6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應根據電子產品發展以及生產工藝改造和擴大生產規模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結構宜采用大空間及大跨度柱網，不應采用內墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設計應簡潔、明快，并應適應潔凈室(區)的布置要求。潔凈廠房圍護結構的材料選型應滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結構的耐久性應與電子產品生產線設備、生產環境控制設施協調，并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區。6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造，應滿足產品生產工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。無塵室為半導體行業提供了可靠的工作環境，推動了計算機、通信、物聯網等領域的飛速發展。生物安全柜無塵室檢測標準

9.2.1純水系統的設備配置除應滿足所需水量和水質的要求外，還應滿足運行靈活、安全可靠、便于操作管理、運行費用低等要求。9.2.2純水的制備、儲存和輸送設備,應符合電子產品生產工藝的要求,并應符合下列規定:1純水的制備、終端處理設備的選型和制造材料的選擇,應滿足供水水質、終端水質的要求;2純水儲罐、輸送設備的選型和制造材料的選擇,應確保水 質污染少、密封性好,不得有滲氣現象;3純水制備、儲存、輸送設備應有效地防止水質降低。江蘇生物安全柜無塵室檢測分析無塵室是一種完全封閉、密封的房間，它的主要目的是控制空氣中的塵埃顆粒數量。

空氣由空調箱經風管與超凈間內之空氣過濾器(HEPA)進入超凈間，并由超凈間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。優點：構造簡單、系統建造成本，超凈間之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高超凈間等級。缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再***，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。

1.1潔凈室建筑裝飾工程施工應在主體結構、屋面防水工程4.和**護結構驗收完成后進行。4.1.2潔凈室建筑裝飾施工應與其他工種制定明確的施工協作計劃和施工程序。4.1.3潔凈室的建筑裝飾材料除應滿足隔熱、隔聲、防振、防蟲、防腐、防火、防靜電等要求外，尚應保證潔凈室的氣密性和裝飾表面不產塵、不吸塵、不積塵，并應易清洗。4.1.4潔凈室不應使用木材和石膏板作為表面裝飾材料。隱蔽使用的木材應經充分干燥并作防潮防腐和防火處理，石膏板應為防水石膏板。4.1.5潔凈室建筑裝飾工程施工應實行施工現場封閉清潔管理，在潔凈施工區內進行粉塵作業時，應采取有效防止粉塵擴散的措施。在運作時，無塵室需要嚴格控制人員進出，常規維護和定期檢查是確保無塵室持續潔凈的關鍵。

無塵室凈化車間管理規范1、進入潔凈室的管理，包括對潔凈室工作人員進入，物料進入，各類設備的搬入以及相關的設備，管線的維護管理，應做到不得將微粒，微生物帶人潔凈室2、操作管理技術，對潔凈室內人員用潔凈工作的制作，穿著和其清洗，操作人員的移動和動作，室內設備及裝修材料的選擇和清掃，滅菌等，盡可能減少，防止潔凈室內塵粒，微生物的產生，滯留，繁殖等3、嚴格各類設備，設施的維護管理，制定相應的操作規程，保證各類設備，設施按要求正常運轉，包括凈化系統，各類水，氣，電系統。由給定的粒子尺寸測定儀響應當量于被測粒子等效的球體直徑。浙江溫濕度無塵室檢測頻率

利用高速潔凈氣流吹落進入潔凈室人員或物料表面附著粒子的小室。生物安全柜無塵室檢測標準

1一級防靜電工作區的地面、墻面和柱面應采用導靜電型。導靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對地電阻應為2.5X10?~1X10°2,摩擦起電電壓不應大于100V,靜電半衰期不應大于0.1s;2二級防靜電工作區的地面、墻面、柱面、頂棚、門和軟簾應采用靜電耗散型。靜電耗散型地面、墻面、柱面和頂棚、門的表面電阻、對地電阻應為1X10°~1X109Ω,摩擦起電電壓不應大于200V,靜電半衰期不應大于1s,但軟簾的摩擦起電電壓不應大于300V;3三級防靜電工作區的地面、墻面和柱面宜根據生產工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料,頂棚、門等宜采用低起電材料。選用靜電耗散型材料的地面、墻面和柱面,應符合本條第2 款的要求;選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚、門等的摩擦起電電壓不應大于1000V。生物安全柜無塵室檢測標準