因此,即使外腔體10與內(nèi)反應腔20在氣路上相互連通,但外腔體10中的污染物也很難進入到內(nèi)反應腔20中,從而可以保證內(nèi)反應腔20始終保持清潔的工藝環(huán)境。由此,外腔體10與所述內(nèi)反應腔20可共用一套抽真空系統(tǒng)。由于外腔體10與內(nèi)反應腔20之間應屬于相互連通的氣路環(huán)境,因此,當對外腔體10進行抽真空處理時,內(nèi)反應腔20也同時進行抽真空處理。本實施方式中,自動門設(shè)置于所述第二側(cè)壁22上,所述外腔體10內(nèi)設(shè)有傳送裝置13,所述工件自所述傳送裝置13經(jīng)所述自動門23傳遞至所述內(nèi)反應腔20中。自動門控制器控制自動門的啟閉。抽真空完成后,自動門控制器檢測傳送裝置上是否有工件存在,經(jīng)檢測若有工件存在,則控制自動門打開,工件在傳送裝置的作用下進入內(nèi)反應腔中;然后自動門控制器再控制自動門關(guān)閉。可以理解的是,傳送裝置包括轉(zhuǎn)動軸和套設(shè)在轉(zhuǎn)動軸上的傳送帶,以及驅(qū)動轉(zhuǎn)動軸旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動機構(gòu),例如電機。其中,傳送帶的設(shè)置高度與內(nèi)反應腔中的工件反應載臺相對應。繼續(xù)參照圖2,為了保證作為工藝區(qū)域的內(nèi)反應腔20的環(huán)境溫度恒溫可控,第二底板21和/或所述第二側(cè)壁22上設(shè)有用于對所述內(nèi)反應腔20進行控溫的溫控裝置,以使內(nèi)反應腔20內(nèi)的溫度始終處于所需的工藝溫度范圍內(nèi)。寶來利真空鍍膜機性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,DLC涂層,有需要可以咨詢!江蘇靶材真空鍍膜機制造商
然后將基板2推入兩個限位板10之間的限位槽內(nèi),并關(guān)閉密封門5,打開抽風機21,將腔體1內(nèi)的空氣抽出,通過控制面板使加熱器工作通過加熱板14加熱坩堝3進行鍍膜,鍍膜完成后,使寶來利真空伸縮桿10工作,帶動活動板9運動,使坩堝3運動至防護框7內(nèi),然后第二伸縮桿11工作,推動寶來利真空密封蓋12和第二密封該13發(fā)生運動,使防護框7密封,然后即可打開密封門5將基板取出或換面繼續(xù)覆膜。需要說明的是,在本文中,諸如寶來利真空和第二等之類的關(guān)系術(shù)語寶來利寶來利用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區(qū)分開來,而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關(guān)系或者順序。而且,術(shù)語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含,從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設(shè)備不寶來利包括那些要素,而且還包括沒有明確列出的其他要素,或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。盡管已經(jīng)示出和描述了本實用新型的實施例,對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以理解在不脫離本實用新型的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型,本實用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。江蘇1800真空鍍膜機哪家強品質(zhì)新材料真空鍍膜機,請選丹陽市寶來利真空機電有限公司,有需要可以來咨詢考察!
對膜層質(zhì)量及均勻性的改善均有很大的幫助。需要說明的是,在本文中,諸如“寶來利真空”和“第二”等之類的關(guān)系術(shù)語真空鍍膜設(shè)備真空鍍膜設(shè)備用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區(qū)分開來,而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關(guān)系或者順序。而且,術(shù)語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含,從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設(shè)備不真空鍍膜設(shè)備包括那些要素,而且還包括沒有明確列出的其他要素,或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下,由語句“包括一個……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的過程、方法、物品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。以上所述真空鍍膜設(shè)備是本實用新型的具體實施方式,使本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠理解或?qū)崿F(xiàn)本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說將是顯而易見的,本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下,在其它實施例中實現(xiàn)。因此,本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例,而是要符合與本文所實用新型的原理和新穎特點相一致的真空鍍膜設(shè)備寬的范圍。
進一步地,所述第二底板內(nèi)和所述第二側(cè)壁內(nèi)均設(shè)有用于穿設(shè)溫控管的通道,所述溫控管埋設(shè)于所述通道內(nèi)。一種真空鍍膜設(shè)備,包括機械模塊部件、工藝模塊部件和本實用新型所述的真空反應腔室,所述工藝模塊部件位于所述內(nèi)反應腔內(nèi),部分所述機械模塊部件位于所述外腔體內(nèi)。本實用新型實施例提供的上述技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下***:本實用新型提供的真空反應腔室,包括用于提供真空環(huán)境的外腔體,以及位于所述外腔體內(nèi)的用于進行工藝反應的內(nèi)反應腔;并且,內(nèi)反應腔的側(cè)壁上設(shè)有自動門,工件自外腔體經(jīng)自動門進入內(nèi)反應腔中。其中,外腔室和內(nèi)反應腔為嵌套結(jié)構(gòu),其內(nèi)反應腔位于外腔室內(nèi)。該結(jié)構(gòu)中,相當于設(shè)置了兩個腔室,其中外腔體用于提供真空環(huán)境,而工藝反應則在內(nèi)反應腔中進行。由于采用雙腔室結(jié)構(gòu),可以將工藝模塊部件設(shè)置于內(nèi)反應腔中,而與工藝反應無直接關(guān)系的機械模塊部件則被設(shè)置于外腔室中。經(jīng)抽真空處理后,位于外腔體中的工件再經(jīng)自動門進入內(nèi)反應腔中進行工藝反應,可以有效避免設(shè)備雜質(zhì)和工件雜質(zhì)進入內(nèi)反應腔中。該結(jié)構(gòu)可以避免工藝環(huán)境外的污染源進入工藝反應區(qū)域,避免工藝污染,提供工藝質(zhì)量。由于設(shè)置雙腔室,作為工藝反應區(qū)的內(nèi)反應腔相對較小。品質(zhì)刀具模具真空鍍膜機,請選丹陽市寶來利真空機電有限公司,有需要可以來咨詢考察!
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電磁鐵122頂出磁片223,頂蓋22離開出氣管11口,空氣及粉塵從出氣管11排出,當頂蓋22的動觸點224與靜觸點123接觸時,氣缸53通電,伸出伸縮軸,利用空氣壓力將擠壓管52中的水噴出,粉塵遇水沉降落入沉降管51底部,鍍膜機1內(nèi)達到相應的真空度時,反方向按下開關(guān)13,電磁鐵122在換向器的作用下電流改變,磁極改變,產(chǎn)生與磁片223相反的磁極,電磁鐵122與磁片223相吸,此時真空泵4斷電,動、靜觸點斷開,氣缸53斷電,頂蓋22緊緊地蓋在出氣管11口上。上述實施例中,開關(guān)13為雙向開關(guān),往一方向按下時,真空泵4與電磁鐵122均通電,往另一方向按下時,真空泵4斷電,電磁鐵122在換向器的作用下電流方向發(fā)生改變,產(chǎn)生相反的磁極。在進一步的實施例中,結(jié)合圖2可得,寶來利真空連接套12遠離鍍膜機1一側(cè)設(shè)有寶來利真空安裝位121;寶來利真空安裝位121位于出氣管11兩側(cè);寶來利真空安裝位121內(nèi)固定有電磁鐵122;頂蓋22靠近鍍膜機1一側(cè)設(shè)有第二安裝位222;第二安裝位222與寶來利真空安裝位121位置相對應;第二安裝位222內(nèi)固定有磁片223;電磁鐵122與磁片223分別通過膠水固定在寶來利真空安裝位121以及第二安裝位222中;利用磁鐵“同極相斥、異極相吸”的原理,控制頂蓋22的關(guān)閉和打開。江蘇靶材真空鍍膜機制造商