不會碎裂。但厚度100微米以內(nèi)的芯片,因為芯片本省已經(jīng)非常脆弱了,芯片面積稍大時,頂針頂升,芯片受頂針的力和膜的粘力的相互作用,很容易就碎裂了。所以對于厚度100微米以內(nèi)的薄芯片,迫切需要新的頂升方式從粘性膜上剝離。技術(shù)實現(xiàn)要素:本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種新型的空氣頂針式芯片膜上分離裝置,能夠?qū)穸仍?00毫米以下的芯片進行剝離,而不會損傷芯片。本發(fā)明通過如下方式解決該技術(shù)問題:一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置,包括真空吸頭,所述真空吸頭的頂壁上設(shè)有中心孔與環(huán)繞所述中心孔布置的吸氣孔,其特征在于:還包括設(shè)于所述中心孔中的頂升頭以及能夠驅(qū)動所述頂升頭頂壁高出所述真空吸頭的頂壁的升降驅(qū)動機構(gòu),所述頂升頭的頂壁上設(shè)有凹腔,所述頂升頭具有連通所述凹腔的進氣機構(gòu)。使用時,將真空吸頭置于粘性膜正下方,通過真空吸頭吸住粘性膜的底面,頂升頭上升,進氣機構(gòu)對凹腔內(nèi)充氣,使凹腔處的粘性膜開始凸起,芯片與粘性膜逐漸分離,從而使位于芯片上方的吸嘴可以順利將芯片吸走。采用這樣剝離方式,不會有傳統(tǒng)鋼制頂針受力集中的問題,能夠?qū)穸葹?00微米以下的芯片進行剝離而不會損傷芯片,相比現(xiàn)有技術(shù)有了***的進步。包括質(zhì)量的工藝試驗機價格、型號、圖片、廠家等信息。如有需要,請撥打電話。納米頂針型號如何選擇
323-***氣孔,324-貫通孔,325-擋圈,330-真空吸頭,332-吸氣孔,333-中心孔,334-殼筒,335-蓋板,336-凸耳,337-限位凹腔,338-限位孔,340-第三伺服電機,341-凸輪,342-定位盤,350-傳感器,351-感應(yīng)凹槽,360-支架,370-電磁閥,380-坦克鏈,400-頂升頭,410-頂桿,411-凸起端頭,412-氣管接頭,413-第二氣道,414-第二氣孔,420-彈簧,430-導(dǎo)套,440-限位彈簧,441-限位塊,442-導(dǎo)桿,443-凸臺,444-臺階,445-讓位凹口,446-限位柱,500-頂塊,510-連接塊,511-容置腔,512-密封圈,513-滑槽,514-定位桿,515-連接孔,520-底部,530-中部,540-頂部,541-凹腔,550-第三氣道,560-圈形磁鐵。具體實施方式以下通過具體實施例來對本發(fā)明進行進一步闡述:如圖1和圖4所示的空氣頂針式芯片膜上分離裝置,包括xy平面運動機構(gòu)、真空吸頭330、設(shè)于真空吸頭330內(nèi)的頂升頭400、控制頂升頭400升降的升降驅(qū)動機構(gòu)以及控制頂升頭400充放氣的進氣機構(gòu)。如圖1和圖4所示,xy平面運動機構(gòu)包括橫向直線導(dǎo)軌100、縱向直線導(dǎo)軌200。珠海引導(dǎo)頂針目前中國的實體經(jīng)濟由于用人成本的增加。
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