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宿遷鍍鈦氮化鈦加工

來源: 發布時間:2023-05-24

1.氮化鈦(TiN)具有典型的NaCl型結構,屬面心立方點陣,晶格常數a=0.4241nm,其中鈦原子位于面心立方的角頂。TiN是非化學計量化合物其穩定的組成范圍為TiN0.37-TiN1.16,氮的含量可以在一定的范圍內變化而不引起TiN結構的變化。TiN粉末一般呈黃褐色超細TiN粉末呈黑色,而TiN晶體呈金黃色。TiN熔點為2950℃,密度為5.43-5.44g/cm3,莫氏硬度8-9,抗熱沖擊性好。氫化鈦的理化性質由氫元素的含量來決定,當氨元素含量減少時氮化鈦的晶格參數反而增大,硬度也會有顯微的增大,但氮化鈦的抗震性隨之降低。TiN熔點比大多數過渡金屬氮化物的熔點高,而密度卻比大多數金屬氨化物低,因此是一種很有特色的耐熱材料。23. 氮化鈦是一種新型的多功能金屬陶瓷材料它的熔點高,硬度大、摩擦系數小是熱和電的良導體。宿遷鍍鈦氮化鈦加工

40、氮化鈦(TiN)具有典型的NaCl型結構,屬面心立方點陣,晶格常數a=0.4241nm,其中鈦原子位于面心立方的角頂。TiN是非化學計量化合物,其穩定的組成范圍為TiN0.37-TiN1.16,氮的含量可以在一定的范圍內變化而不引起TiN結構的變化。TiN粉末一般呈黃褐色,超細TiN粉末呈黑色,而TiN晶體呈金黃色。TiN熔點為2950℃,密度為5.43-5.44g/cm3,莫氏硬度8-9,抗熱沖擊性好。TiN熔點比大多數過渡金屬氮化物的熔點高,而密度卻比大多數金屬氮化物低,因此是一種很有特色的耐熱材料。TiN的晶體結構與TiC的晶體結構相似,只是將其中的C原子置換成N原子。蘇州真空鍍膜氮化鈦聯系人TiN涂層已被廣泛應用于航空、工模具、電子等加工領域,并且在刀具、模具等方面有力推動了制造業的發展。

采用物物理相沉積法(PVD)在45鋼基體表面沉積了TiN和TiAlN涂層.用3種載荷在摩擦磨損試驗機上分別對45鋼、TiN和TiAlN涂層進行了摩擦試驗,用5種載荷分別對3種試樣進行了磨損試驗,用表面輪廓檢測儀檢測了3種試樣的體積磨損,用劃痕儀測量了涂層的臨界載荷.研究結果表明:隨著載荷的增大,TiAlN和TiN涂層的摩擦系數有較大的下降趨勢,TiAlN、TiN有降低摩擦系數的作用,其中TiN的效果更好.45鋼、TiN與TiAlN的磨損量都會隨載荷的增大而增大.TiN、TiAlN涂層比45鋼有較明顯的耐磨損的能力,TiAlN涂層比TiN涂層的抗磨損能力更強.45鋼的比磨損率趨近于線性變化,TiAlN、TiN涂層的比磨損率趨近于非線性變化.TiN涂層的臨界載荷高于TiAlN涂層的臨界載荷.

50. 近幾年來,利用鈦、氮化鈦及碳化鈦作為表面鍍層材料,以增加刀具及磨擦另件的抗磨損能力,取得了良好的效果,其中又以氮化鈦效果比較好。鍍氮化鈦的方法很多,已在應用的有化學方法、物理方法、電子蒸發法、離子轟擊法及離子涂鍍法等。其中又以近幾年新發展起來的離子涂鍍法優點適合多,引起了人們的注意。氮化鈦離子涂鍍技術的主要機理是:將若干塊金屬鈦懸掛于密閉室的四周,在密閉室的壁與金屬鈦之間,始終存在電弧放電。在電弧的局部高溫作用下,固體金屬鈦直接變為蒸氣。這一變為蒸氣的過程,幾乎是在瞬間完成的。并使鈦離子獲得了很大的能量,基于氮化鈦優良的導電性能,可做成各種電極以及點觸頭等材料。

在深亞微米(0.15μm及以下)集成電路制造中,后段工藝日趨重要,為降低阻容遲滯(RCDelay),保證信號傳輸,減小功耗,有必要對后段工藝進行改進,Via阻擋層MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition,金屬有機物化學氣相淀積)TiN是其中重要研究課題之一。本論文基于薄膜電阻的理論分析,從厚度、雜質濃度和晶體結構三大薄膜電阻影響因素出發系統研究MOCVDTiN材料在平面薄膜上和真實結構中的各種性質,重點是等離子體處理(PlasmaTreatment,PT)下的晶體生長,制備循環次數的選擇對薄膜雜質濃度、晶體結構及電阻性能的影響,不同工藝薄膜在真實結構中物理形貌、晶體結構和電阻性能的表現和規律,超薄TiN薄膜(<5nm)的實際應用等。俄歇能譜、透射電子顯微鏡和方塊電阻測試證明PT作用下雜質濃度降低,同時晶體生長,薄膜致密化而電阻率降低。PT具有飽和時間和深度,較厚薄膜需多循環制備以充分處理,發現薄膜厚度較小時(本實驗條件下為4nm),增加循環次數雖然進一步降低了雜質濃度,但會引入界面而使薄膜電阻率增加。通過TEM觀測發現由于等離子體運動的各向異性,真實結構中PT效率在側壁遠低于頂部和底部,這導致側壁薄膜在PT后更厚。有較為的硬度和耐磨性,用于開發新型刀具,這種新型的刀具比普通硬質合金刀具的耐用度和使用壽命顯著提高。蘇州鍍黑氮化鈦服務電話

TiN是非化學計量化合物穩定的組成范圍為TiN0.37- TiN1.16,氮含量可在一定范圍內變化不引起TiN結構的變化。宿遷鍍鈦氮化鈦加工

氮化鈦(TiN)作為一種新型的多功能金屬陶瓷材料,具有熔點高、硬度大、**、化學穩定性好、導電導熱和光性能好等優異的特性。  其熔點為2930~2950℃,是熱和電的良導體,低溫下又有*導性,是制造噴氣發動機的材料,隨著科學技術的發展和突破在多個領域發揮著不同的作用,其特有的金黃色金屬光澤使氮化鈦在代金裝飾領域也有應用。  在刀具制造上的應用  氮化鈦陶瓷涂層具有的金黃色外表,涂覆于刀具之上雖擁有優化外觀的好處,但主要作用卻并非是為了裝飾,其具有的硬度值在韋氏硬度(HV)高達2500以上,涂覆于刀具上的厚度一般為3至5微米,相較于未進行涂層加工的原產品具有*高的**性和耐熱性,使用壽命也*長。  將這項技術應用在工業生產中的機械設備上,例如在齒輪滾刀上涂覆氮化鈦其壽命可延長3至4倍,在切削齒輪時可將切削速度或進給量提高更多,從而減少材料機加工時間宿遷鍍鈦氮化鈦加工

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