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湖州防止氧化真空烘箱適用范圍

來源: 發布時間:2023-04-13

    COB生產流程:晶粒進料→晶粒檢測→清洗PCB→點膠→粘晶粒→烘烤→打線→過境→OTP燒錄→封膠→測試→QC抽檢→入庫。其中烘烤這一環節是很重要的一步之一,烘烤的目的是將前一道的工序中的膠烘干,使得IC在PCB上粘牢,以確保下一道工序中IC在打線過程中不會移動。不同的膠需要的烘烤時間和溫度也是不一樣的。缺氧膠烘烤溫度90度烘烤10分鐘,銀膠烘烤溫度120度烘烤90分鐘,紅膠烘烤溫度120度烘烤30分鐘。無塵烘箱主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Prebaking)、涂膠后的軟烘焙Softbaking),曝光、顯影后的堅膜硬烘(Hardbaking)等工藝,適用半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤,亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫藥、光學鍍膜、精密元件干燥等生產工藝以及研發機構。 真空泵在運行過程中,軸承溫度不能超過環境溫度35C,最高溫度不得超過80C。湖州防止氧化真空烘箱適用范圍

真空烘箱

常用PI/BCB/BPO膠的固化方法如下:1、在半導體芯片表面涂覆一層粘附劑;2、通過旋轉方式在半導體芯片表面的粘附劑上涂覆一層液態PI/BCB/BPO膠,接著將涂覆好PI/BCB/BPO膠的半導體芯片放入固化爐中,并通入氮氣保護;3、加熱固化爐,使涂覆PI/BCB/BPO膠的半導體芯片達到一溫度,穩定一段時間,使PI/BCB/BPO膠中的溶劑分布均勻4、再將加熱固化爐升高到第二溫度,穩定一段時間,使PI/BCB/BPO膠中的溶劑充分揮發;5、再將加熱固化爐升高至第三溫度,穩定一段時間,在半導體芯片表面形成低介電常數PI/BCB/BPO膠薄膜;6、將加熱固化爐的溫度降至一預定溫度,關氮氣,取出樣品,完成固化工藝。湖州易維護真空烘箱調試調整關緊箱門,放氣閥,箱門上有螺栓,可使箱門與硅膠密封條緊密結合;

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    橡膠的種類隨著室溫硫化膠料的增加和高溫硫化的出現,硫化溫度趨向兩個極端。從提高硫化效率來說,應當認為硫化溫度越高越好,但實際上不能無限提高硫化溫度。橡膠為高分子聚合物,高溫會使橡膠分子鏈產生裂解反應,導致交聯鍵斷裂,即出現“硫化返原”現象,從而使硫化膠的物理機械性能下降。綜合考慮各橡膠的耐熱性和“硫化返原”現象,各種橡膠建議的硫化溫度如下:NR比較好在140-150℃,比較高不超過160℃;順丁橡膠、異戊橡膠和氯丁橡膠比較好在150-160℃,比較高不超過170℃丁苯橡膠、丁腈橡膠可采用150℃以上,但比較高不超過190℃;丁基橡膠、三元乙丙橡膠一般選用160-180℃,比較高不超過200℃;硅橡膠、氟橡膠一般采用二段加硫,一段溫度可選170-180℃,二段硫化則選用200-230℃,按工藝要求可在4-24h范圍內選擇。

在CCD(電荷耦合器件)制造過程中,顆粒沾污對CCD的薄膜質量、光刻圖形完整性等有很大的影響,降低CCD的成品率。CCD制造過程中的顆粒來源主要有兩個方面:一個制造過程中工藝環境產生的顆粒;另一個是薄膜的淀積、光刻和離子注入等CCD工藝過程中產生的顆粒。工藝環境的顆粒可來源于墻體、設施、設備、材料和人員,工藝過程的顆粒來源于易產生粉塵的工藝,比如說LPCVD淀積多晶硅和氮化硅及刻蝕工藝等。無塵烘箱,即使在普通環境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 100,為CCD(電荷耦合器件)制造過程中烘烤提供潔凈環境,預防顆粒沾污干燥完成后,先將放氣閥打開,放出里面氣體,再進行打開真空干燥箱箱門,取出物料。

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烘箱結構真空烘箱能在較低溫度下獲得較高的干燥速率,熱量利用充足,主要合用于對熱敏性物料和含有容劑及需回收溶劑物料的干燥。在干燥前可進行消毒辦理,干燥過程中任何不純物無混入,本干燥器屬于靜態真空干燥器,故干燥物料的形成不會破壞。加熱方式有:蒸汽、熱水、導熱油、電熱。在真空條件下,溶劑沸點明顯降低,箱內保持溫度恒定,實現樣品在較低溫度下快速干燥,同時供給一個無塵、無旋渦、平和的干燥環境,還使得溶劑的蒸汽易于采集,排放或再利用。空氣循環系統采納雙電機水平循環送風方式,風循環平均高效。真空泵在寒冬季節使用時,停車后,需將泵體下部放水螺塞擰開將介質放凈。防止凍裂。金華整體成型硅橡密封圈真空烘箱PID調節

檢查真空泵管路及結合處有無松動現象。湖州防止氧化真空烘箱適用范圍

使用注意事項1.真空箱外殼必須有效接地,以保證使用安全。2.真空箱應在相對濕度≤85%RH,周圍無腐蝕性氣體、無強烈震動源及強電磁場存在的環境中使用。3.真空箱工作室無防爆、防腐蝕等處理,不得放易燃、易爆、易產生腐蝕性氣體的物品進行干燥。4.真空泵不能長時期工作,因此當真空度達到干燥物品要求時,應先關閉真空閥,再關閉真空泵電源,待真空度小于干燥物品要求時,再打開真空閥及真空泵電源,繼續抽真空,這樣可延長真空泵使用壽命。5.干燥的物品如潮濕,則在真空箱與真空泵之間比較好加入過濾器,防止潮濕氣體進入真空泵,造成真空泵故障。6.干燥的物品如干燥后改變為重量輕,體積小(為小顆粒狀),應在工作室內抽真空口加隔阻網,以防干燥物吸入而損壞真空泵(或電磁閥)。湖州防止氧化真空烘箱適用范圍

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