復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

  (1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。

  潔凈隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區輕易執行。

  (2)潔凈管道(Clean Tube)：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。

  (3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。

亂流非單向流潔凈室凡不符合單向流定義的氣流的潔凈室。混合流潔凈室：單向流和非單向的氣流的潔凈室。安徽排風柜檢測規范性強

空氣潔凈度等級1、儀器設備及環境測量儀器塵埃粒子計數器。環境溫度潔凈室區的溫度和相對濕度應與其生產及工藝要求相適應。2、采樣點的位置及數量a.測定潔凈度的每次**小采樣量；b.每個潔凈區**少采樣次數為3次，當潔凈區*有一個采樣點時，則在該點至少采樣3次；d.對預期空氣潔凈度等級達到4級或更潔凈的環境采樣量很大可采用ISO14644-1附錄F規定的順序采樣法。3、技術要求①每個采樣點的平均粒子濃度Ci應小于或等于潔凈度等級規定的限值；②全部采樣點的平均粒子濃度N的95%置信上限值應小于或等于潔凈等級規定的限值。4、操作過程及判定①儀器開機后預熱至穩定后，方可按照使用說明書的規定對儀器進行校正，自檢、自校、零計數；②采樣管口置采樣點采樣時在確認計數穩定后方可開始連續讀數；③計數器采樣口和儀器的工作位置應處在同一氣壓和溫度下，以免產生測量誤差；④對于單向流潔凈室采樣口應對著氣流方向對于亂流潔凈室采樣口宜向上采樣速度均應盡可能接近室內氣流速度；⑤記錄數據評價。山東潔凈工作臺檢測認真負責主要工作室一般照明的照度值宜為3001x。

如何維持良好的壓差穩定性1、定期更換新風濾網，以減少新風濾網堵塞造成的壓差降低。2、定期更換初效、中效過濾器，以減少送風量的波動帶來的壓差混亂。3、不要頻繁地開門、關門，以免自控系統反復調節出現失靈和壓差紊亂。4、減少每次開、關門時間，以免出現風量泄漏、壓差降低超過系統的調節圍。5、關門必須關嚴，否則漏風量過大，會造成壓差混亂。6、使用自動門，可以設定開門時間、保持時間、關門時間，保證壓差不受到很大的波動影響。7、定期檢查每一個門的密封性。8、定期檢查現場的壓差裝置及顯示數據。9、隨時監控在線壓差顯示系統的數據，隨時了解現場發生的狀況，并及時提醒操作人員注意壓差的穩定保持。

①換氣次數

   換氣次數的作用是保證有足夠進行稀釋的干凈氣流。

   換氣次數的多少應根據計算和經驗確定。

   ②氣流組織

   氣流組織的作用是保證能均勻地送風和回風，充分發揮干凈氣流的稀釋作用。因此要求單個風口有足夠的擴散作用，全室回風布置均勻，數量多一些好，要盡量減少渦流和氣流回旋。

   ③自凈時間

   自凈時間是潔凈室從污染狀態回復到穩定狀態的能力的體現，越短越好。也可以指定為從某污染狀態降低到某潔凈狀態的時間。

③下限風速

   這是為了保證潔凈室能控制以下四種污染的小風速：

   a.當污染氣流多方位散布時，送風氣流要能有效控制污染的范圍；

   b.當污染氣流與送風氣流同向時，送風氣流要能有效控制污染氣流到達下游的擴散范圍；

   c.當污染氣流與送風氣流逆向時，送風氣流能把污染氣流在必要的距離之內；

   d.在全室被污染的情況下，足以在合適的時間迅速使室內空氣自凈。

潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除。

潔凈車間也叫無塵車間、潔凈室、無塵室，是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

  什么是十萬級潔凈車間呢？簡單來說，就是車間每立方米空氣中直徑≥0.5μm粒子數不大于352萬個，空氣中粒子數越少，就意味著灰塵和微生物數量越少，空氣越潔凈。十萬級潔凈車間還要求車間每小時換氣需達到15-19次，完全換氣后空氣凈化時間不超過40分鐘。 相鄰不同級別潔凈室之間和潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應不小于5Pa。潔凈室環境檢測哪家好

靜態已全部建成的設施齊備的潔凈室中安裝完生產設備并按業主供應商商定的方式試遠轉，但場內無生產人員。安徽排風柜檢測規范性強

沉降菌測定法：沉降菌指落在地面或物體表面的灰塵中攜帶的細菌。在無菌操作臺開啟的狀態下，取內徑90毫米的無菌培養皿若干，無菌操作分別注入融化并冷卻至45℃的營養瓊脂培養基越15毫升，倒置于30~35℃培養箱培養48小時，證明無菌后備用。將已鋪有營養瓊脂培養基的培養皿放在指定區域距地面約1米的規定處(一般每10平方米放置一個平皿)，在空氣中暴露30分鐘，采集沉降菌，蓋好平皿蓋兒，置30-35℃培養箱內培養48小時，取出計數，車間內應為操作狀態。檢測沉降菌數量，每碟小于或等于10個，便能達到10萬級凈化車間標準。安徽排風柜檢測規范性強

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