本發明涉及半導體制造領域，尤其涉及一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置。背景技術：在半導體芯片的制作過程中，整個晶圓制作完成后，首先需要把晶圓貼到粘性膜上，進行劃片，把晶圓切割成一顆顆單獨芯片，之后需要把單獨的芯片從粘性膜上取下來，轉入托盤，料帶或者直接貼裝在基板上。從粘性膜上吸取芯片的過程中，因為膜有粘性，直接用吸嘴從膜上吸取，真空力無法克服膜的粘力，取不下來。需要把芯片從膜上頂起來，使芯片的大部分與膜脫離，只剩下很下的部分還和膜粘著，這樣吸嘴從上面吸取芯片，所需要克服的粘力就很小了，就可以很順利的把芯片吸走了。現有的把芯片從膜上頂升，讓芯片和膜剝離的方法，主要是頂針的方法，芯片頂升時，頂升座用真空吸附住膜，從芯片的正下方，頂起一根或多根，頂針前端磨細，針尖做成圓弧，保證既可以減少接觸面積，又不會頂破膜。頂針頂升時，因為周邊的膜被真空吸附在下面的頂升座上，只有頂針冒出把芯片頂升，芯片周邊的膜會從芯片上剝離開，只剩下頂針處還有很小面積的膜還接觸著芯片，這樣膜的粘力就很弱了，上面的真空吸嘴就可以把芯片吸走了。頂針的方法，可以對應厚度超過100微米的芯片，厚的芯片，剛性比較好，頂針頂升時。該豎直貫孔與第三氣道550間通過圈形磁鐵560的吸附力實現氣密。上海頂針印

    一般A4紙即可）測試資料儲存于硬碟（每一筆資料皆可儲存，不限次數）測試條件皆由電腦畫面設定（含測試行程、速度、次數、空壓、暫停時間等等）檢驗報表抬頭內容可隨時修改（中英文皆可）檢驗報表可自動產生，不須再作輸入。檢驗報表可轉換為Excel等文書報表格式。頂針探針荷重行程阻抗試驗機規格：測試荷重種類;2kgf、500gf（任選1個）顯示荷重：測試行程：100mm顯示行程：（）測定速度范圍：1-300mm/min（壽命測試可以一分鐘**60次）傳動機構：滾珠螺桿采樣速率：27KHZ在線式充電槍插拔力試驗機簡介：本機主要用于充電槍流水線上批量檢測插入力與拔出力而設計，本機采用臥式設計，模擬用戶使用方式：充電座固定，充電槍以一定速度運行測試，以檢測出充電槍的插拔力。利用WINDOWS，視窗中文畫面設定，操作簡單方便，且所有資料皆可儲存（試驗條件，位移曲線圖，壽命曲線圖，檢查報表----等等），機器可以設置插入力與拔出力上下限的力值范圍，所測力超出范圍可以報警輸出。是一款綜合性價比較強的用于充電槍流水線上測試儀器。試驗過程：本在線式充電槍插拔力試驗機適合量產插拔力檢測，當充電槍插入到試驗機插口里面，極限開關信號檢測到充電槍已插到位。江蘇頂針漏氣此款試驗機為測試頂針探針量身定制，頂針和探針力值、行程、接觸電阻為三個主要測試指標。

    探針頂針荷重行程阻抗試驗機簡介:探針頂針荷重行程阻抗試驗機適用于各種頂針、探針、按鍵、開關之荷重-行程-阻抗曲線測試。測試產品力值行程的同時可以測試接觸電阻。頂針探針一般行程零點幾毫米的時候力值才20克左右，力值小，行程精度高所以對試驗機要求較高。另外頂針探針的接觸電阻在幾毫歐以內，對測頭以及測試底板表面處理要求高。我司此款試驗機測試頂針探針荷重行程的同時可以測試其接觸電阻。探針頂針荷重行程阻抗試驗機我司有兩款，一款是單軸的，適合抽檢測試，工程分析測試。另外一款是三軸的適合整版頂針探針的荷重行程測試，同時顯示出接觸電阻。此機器還可以測試壽命測試。可以設定打擊多少次以后就進行壽命測試。目前我司試驗機技術先進:DSP數據采集系統，工業以太網傳輸數據，采樣速率高達27kHZ，***抗干擾能力。探針頂針荷重行程阻抗試驗機特點:量測曲線圖由電腦記憶，可隨時放大、縮小，一張A4紙可任意指定放置N個曲線圖。測定專桉可輸入上、下限規格值，測定結果可自動判定OK或NO。可輸入測定行程及荷重，電腦自動控制。荷重單位顯示N、Ib、gf、kgf可自由切換電腦直接列印及儲存荷重-行程曲線圖、檢查報表。（不需要方格紙。

    帽蓋上設有供頂針的針體穿過的通孔。進一步的，帽蓋的頂部為平面且該平面平行于球缺底面。進一步的，通孔垂直于帽蓋的底面。進一步的，通孔以帽蓋的球冠頂點為中心圓周分布，通孔的分布圈數大于等于2，帽蓋的球冠頂點設有通孔。進一步的，外圈的通孔的頂部高于帽體上頂面或與帽體的上頂面齊平。進一步的，頂針的數量大于等于1個。進一步的，帽體的頂面設有安裝槽，帽蓋的底面邊緣處設有配合安裝槽使用安裝塊。進一步的，安裝槽靠近帽體的外壁設有倒角，倒角的一邊與安裝塊接觸。進一步的，倒角為45度倒角。本實用新型的有益效果是：本實用新型提供了一種球面頂針帽，將帽蓋的結構從平板改為球缺，當頂針上頂芯片貼膜時，球缺形的帽蓋能給貼膜一個輕微的形變，使芯片貼膜能有一個向下的預張力，在配合頂針向上頂，能有效的使芯片與貼膜分離。附圖說明為了更清楚地說明本實用新型實施例的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，應當理解，以下附圖*示出了本實用新型的某些實施例，因此不應被看作是對范圍的限定，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他相關的附圖。圖1為實施例一提供的球面頂針帽的剖視圖。試驗機硬件驅動，系統備份，解決客戶的后顧之憂。

    該升降裝置包括第三伺服電機340、凸輪341、半圓狀的定位盤342與傳感器350。第三伺服電機340固定于豎板312外側，其電機軸穿過豎板312上的開孔伸入基座310里側，凸輪341與定位盤342依次套設于電機軸上。凸輪341與頂桿410的凸起端頭411相抵。從而能夠通過第三伺服電機340的旋轉，依次驅動凸輪341、頂桿410、連接塊510，帶動頂塊500的升降。傳感器350安裝于豎板312上，傳感器350中間設有一道感應凹槽351，定位盤342能夠在旋轉時穿過該感應凹槽351，被傳感器350感應。通過傳感器350感應定位盤342，使該升降裝置能夠初始化頂升頭400的初始位置，并且能夠精確控制頂升頭400的頂升高度，例如圖10、圖11所示，傳感器350感應到定位盤342的直徑邊緣342a作為起始零點，通過感應定位盤342旋轉預定角度a控制頂升頭400的頂升高度。如圖3、圖5與圖6所示，該頂桿410的凸起端頭411上設有氣管接頭412、該頂桿410內具有連通氣管接頭412的第二氣道413，第二氣道413連通位于頂桿410頂部的第二氣孔414。如圖6所示，該連接塊510中具有豎直貫孔，該豎直貫孔分別連通第二氣孔414與圈形磁鐵560的中心孔。如圖6所示，該頂塊500內具有連通方形凹腔541與圈形磁鐵560中心孔的第三氣道550。采用這樣的結構，使進氣機構的氣路與真空吸頭330的氣路相對穩定。常州好頂針

目前中國的實體經濟由于用人成本的增加。上海頂針印

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