研究新工藝、新材料在齒輪上的應用，提高齒輪的質量和性能，降低生產和使用成本，減少噪音，減少能源和資源消耗具有十分重要的意義。 “齒輪表面陶瓷生長工藝的研究”主要研究齒輪表面陶瓷的生長，實現陶瓷生長層與本體緊密結合，為高韌性、耐磨耐熱、長壽命的齒輪提供重要的理論依據和試驗數據。主要有以下幾個方面： ① 對32Cr2MoV鋼離子滲氮進行了研究。通過離子滲氮，提高了32Cr2MoV鋼表面硬度，并形成了一定深度的硬化層，為后續的多弧離子鍍氮化鈦(TiN)陶瓷涂層提供了良好的支撐。 ② 離子滲氮與多弧離子鍍復合處理的研究，采用正交試驗法，運用多弧離子鍍，在32Cr2MoV鋼滲氮基體上鍍覆TiN陶瓷，研究多弧離子鍍各工藝參數對TiN陶瓷性能的影響，優化出了一種工藝，并通過該工藝獲得了性能優良的TiN陶瓷涂層。 ③ 對32Cr2MoV鋼、滲氮層及TiN陶瓷進行了微觀結構的分析，研究其結構對整個材料性能的影響。研究了表面TiN陶瓷材料的耐腐蝕性能。 ④ 對32Cr2MoV鋼氮化與復合處理試樣進行了滾子試驗，研究其摩擦磨損性能，試驗表明：材料經過復合處理后較氮化有更好的抗摩擦磨損性能。 ⑤ 制備出了表面陶瓷齒輪，為研究表面陶瓷齒輪的承載能力、磨損、疲勞等性能提供了條件。DLC涂層相對光滑，粗糙度Ra為0.10μm,而TiN涂層Ra為0.16μm。河北醫療器械氮化鈦聯系人

比較TiN和TiAlN涂層刀具加工鋁鋰合金的切削性能和表面質量。方法使用硬質合金、TiN涂層和TiAlN涂層三種刀具,對2198-T8型鋁鋰合金進行干式銑削試驗。改變切削因素的水平,比較刀具磨損、鋁鋰合金的表面粗糙度、切削力和切屑形態。結果銑削鋁鋰合金時,刀具主要磨損為粘附磨損,TiN涂層的粘附程度比較低,硬質合金次之,TiAlN涂層表面粘附較好嚴重,切削效能比較低。粘附磨損嚴重影響銑削成形的表面粗糙度,并使銑削力增加。銑削速度是影響工件表面粗糙度的主要因素,通過提高銑削速度可明顯降低材料的粘結程度,降低表面粗糙度與銑削力,TiN涂層在銑削鋁鋰合金時較好小表面粗糙度可達到0.5μm以下。在相同的切削參數下,TiN涂層斷屑均勻,切屑表面較為光滑,切屑塑性變形較好小。硬質合金刀具產生的切屑尺寸較短,切屑表面有少量帶狀條紋,TiAlN涂層刀具產生的切屑發生了嚴重的塑性變形。結論與TiAlN涂層和硬質合金刀具相比,TiN涂層刀具在銑削鋁鋰合金時的切削效能比較好,可以達到比較好的表面粗糙度和加工效果蘇州潤滑氮化鈦供應商在刀具上涂敷3~5微米的氮化鈦涂層，刀具就能擁有更高的耐磨性和耐熱性，大幅提高刀具壽命和切削加工效率。

在深亞微米(0.15μm及以下)集成電路制造中，后段工藝日趨重要，為降低阻容遲滯(RCDelay)，保證信號傳輸，減小功耗，有必要對后段工藝進行改進，Via阻擋層MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition，金屬有機物化學氣相淀積)TiN是其中重要研究課題之一。本論文基于薄膜電阻的理論分析，從厚度、雜質濃度和晶體結構三大薄膜電阻影響因素出發系統研究MOCVDTiN材料在平面薄膜上和真實結構中的各種性質，重點是等離子體處理(PlasmaTreatment，PT)下的晶體生長，制備循環次數的選擇對薄膜雜質濃度、晶體結構及電阻性能的影響，不同工藝薄膜在真實結構中物理形貌、晶體結構和電阻性能的表現和規律，超薄TiN薄膜(＜5nm)的實際應用等。俄歇能譜、透射電子顯微鏡和方塊電阻測試證明PT作用下雜質濃度降低，同時晶體生長，薄膜致密化而電阻率降低。PT具有飽和時間和深度，較厚薄膜需多循環制備以充分處理，發現薄膜厚度較小時(本實驗條件下為4nm)，增加循環次數雖然進一步降低了雜質濃度，但會引入界面而使薄膜電阻率增加。通過TEM觀測發現由于等離子體運動的各向異性，真實結構中PT效率在側壁遠低于頂部和底部，這導致側壁薄膜在PT后更厚。

氮化鈦具有耐腐蝕性強、抗氧化性好、化學穩定性高以及電導性好等優點。本文以陽極氧化法制得的納米TiO2薄膜、多孔結構和納米管材料為前驅體,通過氨氣高溫還原氮化法制得了納米氮化鈦薄膜、多孔結構和納米管材料。XRD和EDS分析結果表明,三種納米結構氮化鈦的化學組分均只含Ti、N兩種元素,且前驅體TiO2已經被完全轉化為氮化鈦,主要以TiN相和Ti2N相存在。SEM結果表明,高溫氮化得到的三種納米結構氮化鈦仍保持了前驅體的微觀結構,氮化鈦多孔結構和納米管均具有有序陣列特征,納米管管徑和孔道直徑均小于100nm,TiN薄膜表面具有很多大小不均的突起顆粒。四探針法測試得到三種納米氮化鈦的電阻率約為5.0×l0-7?·m,顯示了很好的電子導電性。恒電位階躍測試得到氮化鈦納米管的真實表面積為1591.2cm2,多孔結構為366.3cm2,薄膜為125.8cm2。采用線性伏安曲線和Tafel曲線研究了制備得到的三種納米結構氮化鈦電極在硫酸溶液中的電化學析氫性能。研究表明,雖然三種TiO2前驅體具有較大的比表面積,但由于其導電性較差,導致析氫過電位高,而形成氮化物后則能顯著提高其析氫能力。氮化鈦納米管電極真實表面積比較大,且高度有序的納米管陣列結構,具有比氮化鈦薄膜和多孔結構更好的析氫電催化活性。TiN作催化劑載體，可通過提高貴金屬鉑利用率、增強金屬-載體間相互作用、促進質量/電荷轉移及增強耐腐蝕。

TiN和TiAlN涂層常應用于精沖模,采用XRD技術分析了不同厚度TiN和TiAlN涂層的相變化,并采用Sin2ψ法測量了TiN涂層和基體以及TiAlN基體的殘留應力,應用顯微硬度計測量了涂層的顯微硬度。結果表明:TiN涂層(111)和(222)晶面存在明顯擇優取向,涂層殘留應力分布在-2347～-1920MPa,基體殘留應力分布在-154.9～-69.21MPa,均隨厚度增加而減小;TiAlN涂層主要相成分為Ti3Al3N2,且(107)晶面存在擇優取向,基體殘留應力分布在-123.7～469.5MPa,主要呈拉應力狀態,且隨厚度增加而增大,對模具壽命有較大影響;TiN和TiAlN涂層顯微硬度隨厚度增加而增大。調整氮化鈦中氮元素的百分含量，可以改變氮化鈦薄膜的顏色，從而達到理想的美觀效果。蘇州潤滑氮化鈦供應商

國際上代金裝飾技術發展相當快氮化鈦在這方面的應用具有十分廣闊的前景。河北醫療器械氮化鈦聯系人

氮化鈦的制備方法有哪些

1金屬鈦粉或TiH

2直接氮化法2TiO2碳熱還原氮化法

3微波碳熱還原法

4物物理相沉積法

5化學氣相沉積法

6機械合金化法

7熔鹽合成法8溶膠-凝膠法9自蔓延高溫合成法TiN的性質及結構。

TiN屬于間隙相，熔點高達2955℃，原子之間的結合為共價鍵、金屬鍵及離子鍵的混合鍵，其中金屬原子間存在金屬鍵。因此，TiN薄膜具有高硬度（理論硬度21GPa）、優異的耐熱耐磨和耐腐蝕等特性，并且具有較好的金屬特性：金屬光澤、優良的導電性及超導性。TiN具有典型的NaCl型結構，屬于面心立方點陣（F.C.C），其中Ti原子占據面心立方的角頂。并且TiN是非計量化合物，Ti和N組成的化合物TiN1-x可以在很寬的組成范圍內穩定存在，其范圍為TiN0.6—TiN1.16。氮的含量可在一定范圍內變化而不引起TiN的結構變化。 河北醫療器械氮化鈦聯系人

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