-連接氮氣，檢查氮氣供氣壓力為50psig()。，等幾分鐘后，氣溶膠到達終端過濾器。?將掃描探頭與上游濃度測試孔相連接。?按?或?鍵，使光標停留在“上游80%濃度檢測”，按“確認”;觀察上游濃度數值，調節讀數在20-80之間，讀數穩定后記錄下讀數。?將掃描探頭與下游濃度測試孔相連接。?調整光標至“使用內部參考值”?按“確認”鍵，調節參數值至測定的上游濃度值。?掃描過濾器表面及邊框，距濾器表面距離約3cm。?采樣頭的往復掃描速度Sr約為15/Wp，使用3cm*3cm正方形采樣頭時，Sr=5cm/s;采用5cm*1cm的長方形采樣頭，Sr=3cm/s。(Sr為掃描速度，Wp為垂直于掃描方向的采樣頭寬度)。?將上游濃度測試管與上游濃度測試孔相連接。?按?或?鍵，使光標停留在“上游80%濃度檢測”，按“確認”;觀察上游濃度數值。上游濃度隨時間變化不應超過平均測量值的±15%。?關閉氣溶膠按鈕。?氮氣繼續通過氣溶膠發生器約30秒。?關閉N2。?關閉電源。表1高效過濾器完整性測試操作步驟局部層流/房間百級（高效檢漏）非層流潔凈室（高效檢漏）A.拆除層流罩B.額定風速確定測量點距過濾器出風面約150-300mm測試點數取測試面積10倍的平方根，且不少點。蔚亞科技提供科學、公正、具有法律效力的檢測數據和報告。廣東實驗室環境檢測認真負責

潔凈室的主要作用是控制產品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產品能夠在良好的環境空間中生產制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級主要是根據空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數量來規定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點灰塵，而是控制在極少量的單位。當然，這個標準中符合粉塵標準的顆粒物，相對于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對于光學結構來說，哪怕是一點點的粉塵也會產生非常大的負面影響浙江口罩生產車間環境檢測空氣潔凈度的具體高低則是用空氣潔凈度級別來區分的，而這種級別又是用操作時間空氣的計數含塵濃度來表示。

1、凡有試運轉要求的設備單機試運轉應符合設備技術文件的有關規定。屬于機械設備的共性要求還應符合國家相關規定和機械設備施工安裝方面的有關行業標準。通常潔凈室需進行單機試運轉的設備有空調機組、送風增壓風機箱、排風設備、凈化工作臺、靜電自凈器、潔凈干燥箱、潔凈儲物柜等局部凈化設備以及空氣吹淋室、余壓閥、真空吸塵清掃設備等。2、在單機試運轉合格后需對送風系統、回風系統、排風系統的風量、風壓調節裝置進行設定與調整使各系統的風量分配達到設計要求。這個階段檢測的目的主要是服務于空調凈化系統的調節與平衡往往需要反復進行多次。此項檢測主要由承包商負責建設方的維護管理人員宜于跟進以便熟悉系統。在此基礎上再進行包括冷、熱源在內的系統聯合試運轉時間一般不少于8h。要求系統中各項設備部件包括凈化空調系統、自動調節裝置等的聯動運轉與協調過程中應動作正確無異常現象。

（1）亂流潔凈室a.對于不安裝過濾器的風口可按綜合效能普通通風空調風口風量測試的方法進行。b.對于安有過濾器的風口，根據風口形式可選用輔助風管，即用硬質板材做成與風口內截面相同、長度等于2倍風口邊長的直管段連接于過濾器風口外部在輔助風管出口平面上，按**少測點數不少于6點均勻布置測點，用熱球風速儀測定各點風速，以風口截面平均風速乘以風口凈截面積確定風量。c.對于安有同類擴散板的風口，可以根據擴散板的風量阻力曲線和實測擴散板阻力，查出風量測定時用微壓計和畢托管或用細橡管代替畢托管，但都必須使測孔平面與氣流方向垂直使測值正確反映靜壓值。設備及儀器方面：先進的設備和技術，可確保測試結果準確。

單向流潔凈室的流動狀態從雷諾數看是湍流，所以所謂層流潔凈室中的層流和流體力學中的層流是完全不同的概念。因此，層流潔凈室一詞是不恰當的，國外的一些標準和文章也指出了這一點。例如，英國標準BS-5295曾將所謂的層流潔凈室定義為單向流潔凈室。層流在括號中表示。原聯邦德國標準VDl-2083使用“非湍流置換流”一詞，并在注釋中指出層流的概念只是為了區分比層流更早出現的湍流(turbulent)流潔凈室整理房間。在當時使用的成語中，“層流系統”的確切含義不是分層流，而是湍流的置換流。本章提到的概念是湍流的漸進流。在流體力學中，這種流動狀態也可以稱為平行流動或單向流動。1977年，我國在《清潔空氣技術措施》中選擇了“平行流”一詞，并指出習慣上在該詞后稱其為“層流”。靜態已全部建成的設施齊備的潔凈室中安裝完生產設備并按業主供應商商定的方式試遠轉，但場內無生產人員。江蘇國內檢測規范性強

凡有試運轉要求的設備單機試運轉應符合設備技術文件的有關規定。廣東實驗室環境檢測認真負責

（二）潔凈室制造竣工驗收的調試工作1、凡有試運轉要求的設備單機試運轉應符合設備技術文件的有關規定。屬于機械設備的共性要求還應符合國家相關規定和機械設備施工安裝方面的有關行業標準。通常潔凈室需進行單機試運轉的設備有空調機組、送風增壓風機箱、排風設備、凈化工作臺、靜電自凈器、潔凈干燥箱、潔凈儲物柜等局部凈化設備以及空氣吹淋室、余壓閥、真空吸塵清掃設備等。2、在單機試運轉合格后需對送風系統、回風系統、排風系統的風量、風壓調節裝置進行設定與調整使各系統的風量分配達到設計要求。這個階段檢測的目的主要是服務于空調凈化系統的調節與平衡往往需要反復進行多次。此項檢測主要由承包商負責建設方的維護管理人員宜于跟進以便熟悉系統。在此基礎上再進行包括冷、熱源在內的系統聯合試運轉時間一般不少于8h。要求系統中各項設備部件包括凈化空調系統、自動調節裝置等的聯動運轉與協調過程中應動作正確無異常現象。廣東實驗室環境檢測認真負責