干式真空泵的應用范圍比較廣，主要有以下幾個方面：

1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

2）半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

3）除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；

4）在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；

5）用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。

浚和（上海）儀器有限公司的干式真空泵產品種類繁多。樫山干式真空泵中國授權代理商

日本KASHIYAMA SDE4060干式真空泵 技術參數&配置清單

一、 技術參數：

式樣：SDE4060

MAX排氣速度（L/min）：60000

達到壓力（Pa）：0.8

電源電壓：3相  AC200-220V，380-480V

外型尺寸WHL [mm]：750×1200×1600

二、 配置清單：

設備原產地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：

1、設備運轉時，旋葉與旋葉、旋葉與腔壁之間沒有任何摩擦，保證設備長期正常工作。

2、采用空冷式方式，不需配置冷卻水，從而節省空間。

3、采用氣鎮（Gas Ballast）結構，可以排出所吸取的水蒸氣。

4、若只抽取空氣與氮氣的情況下，只需三年維護一次，延長了設備的使用壽命，降低真空泵的使用成本。

常州NEODRY 15E干式真空泵中國授權代理商您喜歡干式真空泵的這些特點嗎？

       干式機械真空泵（又簡稱干式機械泵）是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內無油或其他工作介質，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。

       2013年止，真空行業使用的大多數機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質，在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大，原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量，增加設備的維護成本。其次，由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質，使泵不能正常工作。

       干式真空系統還具有比較好的控制系統，有單獨的工作站和總線，能很好的解決了溫度、壓力、轉速、電機同步、開停機、閥門開關和泵本身自清洗控制等問題，并且可能存在溫升的地方都增加了測溫點，增強了系統的安全性。使干泵系統能適應化工、制藥里嚴苛的環境。主要由以下三部分組成：內置基本驅動模塊；數據總線控制柜；冷卻液泵的控制和防爆馬達控制中心。有些真空泵是兩個電機同步驅動，在確保全速和扭矩控制的同時，保證在泵運行時維持無部件相互接觸；無密封設計，確保無泄露；浚和（上海）儀器有限公司主營日本KASHIYAMA干式真空泵。

       評價爆裂有兩個指標：可燃物質的閃點及燃點。因為螺桿干式真空泵中的兩個螺桿在泵體內沒有摩擦，所以不會產生電火花，就沒有了火源，另外其通過自身的冷卻系統降低泵內溫度使被抽物質的燃點難以達到，從而杜絕爆裂！泵內既無與外界之間的軸封又無泵腔與冷卻循環水回路之間的密封，因此可以抽除有害介質。絕大部分泵的故障都是由軸封處磨損造成的,而此泵每個軸只有一處無接觸密封，不存在由軸封損傷帶來的停機，以及軸封泄露造成齒輪箱里的油被抽到泵里，造成真空環境及排氣口污染。干式真空泵的無油環保特點成為了他的一個重要因素。成都SDE1220干式真空泵銷售電話

干式真空泵的主要特點都有哪些呢？樫山干式真空泵中國授權代理商

       為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有螺桿式真空泵、多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、往復式活塞真空泵、渦旋式真空泵以及渦輪式無油真空泵等。干泵極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。此為立式雙螺桿干式真空泵，它的吸氣和排氣原理和大多數是一樣的，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備。干式真空泵工作時，相互之間無摩擦，運轉平穩，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵。由于螺桿制成變螺距結構，與等螺距結構相比，極限真空更高，而消耗功率更低，具有節能，免維修等優點。它是油封式真空泵的更新換代產品。樫山干式真空泵中國授權代理商

浚和（上海）儀器有限公司是一家供應國內外先進儀器和設備的專業供應商和服務商，致力于為客戶提供專業的定制化解決方案。多年來，持續為醫藥、化工、高校、科研單位、檢測院等多個行業提供先進的產品和專業的服務。

浚和在不斷引進國內外先進儀器設備的同時，結合行業和市場需求，加強和客戶之間的溝通，并與國際上多家**儀器設備制造商保持著長期穩定的合作關系，不定期地與合作商進行技術交流，努力加強自身技術力量。公司配備了數名有著多年行業經驗的技術人員，依靠雄厚的技術實力、科學合理的配置方案、專業的安裝調試和周到的售后服務，得到了廣大用戶的支持與信賴。

公司主要經營產品包括：等離子清洗機、真空泵、噴霧干燥器、數字PCR、高壓滅菌鍋、培養箱、切片機、水分測定儀、激光粒度儀、光譜儀、溫濕度記錄儀等，目前主要合作品牌有：日本雅馬拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、廣州永諾 、日本KEM等。同時，公司還提供專業的技術服務，如設備的維護、驗證等。

浚和儀器將始終以行業特點為立足點，以客戶需求為導向，不斷地提高自身專業技術能力，不停地完善客戶服務質量，在發展中保持創新的精神，力求與客戶共同進步，為行業的發展作出不懈的努力。