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上海潔凈氣體3Q驗證潔凈室檢測范圍

來源: 發布時間:2024-12-03

9.2.5潔凈廠房的正常照明因電源故障而熄滅,不能進行必要的操作處置可能導致生產流程混亂,加工處理的貴重零部件損壞;或由于不能進行必要的操作處置而可能引起火災、和中毒等事故,本條規定應設置備用照明,以防止上述事故和情況發生。備用照明應滿足所需要的場所或部位進行各項活動和工作所需的最低照度值。一般場所備用照明的照度不應低于正常照明照度標準的1/10。消防控制室、應急發電機室、配電室及電話機房等房間的主要工作面上,備用照明的照度不宜低于正常照明的照度值。為減少燈具重復設置,節省投資,并對提高潔凈室的潔凈度有利,備用照明宜作為正常照明的一部分。非連續運行的潔凈室,可根據生產工藝要求設置值班送風。上海潔凈氣體3Q驗證潔凈室檢測范圍

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1近年來,在大規模集成電路生產(前工序)用潔凈廠房、TFT-LCD生產用潔凈廠房的建造、設計中,基本上采用多層的布置方式,在潔凈生產層吊頂格柵以上的上技術夾層常常作為送風靜壓箱,潔凈空氣通過FFU向潔凈生產層送風,實際上,潔凈生產層與上技術夾層是相通的;而潔凈生產層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板,在活動地板等以下是作為回風靜壓箱的下技術夾層,在下技術夾層常常還設置一些公用動力設備、輔助生產設備和公用動力管線等,潔凈生產層的回風通過活動地板、多孔板回至下技術夾層,實際上,下技術夾層與潔凈生產層是相通的,所以可以認為:電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術夾層,潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。安徽口罩生產車間環境潔凈室檢測技術好在滿足生產工藝的條件下,管道系統應盡量短。

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7.1.1潔凈廠房內各潔凈室(區)的空氣潔凈度等級,應根據電子產品生產工藝特點和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應根據各潔凈室(區)空氣潔凈度等級和電子產品工藝特點的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者,凈化空調系統宜分開設置:1運行班次或使用時間不同;2生產過程中散發的物質對其他工序、設備交叉污染,對產品質量或操作人員健康、安全有影響;3對溫、濕度控制要求差別大;4潔凈室(區)內工藝設備發熱相差懸殊;5凈化空調系統與一般空調系統,6系統風量過大的凈化空調系統。

近年來,國內設計、建造的潔凈廠房,一般是根據產品生產工藝要求或潔凈廠房的布局情況按相鄰潔凈室(區)的潔凈度等級確定潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級,還有一些潔凈廠房雖然沒有對潔凈工作服更衣室、潔凈工作服洗滌室提出空氣潔凈度等級要求,但室內采用高效空氣過濾送風系統,或將潔凈室內的凈化空氣部分地引人更衣室、潔凈工作服洗滌室。為此,本次修訂時對潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈區1級~2級和“潔凈服洗滌室的空氣潔凈度等級不宜低于8級”的規定取消,修改為將更衣室與潔凈工作服洗滌室對空氣凈化要求的相關內容的規定合并在一條內:“宜根據產品生產工藝要求和相鄰潔凈室(區)的空氣潔凈度等級確定”。不再規定具體的“等級”或“等級范圍”。潔凈室(區)與周圍的空間必須維持一定的壓差,并應按工藝要求決定維持正壓差或負壓差。

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10.3.1潔凈廠房內的干燥壓縮空氣系統應根據各類產品生產工藝要求、供氣量和供氣品質等因素確定,并應符合下列規定:1供氣規模應按產品生產所需供氣量和計入必要損耗量確定,并應設有一定的備用供氣量;2供氣品質應根據生產工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定;3供氣系統可集中設置在潔凈廠房內的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站;4應選用能耗少、噪聲低的設備,宜選用無油潤滑空氣壓縮機,5含水量要求嚴格時,宜選用加熱再生吸附干燥裝置。非單向流潔凈室中都有渦流存在,不適宜用于高潔凈度的潔凈室中,宜用于6~9級的潔凈室中。實驗室環境潔凈室檢測流程

對較大型的潔凈廠房的凈化空調系統的新風宜集中進行空氣凈化處理。上海潔凈氣體3Q驗證潔凈室檢測范圍

5.5.2當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區)時,宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室(區)內的設備宜選用低噪聲產品。當所選設備超過潔凈室噪聲容許值時,應采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區)應設置對電子產品生產過程所使用的工器具進行凈化處理的設施。5.5.5潔凈室(區)內,電子產品生產過程中各種零、部件存放和傳送,宜采用容器。用于存放和傳送的**容器,應符合下列規定:1制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發污染物、防靜電,并在空氣中不應被氧化;2應密封性能好;3當存放物有嚴格的潔凈度要求時,宜充填高純度或干燥氮氣;4構造、外形應滿足生產工藝要求,并應方便操作和運送。上海潔凈氣體3Q驗證潔凈室檢測范圍