6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應根據電子產品發展以及生產工藝改造和擴大生產規模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結構宜采用大空間及大跨度柱網，不應采用內墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設計應簡潔、明快，并應適應潔凈室(區)的布置要求。潔凈廠房圍護結構的材料選型應滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結構的耐久性應與電子產品生產線設備、生產環境控制設施協調，并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區。6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造，應滿足產品生產工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。凡不符合單向流定義的氣流。北京潔凈室環境無塵室檢測服務至上

15.5.1施工材料在運輸、儲存和施工過程中，應采取包裹、覆蓋、密閉、圍擋等措施，防止污染環境。15.5.2施工過程中應做到當天施工當天清理現場，并有專人負責的制度。在完成了高效過濾器安裝、地面墻面的裝飾工作之后，潔凈室內不應再進行產塵、揚塵作業。15.5.3應根據環保噪聲標準晝夜要求的不同，合理協調安排施工分項的施工時間。15.5.4施工完成后根據需要可進行環保測評。15.5.5施工組織設計應包括施工節能內容，編制施工節能方案，并經監理(建設)單位審查批準，對從事施工節能作業的專業人員應進行技術交底和必要的實際操作培訓。15.5.6采取節約用電、用水措施，施工用電、用水應安裝計量裝置。半導體凈化車間無塵室檢測流程無塵室是指可以將環境因素控制在規定數值內的空間，稱之為無塵室。

11. 4.1 生物安全柜內如有氣管和水管，應同時安裝完畢。11.4.2當多臺生物安全柜的排風支管與豎井內封閉的排風立管相連接時，支管應采用防回流裝置，并應從立管入口后向上伸人**少0.6m。11.4.3生物安全柜安裝就位之后，連接排風管道之前，應對高效過濾器安裝邊框及整個濾芯面掃描檢漏。當為零泄漏排風裝置時，應對濾芯面檢漏。11.4.4在采用壓力相關的手動調節閥定風量系統中，當多臺安全柜排風并聯時，整個系統在安全柜安裝后應重新平衡，采用壓力無關的風量平衡閥時可不做此項平衡。11.4.5生物安全柜安裝并檢漏之后，應進行下列現場檢驗.

12.4.2消防應急照明燈(以下簡稱照明燈）的安裝應符合下列規定：1當照明燈安裝在墻上時，照明燈光線不應正面迎向人員疏散方向。2照明燈不得安裝在地面上，或1m~2.2m之間的側面墻上。照明燈宜采用嵌入式安裝并與安裝面平齊，四周應密封。3疏散走道上安裝的照明燈應均勻布置，并保證其地面平均照度不低于5lx。12.4.3蓄光型疏散指示標志牌(以下簡稱標志牌）的安裝應符合下列規定：1標志牌安裝在疏散走道和主要疏散路線的地面或靠近地面的墻上時，其箭頭應指向**近的疏散出口或安全出口。2標志牌安裝在墻上時，其下邊緣距地面距離不應大于1m；安裝在地面上時，應采用粘貼、鑲嵌式工藝安裝，其安裝后應平整、牢固。人員在進人潔凈室(區)之前按一定程序進行凈化的房間。

3.1.1電子工業潔凈廠房生產環境的設計應根據生產工藝的要求控制微粒和對產品質量有害的雜質，同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數要求。3.1.2生產環境設計應根據產品品種及生產工藝要求，對電子產品生產過程需用的包括化學品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質的質量進行控制。3.1.3潔凈室（區)內產品生產過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質和清潔方式應按生產工藝要求選擇。3.1.1電子工業潔凈廠房生產環境的設計應根據生產工藝的要求控制微粒和對產品質量有害的雜質，同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數要求。3.1.2生產環境設計應根據產品品種及生產工藝要求，對電子產品生產過程需用的包括化學品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質的質量進行控制。3.1.3潔凈室（區)內產品生產過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質和清潔方式應按生產工藝要求選擇。指潔凈室(區)在生產操作全部結束,生產操作人員撤離現場并經過20 min自凈后。上海過濾器無塵室檢測公司

利用高速潔凈氣流吹落進入潔凈室人員或物料表面附著粒子的小室。北京潔凈室環境無塵室檢測服務至上

17.3.4在系統和設備的外觀檢查后應進行單機試運轉檢查，并應確認運轉正常。其中風機的試運行時間不少于2h，不得反轉，其滑動軸承最高溫度不得超過70℃。17.3.5安裝確認后應進行空態或靜態條件下的運行確認，應進行帶冷（熱）源的系統正常聯合試運轉，并不應少于8h。系統中各項設備部件和自動控制環節聯動運轉應協調，動作正確，無異常現象。17.3.4在系統和設備的外觀檢查后應進行單機試運轉檢查，并應確認運轉正常。其中風機的試運行時間不少于2h，不得反轉，其滑動軸承最高溫度不得超過70℃。17.3.5安裝確認后應進行空態或靜態條件下的運行確認，應進行帶冷（熱）源的系統正常聯合試運轉，并不應少于8h。系統中各項設備部件和自動控制環節聯動運轉應協調，動作正確，無異常現象。北京潔凈室環境無塵室檢測服務至上