半水清洗主要采用有機溶劑和去離子水,再加上一定量的活性劑、添加劑所組成的清洗劑。該類清洗介于溶劑清洗和水清洗之間。這些IC清潔劑都屬于有機溶劑,屬于可燃性溶劑,閃點比較高,毒性比較低,使用上比較安全,但是須用水進行漂洗,然后進行烘干。有些清洗劑中添加5%~20%的水和少量表面活性劑,既降低了可燃性,又可使漂洗更為容易。半水清洗工藝特點是:清洗能力比較強,能同時除去極性污染物和非極性污染物,洗凈能力持久性較強;清洗和漂洗使用兩種不同性質(zhì)的介質(zhì),漂洗一般采用純水,漂洗后要進行干燥。IC封裝藥水適用于各種Cu-alloy、Fe-Ni-alloy、Ni。江蘇IC封裝藥水現(xiàn)貨供應(yīng)
IC清潔劑流體與固體接觸時,不帶任何表面張力,因此能滲透到晶圓內(nèi)部較深的光刻位囂,因而可以剝離更小的顆粒。流體的粘度很低,可以去除掉晶圓表面的無用固體。采用超臨界流體清洗給組合元件圖案造成的損傷少并可以壓制對基板的侵蝕和不純物的消費。可對注入離子的光敏抗腐蝕劑掩模用無氧工藝進行剝離。引進超臨界流體清洗技術(shù),清洗方法以不使用液體為主流,預(yù)計到2020年,可達到幾乎完全不使用液體的超臨界流體清洗或者針點清洗成為主要的清洗方法超臨界流體清洗的革新點在于可以解決現(xiàn)有清洗方法中的兩個弊端,即清洗時,損傷晶片、或組合元件和污染環(huán)境的問題。南通IC除膠清潔液IC封裝藥水耐腐蝕性能提高5-20倍。
選擇清洗介質(zhì),即IC清潔劑是設(shè)備設(shè)計、清洗流程、工藝的前提,根據(jù)現(xiàn)代清洗技術(shù)中的關(guān)鍵要求,結(jié)合當(dāng)前材料科技發(fā)展中出現(xiàn)的新觀念、新成果,把目光集中到超臨界、超凝態(tài),常壓低溫等離子體等介于氣、液相的臨界狀態(tài)物質(zhì)是順理成章的事。超臨界清洗劑:氣相清洗方法,使晶圓在氣相加工過程中可以一直保持在真空是內(nèi),避免污染,因而增加了成品率,并降低了成本,氣相清洗方法采用了非常重要的CO2,超臨界CO2技術(shù)是使CO2成為液態(tài),用高壓壓縮成一種介于液體和氣體之間的流體物質(zhì),"超臨界"狀態(tài)。
有機物的去除常常在清洗工序的第1步進行,金屬污染物:IC電路制造過程中采用金屬互連材料將各個單獨的器件連接起來,首先采用光刻、蝕刻的方法在絕緣層上制作接觸窗口,再利用蒸發(fā)、濺射或化學(xué)汽相沉積(CVD)形成金屬互連膜,如A-Si,Cu等,通過蝕刻產(chǎn)生互連線,然后對沉積介質(zhì)層進行化學(xué)機械拋光(CMP)。這個過程對IC制程也是一個潛在的污染過程,在形成金屬互連的同時,也產(chǎn)生各種金屬污染。必須采取相應(yīng)的措施去除金屬污染物。原生氧化物及化學(xué)氧化物:硅原子非常容易在含氧氣及水的環(huán)境下氧化形成氧化層,稱為原生氧化層。IC封裝藥水在酸性、中性、堿性條件下均能溶解透明,且長期穩(wěn)定。
IC封裝藥液是將一定分量的各組分鹽酸(30~80g)、六亞甲基四胺(1~10g)、十二烷基苯磺酸鈉(1~10g)、十二烷基硫酸鈉(0~2g)、尿素、(三乙醇胺)、氯化鈉、6501、TX-10少量,再配加由十二烷基苯磺酸鈉、十二烷基磺酸鈉、檸檬酸、鹽酸配制的活化劑,混合均勻即可。對銹層和雜質(zhì)層發(fā)生溶解、剝落作用。該IC除銹劑中的多種原料吸附在表面、銹層和雜層上,在固/液界面上形成擴散雙電層,由于銹層和表面所帶的電荷相同,從而發(fā)生互斥作用,而使銹層、雜質(zhì)和氧化皮從表面脫落。IC封裝藥水環(huán)保,無鉻,符合國家檢測標準。蘇州IC鍍錫藥劑銷售
由多種進口表面活性、緩蝕劑及其它助劑配制而成的水基清洗劑,針對去除切割工藝的膠粘合劑特別研制。江蘇IC封裝藥水現(xiàn)貨供應(yīng)
IC封裝藥液銀封閉劑具有很強的耐硫化和耐鹽霧性,通過各種腐蝕測試,具有很強的防銀變色效果。抗硫化性和耐候性能優(yōu)越,5%硫化鉀測試可通過1-2小時,能通過硫化氫和鹽霧測試48小時以上。護膜接觸電阻很小,不影響鍍層的導(dǎo)電性、可焊性,保持鍍層外觀潔白光亮。經(jīng)金防變色劑處理后的銀鍍層抗變色能力持久,經(jīng)測試1-3年不變色、不生銹。本產(chǎn)品潤滑性、耐磨性能優(yōu)良。緩蝕率高;可有效防止鋁材黑變、灰變、白毛、失光、失色的不良現(xiàn)象的產(chǎn)生;與硅酸鹽相比,本劑具有好于硅酸鹽五倍以上的防腐蝕效果,比硅酸鹽溶液穩(wěn)定,不會出現(xiàn)析出、凝膠、懸浮、沉淀、結(jié)垢的現(xiàn)象。江蘇IC封裝藥水現(xiàn)貨供應(yīng)
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