從激光器發出的光束，經擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號，經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數)，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩定狀態，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。在三個直徑為400、315和200μm的金屬圓筒上進行輪廓測量。模切尺寸激光干涉儀形貌測量

雙頻激光干涉儀：在氦氖激光器上，加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應和頻率牽引效應,激光器產生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。雙頻激光干涉儀是應用頻率變化來測量位移的，這種位移信息載于f1和f2的頻差上，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，所以抗干擾能力強。它常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度，也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統。利用相應附件，還可進行高精度直線度測量、平面度測量和小角度測量。北京測量激光干涉儀環境補償模塊（ECU）。

“光伏效應”。指光照使不均勻半導體或半導體與金屬結合的不同部位之間產生電位差的現象。它首先是由光子（光波）轉化為電子、光能量轉化為電能量的過程；其次，是形成電壓過程。有了電壓，就像筑高了大壩，如果兩者之間連通，就會形成電流的回路。光伏發電，其基本原理就是“光伏效應”。太陽能**的任務就是要完成制造電壓的工作。因為要制造電壓，所以完成光電轉化的太陽能電池是陽光發電的關鍵。簡單來說就是在光作用下能使物體產生一定方向電動勢的現象。基于該效應的器件有光電池和光敏二極管、三極管。

光電效應分為：外光電效應和內光電效應。內光電效應是被光激發所產生的載流子（自由電子或空穴）仍在物質內部運動，使物質的電導率發生變化或產生光生伏特的現象。外光電效應是被光激發產生的電子逸出物質表面，形成真空中的電子的現象。外光電效應在光的作用下，物體內的電子逸出物體表面向外發射的現象叫做外光電效應。外光電效應的一些實驗規律a．只當照射物體的光頻率不小于某個確定值時，物體才能發出光電子，這個頻率叫做極限頻率(或叫做截止頻率)，相應的波長λ0叫做極限波長。不同物質的極限頻率和相應的極限波長 是不同的。超精密和非接觸式表面分析。

外觀檢查規定

1 表盤上或外殼上至少應有下述標志符號：A.儀表名稱或被測之量的標志符號；B.型號；C.系別符號；D.準確度等級；E.廠名或廠標；F.制造標準號；G.制造年月或出廠編號；H.電流種類或相數，三相儀表中測量機構的元件數量；I.正常工作位置；J.互感器的變比(指與互感器聯用的儀表)；K.定值導線值(或符號)和分流器額定電壓降值(對低量限電壓表的要求)。

2 儀表的端鈕和轉換開關上應有用途標志；

3 從外表看，零部件完整，無松動，無裂縫，無明顯殘缺或污損。當傾斜或輕搖儀表時，內部無撞擊聲；

4 向左右兩方向旋動機械調零器，指示器應轉動靈活，左右對稱； 包括與機器的數據交互接口，可實現自動測量線和誤差補償。上海激光干涉儀測量

除基頻外，還確定了其第二次和第四次諧波。模切尺寸激光干涉儀形貌測量

結構原理：普通電流互感器結構原理：電流互感器的結構較為簡單，由相互絕緣的一次繞組、二次繞組、鐵心以及構架、殼體、接線端子等組成。其工作原理與變壓器基本相同，一次繞組的匝數（N1）較少，直接串聯于電源線路中，一次負荷電流(I1)通過一次繞組時，產生的交變磁通感應產生按比例減小的二次電流（I2）；二次繞組的匝數（N2）較多，與儀表、繼電器、變送器等電流線圈的二次負荷（Z）串聯形成閉合回路，由于一次繞組與二次繞組有相等的安培匝數，I1N1=I2N2，電流互感器額定電流比電流互感器實際運行中負荷阻抗很小，二次繞組接近于短路狀態，相當于一個短路運行的變壓器。模切尺寸激光干涉儀形貌測量

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