有機(jī)物的去除常常在清洗工序的第1步進(jìn)行,金屬污染物:IC電路制造過程中采用金屬互連材料將各個(gè)單獨(dú)的器件連接起來,首先采用光刻、蝕刻的方法在絕緣層上制作接觸窗口,再利用蒸發(fā)、濺射或化學(xué)汽相沉積(CVD)形成金屬互連膜,如A-Si,Cu等,通過蝕刻產(chǎn)生互連線,然后對(duì)沉積介質(zhì)層進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)。這個(gè)過程對(duì)IC制程也是一個(gè)潛在的污染過程,在形成金屬互連的同時(shí),也產(chǎn)生各種金屬污染。必須采取相應(yīng)的措施去除金屬污染物。原生氧化物及化學(xué)氧化物:硅原子非常容易在含氧氣及水的環(huán)境下氧化形成氧化層,稱為原生氧化層。IC封裝藥水與磷酸酯類物質(zhì)相比,本劑具有好于磷酸酯類物質(zhì)”三倍以上的防腐蝕效果。IC剝錫藥水供應(yīng)公司
IC封裝藥液油性封閉劑:閃點(diǎn)(40度)相比有機(jī)封閉劑低,不可兌水使用,使用安全,環(huán)保,無(wú)鉻,無(wú)排放;使用前需干燥新產(chǎn)品;使用壽命長(zhǎng),可循環(huán)使用,無(wú)需更換;產(chǎn)品封閉處理后,表面為全干性,少量油感,不影響產(chǎn)品后期的導(dǎo)電與焊接性能,耐腐蝕性能提高5-40倍。具有光澤度高,良好的罩光作用。單組分產(chǎn)品,施工方便,附著力強(qiáng),豐滿度好,保光、保色效果好,耐久,很好的耐候性,為耐黃變產(chǎn)品,可用水調(diào)節(jié)粘度,使用安全方便,經(jīng)濟(jì)使用。經(jīng)兩到四分鐘浸漬后,在金制品或金鍍層表面形成一層單分子膜厚度的防氧化保護(hù)層,依使用運(yùn)輸和儲(chǔ)存條件的不同,在1-3年內(nèi)可防止表面形成硫化物。太倉(cāng)IC除膠清洗劑IC封裝藥水不影響產(chǎn)品后期的導(dǎo)電與焊接性能。
現(xiàn)代清洗技術(shù)中的關(guān)鍵要求:IC清潔劑在未來90~65nm節(jié)點(diǎn)技術(shù)工藝中,除了要考慮清洗后的硅片表面的微粗糙度及自然氧化物去除率等技術(shù)指標(biāo)外,也要考慮對(duì)環(huán)境的污染以及清洗的效率其經(jīng)濟(jì)效益等。硅片清洗技術(shù)評(píng)價(jià)的主要指標(biāo)可以歸納為:微粗糙度(RMS);自然氧化物去除率;金屬沾污、表面顆粒度以及有機(jī)物沾污,其他指標(biāo)還包括:芯片的破損率;清洗中的再沾污;對(duì)環(huán)境的污染;經(jīng)濟(jì)的可接受:包括設(shè)備與運(yùn)行成本、清洗效率)等。金屬沾污在硅片上是以范德華引力、共價(jià)鍵以及電子轉(zhuǎn)移等三種表面形式存在的。這種沾污會(huì)破壞薄氧化層的完整性,增加漏電流密度,影響MOs器件的穩(wěn)定性,重金屬離子會(huì)增加暗電流,情況為結(jié)構(gòu)缺陷或霧狀缺陷。
IC封裝藥液在酸性、中性、堿性條件下均能溶解透明,且長(zhǎng)期穩(wěn)定。與磷酸酯類物質(zhì)相比,本劑具有好于磷酸酯類物質(zhì)”三倍以上的防腐蝕效果。“磷酸酯類物質(zhì)”含磷,易生菌,容易產(chǎn)生大量泡沫。而本劑不含磷、不易生菌、無(wú)泡。對(duì)黑色金屬和其它有色金屬都有輔助的防腐蝕作用;無(wú)毒、無(wú)味等特點(diǎn),不含有害物質(zhì),環(huán)保型水性產(chǎn)品﹔極低的添加量,綜合使用成本低;經(jīng)本劑處理的工件,可保持金屬本色,不影響加工精度﹔能夠鎖住金屬表面顏色,穩(wěn)定性好,防腐蝕性強(qiáng),保護(hù)效果好,金屬表面不褪色,從保護(hù)金屬元件的穩(wěn)定性。IC封裝藥水抗硫化性和耐候性能優(yōu)越,5%硫化鉀測(cè)試可通過1-2小時(shí)。
在執(zhí)行晶圓的前、后段工藝過程時(shí),晶圓需要經(jīng)過無(wú)數(shù)次的IC清潔劑清洗步驟,其次數(shù)取決于晶圓的設(shè)計(jì)和互連的層數(shù)。此外,由于清洗工藝過程要?jiǎng)冸x晶圓表面的光刻膠,同時(shí)還必須去除復(fù)雜的腐蝕殘余物質(zhì),金屬顆粒以及其他污染物等,所以清洗過程是及其復(fù)雜的過程。清洗介質(zhì)的選擇從濕法清洗的實(shí)踐中,越來越多出現(xiàn)難于解決的問題時(shí),迫使科技人員探索和尋找替代的技術(shù),除了如增加超聲頻率(采用MHz技術(shù))等補(bǔ)救方法之外,選擇的途徑就是選擇氣相清洗技術(shù)來替代(熱氧化法、等離子清洗法等)。IC封裝藥水在酸性、中性、堿性條件下均能溶解透明,且長(zhǎng)期穩(wěn)定。江蘇IC除膠清潔液
IC封裝藥水依使用運(yùn)輸和儲(chǔ)存條件的不同,在1-3年內(nèi)可防止表面形成硫化物。IC剝錫藥水供應(yīng)公司
IC除銹劑可以在不破壞基材表面外觀的前提下實(shí)現(xiàn)防銹功能,而且在某些特定條件下還可以增加表面的光亮度。IC除銹劑的使用工藝簡(jiǎn)單,配方中的物質(zhì)種類容易獲得,并且制備成本低,適用范圍較廣。從解決問題的角度出發(fā),未雨綢繆,把問題遏殺在萌芽階段是解決問題的比較好途徑和手段。IC除銹劑的出現(xiàn)可以有效的扮演這一角色。IC除銹劑的分類:通常按照溶液的特征,IC除銹劑可以分為;水溶性IC除銹劑、油溶性IC除銹劑、乳化型IC除銹劑、氣相IC除銹劑和蠟?zāi)ば虸C除銹劑等。IC剝錫藥水供應(yīng)公司