1. 類金剛石(diamond-like carbon,DLC)涂層具有優異的性能,應用潛力適合.但DLC涂層的較為缺點,即內應力高和熱穩定性差,限制了DLC涂層的推廣應用.本實驗采用等離子增強化學氣相沉積(PECVD)的方法,調控涂層含氮量,調節偏壓大小,以及進行硅氮共摻.利用拉曼光譜,紅外光譜(FTIR),X射線光電子能譜(XPS)和薄膜應力測試儀,微納米力學綜合測量系統等分析測試手段對涂層組織和性能進行表征,探討了DLC涂層沉積態及退火態的組織結構和性能的變化規律.實驗獲得如下結論:(1)對摻氮含氫類金剛石(a-CN:H)涂層而言.隨著N_2流通量增加,涂層含氮量增加,sp~3含量先增加后減小,拐點氮含量為0.12 at%.涂層中的N元素以C=N鍵為主,且C=N鍵在490°C以上溫度退火時才發生部分斷裂.存在臨界退火溫度430°C.低于該溫度退火時,與純含氫類金剛石(a-C:H)涂層相比,摻氮涂層具有較低的sp~3→sp~2的結構轉變溫度.但當退火溫度大于430°C時,摻氮涂層的結構轉變速率比a-C:H涂層低.即隨著涂層含氮量增加,低氮摻雜涂層的高溫熱穩定性增加.當摻氮涂層經430°C退火后,可以獲得具有高硬度,高導率,低殘余應力和低摩擦系數等綜合性能優異的DLC涂層8. 以類金剛石(DLC)薄膜作為電極進行污水處理時,具有比IrO2/Ta2O5鈦涂層電極、PbO2等電極更好的氧化效果。上海 刀具DLC服務電話

1. 類金剛石薄膜通常又被人們稱為DLC薄膜，是英文詞匯Diamond Like Carbon的簡稱，它是一類性質近似于金剛石，具有高硬度.高電阻率.良好光學性能等，同時又具有自身獨特摩擦學特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之間的不同結合方式，從而使其較為終產生不同的物質：金剛石（diamond）—碳碳以 sp3鍵的形式結合；石墨（graphite）—碳碳以sp2鍵的形式結合；而如同緒論里所述類金剛石（DLC）—碳碳則是以sp3和 sp2鍵的形式結合，生成的無定形碳的一種亞穩定形態，它沒有嚴格的定義，可以包括很寬性質范圍的非晶碳，因此兼具了金剛石和石墨的優良特性；所以由類金剛石而來的DLC膜同樣是一種亞穩態長程無序的非晶材料，碳原子間的鍵合方式是共價鍵，主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵，而在含氫的DLC膜中還存在一定數量的C-H鍵。威海鍍黑DLC加工3. 利用DLC來制備晶體硅表面的減反射膜,用于提高太陽能電池的光電轉化效率。

采用拉曼光譜(Raman)分析不同厚度DLC膜的峰位信息以及sp3-C/sp2-C的比例關系,用納米壓痕儀表征膜層硬度,用硬度計分析膜/基結合力,用輪廓儀表征薄膜表面特征,并探討膜厚對薄膜性能的影響機制。結果薄膜的厚度值在預設范圍以內,該方法制備的薄膜結構致密,表面光滑,無分層、凹坑、液滴粘附等缺陷。隨涂層厚度的增加,薄膜中sp3-C/sp2-C的比例呈先減小后增大的趨勢,G峰也先向D峰靠近,而后遠離。薄膜硬度同樣隨膜層厚度的增加呈先增加后減小的趨勢,1.06μm厚的Cr N/DLC膜的硬度比較高(3600HV)。薄膜的結合力等級比較高可以達到工業級的HF2。表面輪廓無較大量動,表面粗糙度Ra比較低可達0.011μm。1.06μm CrN/DLC涂層模具的成型壽命是未涂層模具的3倍以上。結論對橡膠模具而言,適當厚度的DLC微/納涂層處理可以起到一定的減磨、抗腐蝕效果,降低模具本體表面潤濕性,保證橡膠件成型質量。

DLC涂層的主要性能1、力學性能a、硬度及彈性模量。不同的沉積方法制備的DLC膜硬度及彈性模量差異很大，用磁過濾陰極電弧法可以制備出硬度達到甚至超過金剛石的DLC膜，用陰極電弧法制備的DLC膜比較高硬度可達50GPa以上，而用離子源結合非平衡磁控濺射法制備的DLC膜硬度達21GPa。膜層內的成分對膜層的硬度有一定的影響，Si、N的摻入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有較高的彈性模量，雖低于金剛石（110GPa），但明顯高于一般金屬和陶瓷的彈性模量。b、內應力和結合強度。薄膜的內應力和結合強度是決定薄膜的穩定性和使用壽命，影響薄膜性能的兩個重要因素，內應力高和結合強度低的DLC膜容易在應用中產生裂紋、褶皺，甚至脫落，所以制備的DLC膜比較好具有適中的壓應力和較高的結合強度。大部分研究表明，直接在基體上沉積的DLC膜的膜\基結合強度一般比較低，通過采用Ti\TiN\TiCN\TiC中間梯度過渡層的方法提高DLC膜與基體的結合強度，在模具鋼上沉積DLC膜的結合強度達44N-74N，制備的膜導總體厚度可達5um。?DLC具有更寬的電勢窗口和更低的背景電流.此外,DLC還具有耐酸、耐腐蝕以及低吸附特性等特點。

加工涂層DLC類金剛石涂層：注塑成型過程中由于大量使用加玻纖材料及工程塑料的使用給模具帶來嚴重的磨損和腐蝕，以及模具在運動時產生與模具鋼材本身的摩擦磨損，東莞納隆精密五金科技有限公司涂層的高硬度，抗腐蝕性及很好的耐磨性，幫助塑膠模具在對抗磨損與腐蝕時起到的作用至關重要，以提高模具使用效率的高韌性，耐磨性，抗腐蝕性及低摩擦特性。

DLC涂層的高硬度，防粘連及自潤滑性是有色金屬鉆孔，攻牙，鏡面銑削加工刀具理想的防護涂層，它在解決粘刀，粘著磨損方面比普通涂層有更出色的表現，這涂層刀具的使用壽命是普通刀具的數倍，加工出來的產品光潔度更高。 要解決減少或免除切削液帶來的問題，刀具DLC鍍層不僅應使刀具具有長壽命，且應有自潤滑的功能。威海鍍黑DLC加工

DLC膜的開發，該項技術適合用于電子、裝飾、宇航、機械和信息等領域，用于摩擦、光學功能等用途。上海 刀具DLC服務電話

柴油機關鍵部件活塞銷受到周期性的交變機械載荷和熱載荷作用,易因粘著導致磨損。為提高柴油機活塞銷的摩擦磨損性能,采用磁控濺射方法在活塞銷表面沉積了Cr、W、Cr與Ti 3種金屬摻雜的類金剛石薄膜(DLC)涂層，結果表明:3種涂層表面微觀形貌類似,致密、無明顯缺陷和孔洞,但都附著少量的顆粒物,相較而言摻雜Cr的DLC涂層表面更加平滑;摻雜Cr的DLC涂層,Cr以單質和CrC化合物形式存在,具有更高的膜-基結合強度、更優的摩擦學性能;摻雜Cr與Ti的DLC涂層性能與摻雜Cr的DLC涂層類似,Cr、Ti以單質和CrC、Ti C化合物的形式存在;摻雜W的DLC涂層,由于生成了WC化合物,涂層脆性高,韌性較差上海 刀具DLC服務電話

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