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進一步地,所述第二底板內和所述第二側壁內均設有用于穿設溫控管的通道,所述溫控管埋設于所述通道內。一種真空鍍膜設備,包括機械模塊部件、工藝模塊部件和本實用新型所述的真空反應腔室,所述工藝模塊部件位于所述內反應腔內,部分所述機械模塊部件位于所述外腔體內。本實用新型實施例提供的上述技術方案與現有技術相比具有如下***:本實用新型提供的真空反應腔室,包括用于提供真空環境的外腔體,以及位于所述外腔體內的用于進行工藝反應的內反應腔;并且,內反應腔的側壁上設有自動門,工件自外腔體經自動門進入內反應腔中。其中,外腔室和內反應腔為嵌套結構,其內反應腔位于外腔室內。該結構中,相當于設置了兩個腔室,其中外腔體用于提供真空環境,而工藝反應則在內反應腔中進行。由于采用雙腔室結構,可以將工藝模塊部件設置于內反應腔中,而與工藝反應無直接關系的機械模塊部件則被設置于外腔室中。經抽真空處理后,位于外腔體中的工件再經自動門進入內反應腔中進行工藝反應,可以有效避免設備雜質和工件雜質進入內反應腔中。該結構可以避免工藝環境外的污染源進入工藝反應區域,避免工藝污染,提供工藝質量。由于設置雙腔室,作為工藝反應區的內反應腔相對較小。
通孔41從上至下向外傾斜,通孔41的內部固定安裝有噴頭42。鉸接的前罐體2和后罐體3方便開合,驅動裝置5能帶動清理裝置4中的u形架44、刮板43轉動,使刮板43剮蹭后罐體3、前罐體2的內表面,從上至下向外傾斜通孔41能夠與噴頭42配合,將清洗液噴灑在后罐體3、前罐體2的內表面。驅動裝置5包括半圓板52,前罐體2的前表面上側開設有與半圓板52匹配的半圓槽51,半圓板52的上表面開設有轉軸通孔53,半圓板52的上表面固定安裝有防護罩55和減速電機54,防護罩55罩接在減速電機54的外側,減速電機54的輸出軸轉動安裝在轉軸通孔53的內部,減速電機54輸出軸的下端與u形架44固定裝配。驅動裝置5中的半圓板52起支撐作用,與半圓槽51配合不妨礙后罐體3和前罐體2的蓋合,減速電機54能夠帶動u形架44、刮板43在后罐體3和前罐體2的內部轉動,防護罩55能夠保護內部的減速電機54,起防塵、保護作用。前罐體2的下表面后側安裝有集料盒7,集料盒7包括出料口71,出料口71的下側固定安裝有外螺管72,外螺管72的外側螺接有收集盒73。集料盒7能夠通過出料口71、外螺管72、收集盒73,方便收集并清理清理裝置4剮蹭下來的碎屑。控制箱1的內部左側固定安裝有清洗箱8和泵6,清洗箱8固定安裝在泵6的右側。 公司主營產品:離子真空鍍膜設備,磁控濺射真空鍍膜設備,高真空精密光學鍍膜設備,中頻熱蒸發鍍膜設備等。
因此,即使外腔體10與內反應腔20在氣路上相互連通,但外腔體10中的污染物也很難進入到內反應腔20中,從而可以保證內反應腔20始終保持清潔的工藝環境。由此,外腔體10與所述內反應腔20可共用一套抽真空系統。由于外腔體10與內反應腔20之間應屬于相互連通的氣路環境,因此,當對外腔體10進行抽真空處理時,內反應腔20也同時進行抽真空處理。本實施方式中,自動門設置于所述第二側壁22上,所述外腔體10內設有傳送裝置13,所述工件自所述傳送裝置13經所述自動門23傳遞至所述內反應腔20中。自動門控制器控制自動門的啟閉。抽真空完成后,自動門控制器檢測傳送裝置上是否有工件存在,經檢測若有工件存在,則控制自動門打開,工件在傳送裝置的作用下進入內反應腔中;然后自動門控制器再控制自動門關閉。可以理解的是,傳送裝置包括轉動軸和套設在轉動軸上的傳送帶,以及驅動轉動軸旋轉的驅動機構,例如電機。其中,傳送帶的設置高度與內反應腔中的工件反應載臺相對應。繼續參照圖2,為了保證作為工藝區域的內反應腔20的環境溫度恒溫可控,第二底板21和/或所述第二側壁22上設有用于對所述內反應腔20進行控溫的溫控裝置,以使內反應腔20內的溫度始終處于所需的工藝溫度范圍內。 寶來利刀具真空鍍膜設備性能穩定,膜層均勻耐磨,細膩有光澤,有需要可以來咨詢!汽車車標真空鍍膜設備哪家強
磁控濺射原理鍍制,用于在已預處理好的玻璃、陶瓷等制品表面PVD鍍反映膜,從而獲得光亮、美觀。模具真空鍍膜設備生產廠家
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