真空烘箱安裝工作

1、真空烘箱查緝配件。

2、將真空烘箱箱體與各附件就位，并調試水準高度差。

3、連署收并管理道及真空系統。周密的抽氣機連署見隨機附帶的抽氣機運用文字說明。

4、連署扼制電路。

5、關閉真空烘箱箱門嘗試真空功能。

6、設定加熱溫度，開啟加熱嘗試加熱功能。

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DTN430C/630C/450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐(YAMATO)

潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應用于固化半導體晶圓等。

■特點：

● MAX工作溫度360℃和500℃、潔凈度100級、氧濃度低于20ppm，主要應用于固化半導體晶圓（光刻膠PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。

● 采用耐熱高性能高效過濾器，箱內潔凈度始終保持在100級，可在潔凈的環境下進行高溫烘烤。

● 高氣密性的壓力箱構造，氧濃度到達時間短，N2消耗量極低。

● 通過磁密封保持高氣密性，并采用水冷機構保護密封部件免受熱量影響。

● 可實現快速升溫和降溫，升降溫速率可調節。

● 標準裝備有廢液回收裝置，對氣體進行冷卻回收。

● 液晶觸摸屏操作，自動/手動兩種運行模式。

■安全性：

● 擁有門檢測開關、溫度過升防止器、氧濃度異常、氮氣壓力檢測、氮氣流量檢測、冷卻水流量檢測、漏水傳感器、過電流漏電保護開關等安裝裝置。

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C1-008 潔凈厭氧高溫氣氛爐（YAMATO）

用途：光刻工藝后段，光刻膠固化。

●MAX工作溫度360℃和600℃、潔凈度100級、氧濃度20ppm以下。

●程序運轉功能，有自動/手動兩種操作模式。

●快速升溫、降溫，降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式。

●配置了自動門鎖、數字式壓力表、數字式流量計等。

●全不銹鋼材質。

●在安全方面，配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異常、氮氣流量異常、過電流漏電保護斷路器等安全裝置。

室溫+30～360℃ 規格參數：

溫度范圍：室溫+30～360℃

溫度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

溫度上升時間：60min（室溫→360℃）

溫度下降時間：90min（360℃→50℃）

氧濃度：20ppm以下

氧濃度下降時間：約45分鐘

潔凈度：100級

裝備：氮氣導入裝置、水冷裝置、差壓計等

內尺寸：W600×D600×H600mm

電源：3相 AC380V

室溫室溫+50～500℃ 規格參數：

溫度范圍：室溫+50～500℃

溫度分布精度：±8.0℃（a500℃）

溫度上升時間：90min（室溫→500℃）

溫度下降時間：120min（500℃→50℃）

氧濃度：20ppm以下

氧濃度下降時間：約45分鐘

潔凈度：100級

裝備：氮氣導入裝置、水冷裝置、差壓計等

內尺寸：W600×D600×H600mm

電源：3相 AC380V

工業烤箱節能省電方法

1、工業烤箱采用適當的加熱功率，任何系統都有一個熱平衡問題，以適當的加熱功率獲取大的加熱效果，

2、總加熱功率越低越省電。顯然如加熱功率太低，加熱時間延長，不但省不了電，反而增加生產時間，造成單位時間產晨低，增加其他成本。加熱功率越大，加熱越快，越省電。顯然，加熱功率太大，加熱太快，局部溫差大，損耗更大，也不省電。

3、根據不同的使用條件，工業烤箱采用不同的加熱方式，以提高加熱效率。

4、采用高效保溫材料（比普通石棉提高60%的絕熱材料），以減少能量損耗。

5、工業烤箱根據不同的烘烤過程，自動變換烘烤溫度，可以節能。

6、適當的加熱功率才是省電的。任何系統都有大值和小值問題，我們能根據客戶的生產工藝條件設計不同類型的加熱控制系統，保證大的電能使用效率才能省電。 高溫無氧烘箱，就選浚和(上海)儀器有限公司，用戶的信賴之選，有需求可以來電咨詢！

DTN650C潔凈厭氧高溫氣氛爐 相關參數及規格(YAMATO)

1、方式：氮氣置換+ 強制送風循環

2、性能：

①使用溫度范圍：室溫+50～500℃

②溫度調節精度：±1.0℃（at500℃）

③溫度分布精度：±8.0℃（at500℃）

④MAX溫度到達時間：約110分鐘

⑤氧濃度：20ppm 以下

⑥氧濃度到達時間：≤ 25分（250L/min 氮氣）

⑦潔凈度：溫度恒定時100級

3、構成：

①內裝：不銹鋼板

②外裝：冷軋鋼板，表面耐藥品性涂裝

③斷熱材：硅酸鋁棉

④加熱方式：不銹鋼加熱管

⑤加熱功率：主加熱器14.2KW

⑥N2預熱：1KW

⑦冷卻機構：不銹鋼冷卻水換熱器

⑧HEPA過濾器：集塵效率：0.3um粒子99.97%以上

4、控制器：

①溫度控制方式：PID控制

②溫度控制器：液晶觸摸屏+PLC

③運行功能：手動定值運行、自動程序運行

④程序模式：程序運行9個，每個程序可設置9步（可擴展）

⑤附加功能：操作員等級認證

⑥加熱器回路控制：SSR驅動

⑦傳感器：K型熱電偶（溫度控制及過升防止器）

5、安全裝置：門檢測開關、過升防止器、氧濃度異常、N2 預熱溫度過升、水壓低檢測、N2 壓力低檢測、冷卻水流量檢測、N2 流量檢測、風機過載檢測、過電流漏電保護開關等 高溫無氧烘箱，就選浚和(上海)儀器有限公司，讓您滿意，歡迎新老客戶來電！高性能高效高溫無氧烘箱C1-008

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DTN450C潔凈厭氧高溫氣氛爐 相關參數及規格(YAMATO)

規格：

①內尺寸（寬×深×高mm）：450×450×450

②外形尺寸（寬×深×高mm）：1240×1010×1750

③內容積：91L

④棚板層數/層間距：12層/30mm

⑤排氣口：40KF法蘭

⑥氮氣入口：Rc1/2

⑦冷卻水入口：Rc3/4

⑧熱水出口：Rc3/4，2個

⑨電源（50/60Hz）額定電流：3相AC380V 20A

⑩重量：約900kg

選購品：棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈（待機/ 運行/ 故障）、以太網通信功能

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浚和（上海）儀器有限公司是一家供應國內外先進儀器和設備的專業供應商和服務商，致力于為客戶提供專業的定制化解決方案。多年來，持續為醫藥、化工、高校、科研單位、檢測院等多個行業提供先進的產品和專業的服務。

浚和在不斷引進國內外先進儀器設備的同時，結合行業和市場需求，加強和客戶之間的溝通，并與國際上多家**儀器設備制造商保持著長期穩定的合作關系，不定期地與合作商進行技術交流，努力加強自身技術力量。公司配備了數名有著多年行業經驗的技術人員，依靠雄厚的技術實力、科學合理的配置方案、專業的安裝調試和周到的售后服務，得到了廣大用戶的支持與信賴。

公司主要經營產品包括：等離子清洗機、真空泵、噴霧干燥器、數字PCR、高壓滅菌鍋、培養箱、切片機、水分測定儀、激光粒度儀、光譜儀、溫濕度記錄儀等，目前主要合作品牌有：日本雅馬拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、廣州永諾 、日本KEM等。同時，公司還提供專業的技術服務，如設備的維護、驗證等。

浚和儀器將始終以行業特點為立足點，以客戶需求為導向，不斷地提高自身專業技術能力，不停地完善客戶服務質量，在發展中保持創新的精神，力求與客戶共同進步，為行業的發展作出不懈的努力。