COB生產流程：晶粒進料→晶粒檢測→清洗PCB→點膠→粘晶粒→烘烤→打線→過境→OTP燒錄→封膠→測試→QC抽檢→入庫。其中烘烤這一環節是很重要的一步之一，烘烤的目的是將前一道的工序中的膠烘干，使得IC在PCB上粘牢，以確保下一道工序中IC在打線過程中不會移動。不同的膠需要的烘烤時間和溫度也是不一樣的。缺氧膠烘烤溫度90度烘烤10分鐘，銀膠烘烤溫度120度烘烤90分鐘，紅膠烘烤溫度120度烘烤30分鐘。無塵烘箱主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Prebaking)、涂膠后的軟烘焙Softbaking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hardbaking)等工藝，適用半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫藥、光學鍍膜、精密元件干燥等生產工藝以及研發機構。 整體成型硅橡密封圈，高真空度密封。臺州內置泵體真空烘箱

    為獲得平坦而均勻的光刻膠涂層并使光刻膠與晶片之間有良好的黏附性，通常在涂膠前對晶片進行預處理。預處理第一步常是脫水烘烤，在真空或干燥氮氣的機臺中，以150～200℃烘烤。工藝目的是除去晶片表面吸附的水分，在此溫度下，晶片表面大約保留了一個單分子層的水。涂膠后，晶片須經過一次烘烤，稱之軟烘或前烘。工藝作用是除去膠中大部分溶劑并使膠的曝光特性固定。通常，軟烘時間越短或溫度越低會使得膠在顯影劑中的溶解速率增加且感光度更高，但對比度會有降低。實際上軟烘工藝需要通過優化對比度而保持可接受感光度的試湊法用實驗確定，典型的軟烘溫度是90～100℃，時間從用熱板的30秒到用烘箱的30分鐘。在晶片顯影后，為了后面的高能工藝，如離子注入和等離子體刻蝕，也須對晶片進行高溫烘烤，稱之后烘或硬烘。這一工藝目的在于：減少駐波效應；激發化學增強光刻膠PAG產生的酸與光刻膠上的保護基團發生反應并移除基團使之能溶解于顯影液。 上海防止氧化真空烘箱安全警報抽完真空后，先將真空閥門關閉，然后再將真空泵電源關閉或移除。

    本實用新型的工作原理：首先將不同熱量需求的原料放置在相應的支撐板13上，然后將熱水源與每一個進水管6以及出水管8相連通，熱水同時從每一個進水管6進入到每一層對應的導流管10內，并對支撐板13上的原料進行烘干，每一個導流管10內的熱水經對應的出水管8流出，并回到熱水源中進行加熱以便再次循環使用。本實用新型的有益效果：（1）本實用新型結構簡單，操作方便，可對不同原料進行加熱烘干，烘干效果好、烘干效率高、適用范圍廣。（2）本實用新型中每一個進水管6與上層對應導流管10之間、上下相鄰兩個導流管10之間、下層每一個導流管10與對應出水管8之間均采用螺紋式快速連接，操作簡單，使用方便，連接牢靠，保證了其內熱水的穩定流動，從而提高了烘干效率。（3）本實用新型在每一個進水管6、出水管8以及導流管10內均沿其長度方向錯位豎直設有上隔板11和下隔板12，用于降低熱水的流速，從而提高了烘干效果。

從結構上分析，一般的干燥箱外殼都是采用冷軋鋼板制造，但是從厚度上將，差別卻很大。由于真空干燥箱里面的真空環境，為防止大氣壓壓壞箱體，其外殼厚度要較鼓風干燥箱大些許，一般是選擇鋼板越厚質量越好，使用壽命也越長。為便于觀察，在干燥箱的箱門都設有玻璃窗，一般有鋼化玻璃和鑲嵌門上的普通玻璃，杭州宏譽智能科技有限公司生產干燥箱箱門全部采用鋼化玻璃，雖價格稍貴，但是外觀漂亮，對于操作人員的安全更是有力的保障。依據真空泵的性能，抽到壓力表為真空泵的極限值為準；

    本實用新型的一種新型的真空烘箱，其創新點在于：包括箱體、蓋板、底板、側板、連接裝置、進水管、出水管和導流管；所述箱體與所述蓋板相匹配，且二者之間螺接形成一水平設置的中空長方體結構；在所述箱體的內底面還水平螺接設有底板，且在所述底板的上表面左右兩端還豎直對稱固定設有側板；在兩個所述側板之間還呈矩陣依次間隔設有數個導流管，每一所述導流管均為水平設置的中空圓柱體結構，且其兩端分別水平延伸出兩個所述側板；上下相鄰兩個所述導流管的兩端之間分別錯位通過連接裝置密封連接，并形成數個豎直設置的蜿蜒狀結構；在上面一層所述導流管的上方還水平間隔設有數個進水管，每一所述進水管均為中空的l形圓管結構，且其短邊一端均豎直向上延伸出所述蓋板，每一所述進水管的長邊一端均依次水平延伸出兩個所述側板，并分別通過連接裝置與上面一層對應位置所述導流管的一端密封連接；在下面一層所述導流管的下方還水平間隔設有數個出水管，每一所述出水管均為中空的l形圓管結構，且其短邊一端均豎直向下延伸出所述箱體，每一所述出水管的長邊一端均依次水平延伸出兩個所述側板，并分別通過連接裝置與下面一層對應位置所述導流管的一端密封連接。真空烘箱，是將干燥物料處于負壓條件下進行干燥的一種箱體式干燥設備。舟山噪音小真空烘箱調試調整

真空泵內置泵體，噪音小易維護。臺州內置泵體真空烘箱

真空烘箱有以下特點：短加熱時間，與傳統干燥烘箱比加熱時間減少50%以上。真空烘箱因為是由電力提供熱能，而濕的物品是會導電的，故在使用上宜小心不要有漏電的現象發生，故一般烘箱都要接地使用，以保安全。若沒有地線也要確認烘箱沒有漏電的現象；若有輕微的漏電現象，可試著將插座拔起后將插腳以相反方向再插入，若沒有漏電現象可小心使用，若仍有漏電現象則應立即停用。廣泛應用于醫藥,冶金,電子五金,食品,化工,PCB烘烤等等行業。臺州內置泵體真空烘箱

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