影響ITO蝕刻液側(cè)蝕的因素很多,下面概述幾點(diǎn):1)蝕刻速率:蝕刻速率慢會(huì)造成嚴(yán)重側(cè)蝕。蝕刻質(zhì)量的提高與蝕刻速率的加快有很大關(guān)系。蝕刻速度越快,板子在蝕刻液中停留的時(shí)間越短,側(cè)蝕量越小,蝕刻出的圖形清晰整齊。2)蝕刻液的PH值:堿性蝕刻液的PH值較高時(shí),側(cè)蝕增大。為了減少側(cè)蝕,一般PH值應(yīng)控制在8.5以下。3)蝕刻液的密度:堿性蝕刻液的密度太低會(huì)加重側(cè)蝕,選用高銅濃度的蝕刻液對(duì)減少側(cè)蝕是有利的。6)銅箔厚度:要達(dá)到較小側(cè)蝕的細(xì)導(dǎo)線的蝕刻,盡量采用(超)薄銅箔。而且線寬越細(xì),銅箔厚度應(yīng)越薄。因?yàn)椋~箔越薄在蝕刻液中的時(shí)間越短,側(cè)蝕量就越小。ITO顯影劑兩液顯影主要作用是用于加強(qiáng)陰影部分的影紋,減低高影調(diào)部分的密度。蘇州顯示屏蝕刻藥劑廠家直銷(xiāo)價(jià)
ITO蝕刻液影響蝕刻速率的因素:酸性氯化銅蝕刻液。Cl-含量的影響。溶液中氯離子濃度與蝕刻速率有著密切的關(guān)系,當(dāng)鹽酸濃度升高時(shí),蝕刻時(shí)間減少。在含有6N的HCl溶液中蝕刻時(shí)間至少是在水溶液里的1/3,并且能夠提高溶銅量。但是,鹽酸濃度不可超過(guò)6N,高于6N鹽酸的揮發(fā)量大且對(duì)設(shè)備腐蝕,并且隨著酸濃度的增加,氯化銅的溶解度迅速降低。添加Cl-可以提高蝕刻速率的原因是:在氯化銅溶液中發(fā)生銅的蝕刻反應(yīng)時(shí),生成的Cu2Cl2不易溶于水,則在銅的表面形成一層氯化亞銅膜,這種膜能夠阻止反應(yīng)的進(jìn)一步進(jìn)行。過(guò)量的Cl-能與Cu2Cl2絡(luò)合形成可溶性的絡(luò)離子(CuCl3)2-,從銅表面上溶解下來(lái),從而提高了蝕刻速率。江蘇金屬黑化現(xiàn)貨供應(yīng)ITO酸性蝕刻液一般用于多層印制板的內(nèi)層電路圖形的制作或微波印制板陰板法直接蝕刻圖形的制作。
ITO導(dǎo)電玻璃穩(wěn)定性:耐堿為浸入60℃、濃度為10%氫氧化鈉溶液中5分鐘后,ITO層方塊電阻變化值不超過(guò)10%。耐酸為浸入250C、濃度為6%鹽酸溶液中5分鐘后,ITO層方塊電阻變化值不超過(guò)10%。耐溶劑為在250C、二甲基酮、無(wú)水乙醇或100份去離子水加3分EC101配制成的清洗液中5分鐘后,ITO層方塊電阻變化值不超過(guò)10%。附著力:在膠帶貼附在膜層表面并迅速撕下,膜層無(wú)損傷;或連撕三次后,ITO層方塊電阻變化值不超過(guò)10%。熱穩(wěn)定性:在300°C的空氣中,加熱30分鐘后,ITO導(dǎo)電膜方塊電阻值應(yīng)不大于原方塊電阻的300%。
ITO蝕刻液影響蝕刻速率的因素:堿性氯化銅蝕刻液。溶液pH值的影響。蝕刻液的pH值應(yīng)保持在8.0~8.8之間,當(dāng)pH值降到8.0以下時(shí),一方面對(duì)金屬抗蝕層不利;另一方面,蝕刻液中的銅不能被完全絡(luò)合成銅氨絡(luò)離子,溶液要出現(xiàn)沉淀,并在槽底形成泥狀沉淀,這些泥狀沉淀能在加熱器上結(jié)成硬皮,可能損壞加熱器,還會(huì)堵塞泵和噴嘴,給蝕刻造成困難。如果溶液pH值過(guò)高,蝕刻液中氨過(guò)飽和,游離氨釋放到大氣中,導(dǎo)致環(huán)境污染;同時(shí),溶液的pH值增大也會(huì)增大側(cè)蝕的程度,從而影響蝕刻的精度。ITO酸性蝕刻液較容易再生與回收,從而減少污染。
ITO顯影劑的兩液顯液:兩液顯影主要作用是用于加強(qiáng)陰影部分的影紋,減低高影調(diào)部分的密度。曝光時(shí),陰影部分須比正常提高一個(gè)區(qū)。如果膠片容易發(fā)灰,在溶液B中加入少量的10%溴化鉀溶液。底片上的高密度部分的厚度,主要依靠A溶液顯影時(shí)間的控制,底片進(jìn)入溶液B以后,高密度部分的顯影作用已經(jīng)停止了,但低密度的部分仍然繼續(xù)進(jìn)行,溶液B可以調(diào)制的比較強(qiáng),但是B溶液越強(qiáng),顆粒就會(huì)越粗,所以這種沖洗法需要事前進(jìn)行比較大量的試驗(yàn)。ITO蝕刻液是一種無(wú)色透明的液體。江蘇金屬黑化現(xiàn)貨供應(yīng)
ITO顯影液在工業(yè)上來(lái)說(shuō),是針對(duì)半導(dǎo)體晶片而言。蘇州顯示屏蝕刻藥劑廠家直銷(xiāo)價(jià)
影響ITO氯化鐵蝕刻液蝕刻速率的因素:a、Fe3+濃度的影響:Fe3+的濃度對(duì)蝕刻速率有很大的影響。蝕刻液中Fe3+濃度逐漸增加,對(duì)銅的蝕刻速率相應(yīng)加快。當(dāng)所含超過(guò)某一濃度時(shí),由于溶液粘度增加,蝕刻速率反而有所降低。b、蝕刻液溫度的影響:蝕刻液溫度越高,蝕刻速率越快,溫度的選擇應(yīng)以不損壞抗蝕層為原則,一般在40~50℃為宜。c、鹽酸添加量的影響:在蝕刻液中加入鹽酸,可以阻止FeCl3水解,并可提高蝕刻速率,尤其是當(dāng)溶銅量達(dá)到37.4g/L后,鹽酸的作用更明顯。但是鹽酸的添加量要適當(dāng),酸度太高,會(huì)導(dǎo)致液態(tài)光致抗蝕劑涂層的破壞。d、蝕刻液的攪拌:靜止蝕刻的效率和質(zhì)量都是很差的,原因是在蝕刻過(guò)程中在板面和溶液里會(huì)有沉淀生成,而使溶液呈暗綠色,這些沉淀會(huì)影響進(jìn)一步的蝕刻。蘇州顯示屏蝕刻藥劑廠家直銷(xiāo)價(jià)
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