用作高分辨率光譜儀。法布里-珀luogan涉儀等多光束干涉儀具有很尖銳的干涉極大，因而有極高的光譜分辨率，常用作光譜的精細結構和超精細結構分析。歷史上的作用。19世紀的波動論者認為光波或電磁波必須在彈性介質中才得以傳播，這種假想的彈性介質稱為以太。人們做了一系列實驗來驗證以太的存在并探求其屬性。以干涉原理為基礎的實驗極為精確，其中極有名的是菲佐實驗和邁克耳孫-莫雷實驗。1851年，A.H.L.菲佐用特別設計的干涉儀做了關于運動介質中的光速的實驗，以驗明運動介質是否曳引以太。1887年，A.A.邁克耳孫和E.W.莫雷合作利用邁克耳孫干涉儀試圖檢測地球相對juedui靜止的以太的運動。對以太的研究為A.愛因斯坦的狹義相對論提供了佐證。干涉位移傳感器和低溫顯微鏡系統及低溫恒溫器！納米精度激光干涉儀運動平臺

干涉儀技術參數：5D/6D標準型：1.線性：0.5ppm.2.測量范圍：40米（1D可選80米）3.線性分辨力：0.001um.4.偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值5.比較大范圍：800角秒6.滾動角精度：1.0角秒7.直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值8.直線度比較大范圍：500um9.垂直度精度：1角秒10.溫度精度：0.2攝氏度11.濕度精度：5%12.壓力精度：1mmHg從激光器發(fā)出的光束，經擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。     納米精度激光干涉儀運動平臺軸的直徑為10毫米，以每分鐘2160轉（RPM）旋轉。

按相數分絕大多數產品是單相的，因為電壓互感器容量小，器身體積不大，三相高壓套管間的內外絕緣要求難以滿足，所以只有3-15kV的產品有時采用三相結構。按電壓變換原理分電磁式電壓互感器：根據電磁感應原理變換電壓，原理與基本結構和變壓器完全相似，我國多在及以下電壓等級采用；電容式電壓互感器：由電容分壓器、補償電抗器、中間變壓器、阻尼器及載波裝置防護間隙等組成，用在中性點接地系統里作電壓測量、功率測量、繼電防護及載波通訊用；光電式電壓互感器：通過光電變換原理以實現電壓變換，還在研制中。按使用條件分戶內型電壓互感器：安裝在室內配電裝置中，一般用在及以下電壓等級；戶外型電壓互感器：安裝在戶外配電裝置中，多用在及以上電壓等級。

5指針不應彎曲，與標度盤表面間的距離要適當。對裝有反射鏡式讀數裝置的儀表應不大于(0.02L+1)MM；其余儀表應不大于(0.01L+1)MM。指針與標度尺在同一水平面上的儀表，其指針前列與標度尺邊緣的間隙應不超過(0.01L+0.8)MM。其中L是標度尺長度，MM。刀形和絲形指針的前列至少應蓋住標度尺上較短分度線的1/2，矛形指針可為1/2～3/4；

6檢查有無封印，外殼密封是否良好。三相儀表應在對稱電壓和平衡負載的條件下檢驗。三相系統中每一個線電壓或相電壓以及電流與系統中相應量的平均值之差均不應大于1%。各個相電流與對應相電壓的相位差之間的差值不大于2°。 振動分析有助于檢測共振頻率！

不同變比電流互感器。這種型號的電流互感器具有同一個鐵心和一次繞組，而二次繞組則分為兩個匝數不同、各自獨自的繞組，以滿足同一負荷電流情況下不同變比、不同準確度等級的需要，例如在同一負荷情況下，為了保證電能計量準確，要求變比較小一些（以滿足負荷電流在一次額定值的2/3左右），準確度等級高一些（如1K1.1K2為200/5.0.2級）；而用電設備的繼電保護，考慮到故障電流的保護系數較大，則要求變比較大一些，準確度等級可以稍低一點（如2K1.2K2為300/5.1級）。  超精密和非接觸式表面分析。翹曲度激光干涉儀

非接觸式檢測軸承誤差。納米精度激光干涉儀運動平臺

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光具有高的強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。 納米精度激光干涉儀運動平臺