D.3.10自凈時間檢測，應符合下列規定：1自凈時間的檢測，宜用于非單向流潔凈室。2自凈時間的檢測，宜采用大氣塵或煙霧發生器等人工塵源為基準，并宜以粒子計數器進行檢測，同時應符合下列要求.1）以大氣塵為基準時，則必須將潔凈室停止運行相當時間，在室內含塵濃度已接近于大氣濃度時，測出潔凈室內靠近回風口處的含塵濃度(N。)。然后開機，定時讀數(一般可設置每間隔6s讀數一次)，直到回風口處的含塵濃度回復到原來的穩定狀態，記錄下所需的時間（t）。2)以人工塵源為基準時，應將煙霧發生器放置在離地面1.8m以上室中心，發煙1～2min后停止，等待1min，測出潔凈室內靠近回風口處的含塵濃度（N。）。然后開機，方法同上。3由初始濃度(No)、室內達到穩定的濃度（N）、實際換氣次數(n)，可得到計算自凈時間(to），與實測自凈時間(t)進行對比，如果t≤12to,為合格。4自凈時間檢測方法除上述方法外，還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應洽商確定。潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風量。安徽半導體凈化車間潔凈室檢測標準

9.1.1電子產品生產用純水系統的選擇，應根據原水水質和產品生產工藝對水質的要求，并結合系統規模、材料及設備供應等情況，經技術經濟比較確定。9.1.2純水的輸送干管應敷設在技術夾層或技術夾道內；潔凈室（區)內的純水支管宜暗裝。9.1.3穿越潔凈室（區）墻壁、樓板、頂棚的純水管道應設套管，套管與管道之間應采取密封措施。9.1.4潔凈室(區)內純水管道的保溫材料，不得產生污染物，外表面應平整、光滑、易于清潔。。。。。。。。。安徽半導體凈化車間潔凈室檢測標準潔凈室(區)內工業管道不應穿越無關的房間。

15.1.1潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行，應包括設計、施工和投產等各階段的微振動測試、廠房建筑結構微振控制設計、動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等。15.1.2設計有微振控制要求的潔凈廠房時，應符合下列規定：1總平面布置時，應核實相鄰廠房、建筑物或構筑物對精密設備、儀器的振動影響；2設有精密設備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎構造、結構選型、隔振縫的設置、潔凈室裝修等應按微振控制要求設計；3對設有精密設備、儀器的潔凈室（區）有振動影響的動力設備及其管道，應采取主動隔振措施；4潔凈室(區)內精密設備、儀器，經測試確認受到周圍振動影響時，應采取被動隔振措施。

隨著生產工藝對純水水質的不斷提高，甚至到了理論純水的程度，尤其是集成電路的發展不但對水中電解質的含量要求極其嚴格，而且對細菌、微粒、有機物及溶解氧等都有極其嚴格的要求；醫藥工業中要求供應的注射用水，對水中含菌量、熱源均有嚴格要求。除了嚴格的純水制造過程外，純水輸送管道的管材選擇和管網設計是保證使用點水質的關鍵。實踐證明，采用循環供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內的流速和盡量減少不循環段的死水區，以減少純水在管道內的停留時間，減少管道材料微量溶出物(即使目前質量比較好的管道也會有微量物質溶出)對超純水水質的影響，同時，基于流水不腐的道理，高的流速也可以防止細菌微生物的滋生。非單向流潔凈室有幾個共同的特點：終端過濾器（高效或亞高效）盡量接近潔凈室。

7.4.2風機過濾器機組的設置應符合下列要求：1應根據空氣潔凈度等級和送風量選用；2應按潔凈室(區)內生產工藝對氣流流型的要求布置，3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規范的規定；4送風量應能調節；5應便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時，外殼強度應滿足檢修要求。7.4.3層流罩的設置應符合下列要求：1潔凈室(區)內等于或嚴于5級的局部凈化區域宜采用層流罩；2層流罩的形式和進風方式應根據生產工藝或設備需要選用；3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規范的規定；4安裝方式不應影響生產操作。不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應保持一定的正壓值。北京溫濕度潔凈室檢測哪家好

根據潔凈室特點，宜采用縫隙法或換氣次數法確定。安徽半導體凈化車間潔凈室檢測標準

8.1.1潔凈室(區)工業管道的敷設應符合下列規定：1潔凈室(區)內工業管道不應穿越無關的房間。2干管應敷設在上、下技術夾層或技術夾道內。3易燃、易爆、有毒物質管道應明敷。4當易燃、易爆、有毒物質管道敷設在技術夾層或技術夾道內時，必須采取可靠的濃度檢測報警、通風措施。8.1.2潔凈室(區)工業管道的設計應符合現行國家標準《工業金屬管道設計規范》GB50316的有關規定。8.1.3工業管道設計應符合下列規定：1應按輸送介質的物化性質，合理確定管內物料流速和管徑。2在滿足生產工藝的條件下，管道系統應盡量短。3應避免出現不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。4管道系統應設必需的吹除口、放凈口和取樣口。8.1.4工業管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應有焊縫。管道與墻壁或樓板之間應采取可靠的密封措施。8.1.5可燃氣體管道、氧氣管道的末端或比較高點均應設置放散管。放散管引至室外應高出屋脊1m，并應有防雨、防雜物侵入的措施。

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