螺桿泵是利用齒輪傳動同步反向旋轉的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內（柱形等螺距）進行傳輸運動，但無壓縮，只有螺桿比較末端的螺旋結構對氣體有壓縮作用。螺桿的各級間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉速對泵的性能有很大影響。在設計螺桿各部的間隙時，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環境（如抽除含粉塵氣體等）等。往復真空泵從安裝形式來分，有臥式往復真空泵及立式往復真空泵。武漢吸污真空泵廠

爪形真空泵為多級串聯結構，每級泵均應嚴格控制端面間隙，即四級泵需嚴格控制8個端面間隙，泵在運行時的熱膨脹及抽除粉未等時容易造成泵的故障，另外爪式泵的多級串聯的結構特性決定了其裝配的復雜性，一般人員很難達到裝配要求；因爪形真空泵為多級串聯結構，排氣通道復雜，在抽除可凝性氣體時（例如：水蒸汽，有機溶劑氣體等），在泵腔內壓縮時會產生較多的液體，這部分液體進入泵的端面造成泵的負載明顯變大，四級爪形真空泵有8個端面，不宜抽除大量可凝性氣體。武漢吸污真空泵廠水環真空泵的排氣管路不能安裝閥門，以免誤操作讓泵出口帶壓運行。

鋯鋁吸氣泵的工作條件，壓強低于10-3Pa時，抽活性氣體的工作溫度為400 ℃，體內擴散速率是金屬表面維持足夠的吸氣速率而不能釋放氫；10-3~1Pa范圍內，抽活性氣體工作溫度為750 ℃——提高溫度加速體內擴散，加速清洗吸氣劑表面，對H2要求高抽速，工作溫度為400 ℃，對純氫要求大抽速和大吸氣量是，工作溫度一般為200~300 ℃，對純氫要求盡可能大的吸氣量而不需要大抽速時，可室溫工作，高真空或者超高真空系統中，工作溫度一般為400 ℃。

隨著真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。隨著真空技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。根據系統工況配用合適的羅茨真空泵可組成干式真空泵機組，可很好地提高低壓區的抽氣速率并減小功耗。

還有一種抽真空的設備叫水射機組，它是離心泵通過噴射器直接達到抽真空的目的（補充：水射機組也叫水噴射泵。工作原理為具有一定壓力的工作介質水，通過噴嘴向吸入室高速噴出，將水的壓力變為動能，形成高速射流；吸入室中的氣體被高速射流強制攜帶與之混合，形成氣液混合流，進入擴壓器，從而使吸入室壓力降低，形成真空，在擴壓器的擴張段內，混合射流的動能轉變為壓力能，速度降低壓力升高，氣體被進一步壓縮，與水一起排出泵外，在水箱中氣水分離，氣體釋放入大氣，水由水泵循環再利用，周而復始達到抽真空的目的）。螺桿真空泵的級間無需通道，是直接將氣體從吸氣側推送至排氣側。武漢吸污真空泵廠

對于泵的冷卻，普通的循環水即可滿足要求，且冷卻水量較小。武漢吸污真空泵廠

真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。武漢吸污真空泵廠