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半導體真空泵

來源: 發布時間:2022-07-21

真空泵管路的安裝布置:管路安裝時,特別是進氣管路,先清理管路焊渣、鐵銹及臟物。對于新啟用的管路,應裝上20-30目/英寸濾網。濾網裝夾在管路的兩法蘭之間,濾網外圓周要留有一定的裝夾余量,以免被吸入真空壓縮機內。使用一段時間后,確認管路無異物方可取下。新啟用的管路濾網網眼容易有雜物阻塞,會影響氣體的吸入,應及時拆卸清洗。一般初次運行一個星期,要停機清洗濾網,再運行三個星期,作第二次清洗,直至系統清潔,才可以拆除濾網。供水管路在接上真空壓縮機之前應先通水清洗,確保水管雜物被沖干凈后才接上使用。真空泵在裝配前應對各零件做多方面的檢查和清洗干凈。半導體真空泵

旋片式真空泵使用范圍:真空泵是抽除氣體的基本設備之一,它可單獨使用,也可與增壓泵、擴散泵、分子泵等超高真空泵連接在一起作為前級泵使用,普遍用于電子器件制造、真空干燥、過濾、浸漬、涂膜、焊接、冶煉及實驗室裝備等。2X型真空泵在環境溫度5℃~40℃范圍內,進氣口壓強小于10托的條件下,允許長期運轉,被抽氣體相對溫度大于90%時,應開氣鎮閥。真空泵進氣口連續敝通大氣運轉不得超過3分鐘。真空泵不適用于抽除對金屬有腐蝕的、對泵油起化學反應的、含有顆粒塵埃的氣體,以及含氧過高的、化學反應性的、有毒的氣體。沈陽微型直流真空泵制造廠家干式真空泵的工作過程可分為吸入、壓縮和排出三個過程。

直聯旋片式真空泵安裝:直聯旋片式真空泵使用時,應水平放置于干燥、通風和清潔的場所,與周邊距離大于2cm,前后端不少于5cm 的空間距離,配套安裝于設備上時,應保證風葉罩殼端的正常進風;直聯旋片式真空泵進氣口可根據進氣口的螺紋要求連接,也可用皮管插入;若直聯旋片式真空泵所排出的氣體對人體健康或工作環境有影響,可在排氣口上接上管道引出工作場所或作環保處理;如有特殊需要,可在直聯旋片式真空泵的進氣嘴安裝電磁閥;若抽除的氣體含有大量水蒸氣、溫度過高及含有塵埃等,應在直聯旋片式真空泵進氣口管道上加冷卻器、過濾器等相應的裝置,以免影響泵的正常使用。

正確地組合真空泵,由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。使用旋片真空泵前,應仔細閱讀產品使用說明書。

水環式真空泵防氣蝕的保護措施:水環式真空泵所使用的環境不同,并且由于各種因素,所以我們應該防止它出現各種被損壞的現象。很多真空設備都會有防氣蝕保護措施,氣蝕是一種客觀存在的現象,工作時,真空度達到-0.093MPa及以上時,水環真空泵泵腔內的水很容易達到飽合蒸汽壓,此時會產生很多氣泡。這些氣泡在排氣端因壓力增加會快速破裂,此時原氣泡周圍的水會迅速的填充原氣泡的空間,從而對水環真空泵的葉輪及圓盤造成很大的沖擊,并同時伴隨著啪啪的刺耳聲。實驗室用真空泵有什么特點?湛江試驗真空泵

水環真空泵是哪些部分組成的?半導體真空泵

選擇真空泵注意事項:真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵。正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍。真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。半導體真空泵