(三)空氣過濾器的泄露1、儀器設(shè)備及環(huán)境測量儀器塵埃粒子計數(shù)器、氣溶膠發(fā)生器。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計溫度下。2、抽樣高效過濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場前,生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行性能試驗,并提供合格證。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應(yīng)該逐臺進(jìn)行檢漏,亂流潔凈室對于7級或更低級別的潔凈室,只要潔凈室達(dá)到了所要求的空氣潔凈度級別,就可以不進(jìn)行檢漏。3、技術(shù)要求檢漏的結(jié)果要符合條件:由受檢過濾器下風(fēng)側(cè)測到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過率,對于高效過濾器應(yīng)不大于過濾器出廠合格率的2倍,對于超高效過濾器應(yīng)不大于出廠合格透過率的3倍。5、操作過程及判定過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。對于安裝于送、排風(fēng)末端的高效過濾器,應(yīng)用掃描法進(jìn)行過濾安裝邊框和全斷面檢漏,掃描法有檢漏儀法光度計法和采樣量**小為1L/min的粒子計數(shù)器法兩種。空氣潔凈度的具體高低則是用空氣潔凈度級別來區(qū)分的,而這種級別又是用操作時間空氣的計數(shù)含塵濃度來表示。浙江電子廠房環(huán)境檢測價格
(1)將所有的門關(guān)閉,將測定用膠管口徑比較好在5mm以下從墻壁上的孔洞伸入室內(nèi)在離壁面不遠(yuǎn)處,垂直于氣流方向設(shè)置周圍無阻擋氣流擾動**小。(2)靜壓差的測定應(yīng)從平面上**里面的房間,通常也就是潔凈度級別比較高的房間,與其緊鄰的房間之間的壓差測起依次向外測定,直至測得**靠外的潔凈室與周圍附屬環(huán)境之間、與室外環(huán)境之間的壓差。(3)對于潔凈度高于5級的單向流層流潔凈室,還應(yīng)測定在門開啟狀態(tài)下離門口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。5、檢測時的注意事項在進(jìn)行潔凈室靜壓差檢測之前,必須先驗證在潔凈室或潔凈設(shè)施正常工作時,應(yīng)該關(guān)閉的門全部關(guān)閉條件下的送風(fēng)量與回風(fēng)量、排風(fēng)量是否與規(guī)定風(fēng)量相符。若達(dá)不到標(biāo)準(zhǔn)的要求應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量直至合格為止。浙江潔凈工作臺檢測方便客戶氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。
(一)根據(jù)潔凈度級別和空氣凈化系統(tǒng)確認(rèn)的結(jié)果及風(fēng)險評估,確定取樣點的位置并進(jìn)行日常動態(tài)監(jiān)控。(二)在關(guān)鍵操作的全過程中,包括設(shè)備組裝操作,應(yīng)當(dāng)對A級潔凈區(qū)進(jìn)行懸浮粒子監(jiān)測。生產(chǎn)過程中的污染(如活生物、放射危害)可能損壞塵埃粒子計數(shù)器時,應(yīng)當(dāng)在設(shè)備調(diào)試操作和模擬操作期間進(jìn)行測試。A級潔凈區(qū)監(jiān)測的頻率及取樣量,應(yīng)能及時發(fā)現(xiàn)所有人為干預(yù)、偶發(fā)事件及任何系統(tǒng)的損壞。灌裝或分裝時,由于產(chǎn)品本身產(chǎn)生粒子或液滴,允許灌裝點≥5.0μm的懸浮粒子出現(xiàn)不符合標(biāo)準(zhǔn)的情況。(三)在B級潔凈區(qū)可采用與A級潔凈區(qū)相似的監(jiān)測系統(tǒng)。可根據(jù)B級潔凈區(qū)對相鄰A級潔凈區(qū)的影響程度,調(diào)整采樣頻率和采樣量。(四)懸浮粒子的監(jiān)測系統(tǒng)應(yīng)當(dāng)考慮采樣管的長度和彎管的半徑對測試結(jié)果的影響。(五)日常監(jiān)測的采樣量可與潔凈度級別和空氣凈化系統(tǒng)確認(rèn)時的空氣采樣量不同。(六)在A級潔凈區(qū)和B級潔凈區(qū),連續(xù)或有規(guī)律地出現(xiàn)少量≥5.0 μm的懸浮粒子時,應(yīng)當(dāng)進(jìn)行調(diào)查。由于排風(fēng)量大造成新風(fēng)量大,故新風(fēng)處理所需冷量消耗大。
4、懸浮粒子-微粒計數(shù)農(nóng)度A、室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服,不得超過2人,應(yīng)位于測試點下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測試點,并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點操作時動作要輕,應(yīng)減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。C、檢測前和檢測后設(shè)備“清零”D、在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動力采樣,進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過20%。若無法做到這一點,將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點,采樣口應(yīng)豎直向上。E、采樣口至粒子計數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣點一般離地面0.8-1.2m左右,要均勻科學(xué)布點,而且要避開回風(fēng)口。對任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域,采樣點的數(shù)目都不得少于2個,總采樣數(shù)可根據(jù)面積開2次根求得。檢測為送回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件:氣流設(shè)計時要考慮高大設(shè)備對氣流組織的影響。湖南生物安全柜檢測哪家好
潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的。浙江電子廠房環(huán)境檢測價格
潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn)是指對潔凈室進(jìn)行檢測和評估時所遵循的一系列標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范。以下是一些常見的潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn):ISO 14644系列標(biāo)準(zhǔn):這是國際標(biāo)準(zhǔn)化組織(ISO)制定的一系列標(biāo)準(zhǔn),用于評估潔凈室的空氣潔凈度。其中ISO 14644-1是**常用的標(biāo)準(zhǔn),定義了潔凈室中空氣中顆粒物的數(shù)量限制。GMP(Good Manufacturing Practice):這是一種制藥行業(yè)常用的質(zhì)量管理體系,包括對潔凈室的設(shè)計、操作和維護(hù)等方面的要求。USP(United States Pharmacopeia):這是美國藥典,其中包含了對潔凈室的要求和測試方法。EU GMP(European Union Good Manufacturing Practice):這是歐盟制藥行業(yè)的質(zhì)量管理體系,對潔凈室的要求和測試方法與GMP類似。FDA(Food and Drug Administration):這是美國食品藥品監(jiān)督管理局,對潔凈室的要求和測試方法進(jìn)行監(jiān)管。IEST(Institute of Environmental Sciences and Technology):這是一個專門研究潔凈技術(shù)的組織,制定了一些潔凈室測試和評估的標(biāo)準(zhǔn)。以上是一些常見的潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn),具體的標(biāo)準(zhǔn)要根據(jù)潔凈室的應(yīng)用領(lǐng)域和要求來確定。浙江電子廠房環(huán)境檢測價格