本發明涉及半導體制造領域,尤其涉及一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置。背景技術:在半導體芯片的制作過程中,整個晶圓制作完成后,首先需要把晶圓貼到粘性膜上,進行劃片,把晶圓切割成一顆顆單獨芯片,之后需要把單獨的芯片從粘性膜上取下來,轉入托盤,料帶或者直接貼裝在基板上。從粘性膜上吸取芯片的過程中,因為膜有粘性,直接用吸嘴從膜上吸取,真空力無法克服膜的粘力,取不下來。需要把芯片從膜上頂起來,使芯片的大部分與膜脫離,只剩下很下的部分還和膜粘著,這樣吸嘴從上面吸取芯片,所需要克服的粘力就很小了,就可以很順利的把芯片吸走了。現有的把芯片從膜上頂升,讓芯片和膜剝離的方法,主要是頂針的方法,芯片頂升時,頂升座用真空吸附住膜,從芯片的正下方,頂起一根或多根,頂針前端磨細,針尖做成圓弧,保證既可以減少接觸面積,又不會頂破膜。頂針頂升時,因為周邊的膜被真空吸附在下面的頂升座上,只有頂針冒出把芯片頂升,芯片周邊的膜會從芯片上剝離開,只剩下頂針處還有很小面積的膜還接觸著芯片,這樣膜的粘力就很弱了,上面的真空吸嘴就可以把芯片吸走了。頂針的方法,可以對應厚度超過100微米的芯片,厚的芯片,剛性比較好,頂針頂升時。主要為精密力學檢測試驗機研發生產,高低溫環境箱生產,信賴性檢測設備生產。南通鎢鋼非標頂針
具體頂針探針阻抗彈力試驗機技術規格及參數或需求更多產品可來電查詢或登錄公司購買SA品牌微克南添儀器的試驗機,全球客戶送貨上門,售后人員**當面培訓,直到學會為止。試驗機校準不設任何密碼,可以自主校驗,保質期過后可以自主找其他供貨商維修。試驗機硬件驅動,系統備份,解決客戶的后顧之憂。插拔力試驗機,荷重曲線儀計量精度優于,整機保修兩年,傳感器在保修范圍內。關鍵詞:頂針阻抗彈力試驗機探針阻抗彈力試驗機頂針探針荷重行程阻抗試驗機東莞市微克檢測設備有限公司精細的儀器,保證正確的測試結果;前列技術與完美售后,足以讓同行與客戶信服!這就是微克人做事做人做遵循的原則!主要為**精密力學檢測試驗機研發生產,高低溫環境箱生產,信賴性檢測設備生產。2006年成功申請多項國家力學**試驗機。為更好服務長三角客戶,于2006年末在蘇州設立辦事處。本公司是集產品研發、生產、銷售為一體的高科技企業。公司主要產品有:力學檢測儀器、中英文工控組態軟件、力量傳感器,阻抗模塊,數據采集卡等等。主要試驗機有按鍵荷重-位移曲線機(**產品)、全自動插拔力試驗機(**產品)、三軸按鍵開關荷重位移曲線儀(**產品),電腦全自動扭力試驗機。佛山頂針圖片本公司是集產品研發、生產、銷售為一體的高科技企業。
本實用新型涉及裝片裝置,具體而言,涉及一種球面頂針帽。背景技術:芯片裝片過程中,需要頂針帽吸附放置有芯片的貼片膜,頂針帽的帽體內部設置有頂針,用于將需要吸取的芯片頂出一定距離以便于芯片被吸取。傳統的頂針帽的帽蓋分為兩種:一種為帶有環形溝槽的帽蓋,另一種為平面帶孔帽蓋,但對于這兩種帽蓋面對貼膜粘性較大時均需要頂針用較大的頂出高度來提供足夠的能量使芯片和貼膜分離,但是當出現較大的頂出高度時,相鄰的芯片之間易發生碰撞造成芯片邊緣崩裂;再者,對于芯片尺寸較大時或貼膜粘性不穩定時,芯片不易拾取,勉強拾取時,芯片發生旋轉或移位,造成芯片懸掛,為了穩定的拾取芯片,不得不降低速度,損失機器產能。公開號為cnu的中國實用新型**,具體公開了一種裝片機頂針,其帽蓋為光滑平面結構,當貼膜粘度較大時或者芯片尺寸較大時,不能有效的使芯片與底部貼膜分離。技術實現要素:本實用新型的目的在于提供一種球面頂針帽,通過改變傳統帽蓋的結構使頂針帽能有效的分離芯片和底部貼膜。本實用新型的實施例是這樣實現的:一種球面頂針帽,包括用于容置頂針的帽體,帽體一端設有帽蓋,帽蓋為球缺且其球冠頂點凸出于帽體。
一般A4紙即可)測試資料儲存于硬碟(每一筆資料皆可儲存,不限次數)測試條件皆由電腦畫面設定(含測試行程、速度、次數、空壓、暫停時間等等)檢驗報表抬頭內容可隨時修改(中英文皆可)檢驗報表可自動產生,不須再作輸入。檢驗報表可轉換為Excel等文書報表格式。頂針探針荷重行程阻抗試驗機規格:測試荷重種類;2kgf、500gf(任選1個)顯示荷重:測試行程:100mm顯示行程:()測定速度范圍:1-300mm/min(壽命測試可以一分鐘**60次)傳動機構:滾珠螺桿采樣速率:27KHZ在線式充電槍插拔力試驗機簡介:本機主要用于充電槍流水線上批量檢測插入力與拔出力而設計,本機采用臥式設計,模擬用戶使用方式:充電座固定,充電槍以一定速度運行測試,以檢測出充電槍的插拔力。利用WINDOWS,視窗中文畫面設定,操作簡單方便,且所有資料皆可儲存(試驗條件,位移曲線圖,壽命曲線圖,檢查報表----等等),機器可以設置插入力與拔出力上下限的力值范圍,所測力超出范圍可以報警輸出。是一款綜合性價比較強的用于充電槍流水線上測試儀器。試驗過程:本在線式充電槍插拔力試驗機適合量產插拔力檢測,當充電槍插入到試驗機插口里面,極限開關信號檢測到充電槍已插到位。蘇州昕昀科技有限公司是一家專業從事環境檢測設備、力學檢測設備研發、生產、銷售服務的****。
信賴性檢測設備,包裝檢測設備等。針對前期客戶提供試驗室規劃方案,為客戶量身定做購置清單。有需要可以聯系我司!本公司對于取得的不俗成績毫不滿足,對于**的技術不會固步自封。因為我們相信客戶的要求是越來越嚴格的,我們的試驗機“沒有比較好,只有更好”。同時也希望我們的努力與付出,為中國的前列力學試驗機行業貢獻一點微薄之力。您可能感興趣電工套管壓力試驗機天津井蓋壓力試驗機廠家上海到湘潭物流公司數字采集技術荷重位移曲線儀海綿壓縮長久變形試驗機保溫材料壓縮性能試驗機*企業新聞資訊智能氙弧燈老化試驗箱@新聞快訊2019新款氧氣增壓泵工業氧氣增壓提升設備聯系電話STA02氧氣增壓泵工業氧氣增壓設備廠家2020新款LNG車載氣瓶檢測線低溫絕熱瓶檢驗設備在線咨詢公司同類產品流水線用按鍵開關荷重行程測試機流水線用按鍵開關荷重行程測試機,是在市場人力成本越來越高的情況下開發,繼我司的SA8205三軸荷重曲線機基礎上升級發展而成,真正實現全自動按鍵荷重位移測試。為客戶節省人力成本。同種產品,只要測試一次確更多詳細彈簧頂針連接器荷重行程阻抗測試機此款彈簧頂針連接器荷重行程阻抗測試機為測試頂針探針量身定制。登錄公司購買SA品牌微克南添儀器的試驗機,全球客戶送貨上門,售后人員當面培訓,直到學會為止。T型頂針哪里買
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作為本發明的一種推薦實施方式,還包括c形基座,所述基座包括設于所述第二滑塊上的底板、連接于底板一端的豎板以及連接于所述豎板頂端與所述底板相對布置的頂板,所述頂板上設有支撐筒,所述真空吸頭連接于所述支撐筒上。采用這樣的結構能夠避免升降驅動機構與支撐筒間的安裝***。作為本發明的一種推薦實施方式,所述支撐筒的外壁上設有氣嘴,所述支撐筒內設有連通所述真空吸頭與所述氣嘴的***氣道。能夠通過氣嘴進行抽氣來控制真空吸頭對粘性膜進行吸附。作為本發明的一種推薦實施方式,所述升降驅動機構包括設于所述豎板上的升降裝置以及設于所述支撐筒中的頂桿,所述頂桿頂部與所述頂升頭相連,所述升降裝置能夠驅動所述頂桿帶動所述真空吸頭進行升降。作為本發明的一種推薦實施方式,所述升降裝置包括安裝于所述豎板上的第三伺服電機,所述第三伺服電機具有伸至所述頂板下方的電機軸,所述電機軸上設有凸輪,所述頂桿底端穿過頂板上的通孔與所述凸輪相抵。采用這樣的結構,能夠通過凸輪的轉動來控制頂升頭的升降。作為本發明的推薦實施方式,所述進氣機構包括設于頂桿上的氣管接頭、設于所述頂桿中且連通所述氣管接頭的第二氣道。南通鎢鋼非標頂針
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