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西安晶圓陶瓷吸盤供貨商

來源: 發布時間:2023-01-12

陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤),特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面積吸附, 同時也可作氣浮平臺,普遍應用半導體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸,裝置應用只限用于平坦,無孔表面的工作平臺。使用者通常是機器操作員。在金屬加工領域,這是一項安全可靠的工件傳輸。自動化移載、物件吸取、定位、精密網板印刷用工作臺,利用孔洞透氣性陶瓷(氧化鋁或碳化硅)接上真空吸力,將工作物(包括晶圓、玻璃、PET 膜或其它薄型工作物)放置陶瓷工作吸盤上,利用真空吸力使工作物固定,進行清洗、切割、研磨、網版印刷及其它加工程序。微孔陶瓷吸盤的熱容量小,它本身不蓄熱,可以直接散熱。西安晶圓陶瓷吸盤供貨商

在天然物質和人造物質中,多孔體特別多,比如:水成巖、水鋁英石、粘土、木材等建筑材料,無機和有機保溫材料,天然纖維等都是多孔體。工業材料中的催化劑、硅膠、活性炭等吸附劑,過濾劑,絕熱材料等都利用了多孔性質。因此,我們認為,掌握多孔材料的結構和性質是非常重要的。為了正確地分析出材料孔容孔徑,就需要對材料孔結構有著清楚的認識,選擇正確的預處理方式(溫度、氛圍、真空度等)及合適的分析模型,進而得到準確科學的實驗結果。多孔陶瓷材料由于其特殊的結構,使其具有高比表面積,高孔隙率,高吸附性等諸多優異的理化性能,因而在半導體、化工、環保、功能材料等領域均有普遍應用,氣體吸附法是表征多孔材料孔隙結構特性重要的方法之一。廈門多孔陶瓷吸盤廠商陶瓷吸盤的優點:防止吸收軌跡。

良好的陶瓷真空吸盤需要具備以下幾點:①潔凈度:避免硅片在加工的過程中被Na+、Al+等雜質污染;②通透性強:均勻透氣和透水,保證了硅片的均勻受力和牢固吸附,在磨削過程中不滑動;③結構致密均勻:不易吸附硅粉磨屑,吸盤易于清洗;④強度高:在磨削時無形變,保證硅片在磨削時各點受力均勻,不易產生崩邊、碎片等現象;⑤易于修整:修整時不會出現破裂、碎塊、脫粒等現象;⑥絕緣性高:絕緣性材質,消除靜電。陶瓷吸盤的耐用性也是很重要的考慮因素。

多孔陶瓷真空吸盤的孔徑可以制作在小于1微米大到幾百個微米的范圍內,通過微小的氣孔把空氣吸出,便加工物緊貼在陶瓷面上,能夠減少吸附面對高精度材料的應力磨損,其穩定均勻的吸附力適合固定很薄的加工物,如晶圓片、玻璃和柔性屏等;傳統的孔陶瓷真空吸盤不能根據吸附物的直徑大小進行更換合適的孔陶瓷真空吸盤,吸附不夠穩定,吸附物容易掉落損壞,增加生產成本,因此,本實用新型提出一種多孔陶瓷真空吸盤以解決現有技術中存在的問題。多孔陶瓷真空吸盤通過安裝機構,安裝機構具有更換陶瓷吸盤的功能,使用者可以根據吸附物的直徑大小進行更換合適的陶瓷吸盤,提高了吸附的穩定性,防止吸附物掉落損壞,降低了生產成本。陶瓷吸盤具有優異的材料性能,電阻值可以達到105~109Ω/sq。

在進行解鍵合工藝時會用多孔吸盤來吸附100um厚度的半導體晶圓,此項工藝作業時會將鍵合粘結劑與鍵合wafer上的金屬殘留在多孔吸盤上。殘留的有機粘結劑雜質在溫度120℃時處于完全液態,易被吸附進多孔吸盤的孔洞內,而其中無機物金屬顆粒(例如ni-auge合金)通常是附著在多孔吸盤的表層。有機粘結劑在加熱狀態下液化,受真空吸附力影響會流動到多孔吸盤的孔洞內,金屬顆粒會在此加熱狀態下進行一定程度延展拉伸式的合金化,合金化金屬結合力會增強,從而造成有機粘結劑在多孔吸盤的孔洞內和表面存在,合金化金屬覆蓋在有機粘結劑表面并將有機粘結劑進行包裹。如果陶瓷吸盤出現老化時應該及時更換。西安碳化硅多孔陶瓷吸盤現價

陶瓷吸盤其本身材料就是特種陶瓷之一——氧化鋯陶瓷。西安晶圓陶瓷吸盤供貨商

目前,陶瓷吸盤已走進了各個工廠,成為了龍門銑床,磨床不可或缺的一部分,所以在選型上也下了不少功夫。那么正常使用時又要注意哪些事項呢?陶瓷吸盤出廠后,一般有60小時左右的磨合期,這是制造工廠根據陶瓷吸盤使用初期的技術特點而劃定的。磨合期主要是保證陶瓷吸盤正常運轉,降低故障率,延長使用壽命的重要環節。但由于部分用戶因缺乏這方面的常識或是工期緊,在機器的磨合期內就超長時間,超長負荷的使用,忽視了新機器的磨合期的特殊技術要求,導致機器早期故障頻繁發生。對陶瓷吸盤的磨合期的使用與保養要充分的重視。西安晶圓陶瓷吸盤供貨商

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