采用氣體分離工藝可將空氣中的氮氣和氧氣分離生產氮氣,通常使用一種特殊處理過的活性碳即碳分子篩分離空氣。碳分子篩的孔徑在氮氣和氧氣分子的直徑范圍內,由于氧分子比氮分子體積小,因此先被吸附在碳分子篩表面。氮分子通過分子篩床層排出進入儲罐達到制氮的目的,氧分子通過設備解吸排放到大氣內,達到分子篩再生的目的。經過一段時間吸附后,碳分子篩被所吸附的氧分子飽和需進行再生,再生是通過降壓解吸予以實現。由于碳分子篩在低壓時不能再吸附氣體分子,大多數分子在降壓時被排空,此種過程稱為脫附。為達到連續供氣,通常采用多塔式操作,在吸附筒a處于吸附狀態時,吸附筒b為脫附狀態,并且利用時間控制與切換,兩筒互相轉換為吸附與脫附狀態。至于變壓吸附制氮機生產的氮氣則流入氮氣槽,以供工廠制程使用。在開機時,由于受限于吸附筒內存在大量空氣,因此要達到穩定操作時都需要經過一段時間,例如30分鐘到2個小時,亦即影響生產時等待的時間。此種情況在使用多臺氮氣機的情況尤其嚴重,當氮氣量不夠使用,急需啟動另一臺氮氣機時,需要花費過長的時間在等待,造成現場氣源不足或純度下降的困境。另一種情況為碳分子篩生產的工廠。工藝先進電解池采用立式單液面雙陰極。桂林便捷式氮氣柜聯系方式
氮氣柜就是通過調節氮氣注入柜體,而達到除濕防氧化作用。氮氣柜在半導體工廠、晶元晶振工廠及精密組部件工廠都有著較普遍的應用,其主要用于這些精密部件存放時的防潮防氧化保護。對于工廠,這些精密部件的防潮防氧化保存,對于生產的良率及產品的品質都有重要的作用。如果氮氣柜在濕度不達標的情況下,對于柜內存放物品的防潮防氧化效果將下降。氮氣柜濕度達不到要求,也就是柜內的氮氣濃度達不到要求。對于一個有限的密封柜體,其濃度達不到,也就只有“進氣”與“出氣”兩個原因了。“出氣”是指柜子的密封性,氮氣充入后所逸出的部分了。當氮氣柜的逸出量太大時,柜內的氮氣濃度就會比較低,也就會濕度低,而無法進行很好的防潮防氧化保護了。“進氣”是指氮氣柜所充入的氮氣量不足。在氮氣柜的使用過程中,由于柜門的經常開啟,導致開關門逸出的氮量大于充入柜內的氮氣量,也就無法達到預期的氮氣濃度了。解決辦法分兩部分,一是柜體的密封性,二是進氣量的加大。廣州機械氮氣柜生產過程遠離火種、熱源,庫溫不宜超過30℃。
全功能潔凈氮氣柜:產品應用:適合半導體前端單晶硅制程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒,返霧現象;由于大部分的存儲柜或者是氮氣柜設計都為全封閉環境,只控制濕度及氧含量濃度這塊,并無自凈功能,故內部容易積聚大量灰塵,而這些灰塵極可能粘附在存儲品上。宏譽潔凈柜則適合存放需要低濕保存,同時又需要避免灰塵污染的物品.相關技術指標:1)潔凈等級專業高效潔凈過濾裝置,濾網采用進口超細玻璃纖維,確保潔凈柜內CLASS10~100(10級一般是指空柜或每層放置固定數量晶圓盒情況下,必潔淨度能逹到須滿足每立方英尺內顆粒≦10ea@&≦20ea@)。2)TDH實驗即存放在潔凈柜內經過干燥2小時的硅片不能有不正常或超標返顆粒的現象產生(返顆粒取樣測試后總數平均數與原有硅片顆粒數對比≦10ea(包括))3)降濕速度除濕性能可達到5%以下,空柜或每層放置固定數量晶圓盒,在氮氣流量不大于70L/M的情況下,濕度從50%降至5%所需時間小于30min4)進口無塵風機:采用進口無塵室FFU風機,面風速:~;5)靜電殘余值測定松鑫全功能潔凈氮氣柜潔凈氮氣柜內放置的硅片盒,經過干燥2小時后,硅片盒取樣及定點測試靜電值必須≦1kv6)柜內風速均勻性潔凈柜內不能有氮氣的死角。
深冷空分制氮原理:分子篩制氮機工藝流程圖深冷制氮不但可以生產氮氣而且可以生產液氮,滿足需要液氮的工藝要求,并且可在液氮貯槽內貯存,當出現氮氣間斷負荷或空分設備小修時,貯槽內的液氮進入汽化器被加熱后,送入產品氮氣管道滿足工藝裝置對氮氣的需求。深冷制氮的運轉周期(指兩次大加溫之間的間隔期)一般為1年以上,因此,深冷制氮一般不考慮備用。而變壓吸附制氮只能生產氮氣,無備用手段,單套設備不能保證連續長周期運行。膜空分制氮原理:空氣經壓縮機壓縮過濾后進入高分子膜過濾器,由于各種氣體在膜中溶解度和擴散系數不同,導致不同氣體在膜中相對滲透速率不同。根據這一特性,可將各種氣體分為“快氣”和“慢氣”。當混合氣體在膜兩側壓力差的作用下,滲透速率相對快的氣體,如水、氫氣、氦氣、硫化氫、二氧化碳等透過膜后,在膜的滲透側被富集,而滲透速率相對較慢的氣體,如甲烷、氮氣、一氧化碳和氬氣等氣體則被滯留在膜的側被富集,從而達到混合氣體分離的目的。全部工作過程均有程序控制完成。
防靜電防氧化氮氣柜表面處理采用先進的自動涂裝線噴涂.嚴格的表面處理.led氮氣柜,釆用防靜電粉未噴涂,耐腐蝕性極強.電阻值為10的6次方-10的9次方歐姆,采用專業的防靜腳輪.接地線.搭地金屬鏈.氮氣節約裝置,當箱內濕度到達設定值時,系統會自動切斷氮氣供應,,氮氣儲存柜,當超過設定值時,系統會智能打開氮氣供應。相比市場其他直充氮氣柜可節約50%以上氮氣消耗量。大幅程度降低使用成本。智能化控制系統釆用與電子防潮箱相同智能化控制系統。可設定并自動采集箱內濕度來決定氮氣供氣閥的通斷.從而節省氮氣,延長產品使用壽命。產品的擴展防氧化氮氣柜可擴展成氮氣防潮組合柜.在不通氮氣的情況下.可當作電子防潮箱使用.從而節約了投資及使用成本。不銹鋼氮氣柜承接各類非標柜,柜體材料可選用不銹鋼.柜體顏色可根椐客戶要求定噴。充氮系統可按客戶要求加裝自動或人工充氮系統。三亞定制氮氣柜哪里好
防止氣體泄漏到工作場所空氣中。桂林便捷式氮氣柜聯系方式
氮氣理化性質編輯氮氣物理性質氮氣在常況下是一種無色無味的氣體,熔點是63K,沸點是77K,臨界溫度是126K,難于液化。溶解度很小,常壓下在283K時一體積水可溶解。氮氣是難液化的氣體。氮氣在極低溫下會液化成無色液體,進一步降低溫度時,更會形成白色晶狀固體。在生產中,通常采用黑色鋼瓶盛放氮氣。氮氣化學性質由氮元素的氧化態-吉布斯自由能圖也可以看出,除了NH4+離子外,氧化數為0的N2分子在圖中曲線的低點,這表明相對于其它氧化數的氮的化合物來講的話,N2是熱力學穩定狀態結構。氧化數為0到+5之間的各種氮的化合物的值都位于HNO3和N2兩點的連線(圖中的虛線)的上方。因此,這些化合物在熱力學上是不穩定的,容易發生歧化反應。在圖中的一個比N2分子值低的是NH4+離子。正價氮呈酸性,負價氮呈堿性。由氮分子中三鍵鍵能很大,不容易被破壞,因此其化學性質十分穩定,只有在高溫高壓并有催化劑存在的條件下,氮氣成分可以和氫氣反應生成氨。桂林便捷式氮氣柜聯系方式
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