)用已醫(yī)療器械手術(shù)工具、汽車發(fā)動機(jī)零部件等產(chǎn)品,為此類產(chǎn)品表面制備一層具有高硬度、耐磨、耐腐蝕的薄膜材料,提高產(chǎn)品的使用壽命。提供此類薄膜材料的研發(fā)、設(shè)計和銷售的,并能實現(xiàn)交鑰匙工程。的公司,致力于發(fā)展為創(chuàng)新務(wù)實、誠實可信的企業(yè)。華銳杰深耕行業(yè)多年,始終以客戶的需求為向?qū)В瑸榭蛻籼峁└哔|(zhì)量的類金剛石(DLC),氮化鈦,氮化鉻。華銳杰繼續(xù)堅定不移地走高質(zhì)量發(fā)展道路,既要實現(xiàn)基本面穩(wěn)定增長,又要聚焦關(guān)鍵領(lǐng)域,實現(xiàn)轉(zhuǎn)型再突破。華銳杰始終關(guān)注自身,在風(fēng)云變化的時代,對自身的建設(shè)毫不懈怠,高度的專注與執(zhí)著使華銳杰在行業(yè)的從容而自信。

標(biāo)簽: DLC 氮化鈦 氮化鉻 PVD涂層