常用白光垂直掃描干涉系統的原理:入射的白光光束通過半反半透鏡進入到顯微干涉物鏡后,被分光鏡分成兩部分,一個部分入射到固定參考鏡,一部分入射到樣品表面,當參考鏡表面和樣品表面的反射光通過分光鏡后,再次匯聚發生干涉,干涉光通過透鏡后,利用電荷耦合器(CCD)可探測...
激光位移傳感器是一種應用的非接觸式測量設備,其主要用于非標檢測設備中。國內所使用的激光測量儀器幾乎完全依賴于國外進口。該傳感器具有同步功能,可用于差動測厚、測長等 ,特別適用于工業自動化生產。激光位移傳感器具有的測量性能,可用于在線測量位移、三維尺寸、厚度、表...
白光干涉測量技術,也稱為光學低相干干涉測量技術,使用的是低相干的寬譜光源,如超輻射發光二極管、發光二極管等。與所有光學干涉原理一樣,白光干涉也是通過觀察干涉圖案變化來分析干涉光程差變化,并通過各種解調方案實現對待測物理量的測量。采用寬譜光源的優點是,由于白光光...
光譜共焦位移傳感器是一種高精度 、高靈敏度的測量工件表面缺陷的先進技術。它利用光學原理和共焦原理,通過測量光譜信號的位移來實現對工件表面缺陷的精確檢測和定位。本文將介紹光譜共焦位移傳感器測量工件表面缺陷的具體方法。首先,光譜共焦位移傳感器需要與光源和檢測系統配...
光具有相互疊加的特性,發生干涉的兩束光在一些地方振動加強,而在另一些地方振動減弱,并產生規則的明暗交替變化。干涉測量需要滿足三個相干條件:頻率一致、振動方向一致、相位差穩定一致。與激光光源相比,白光光源的相干長度較短,通常在幾微米到幾十微米內。白光干涉的條紋有...
光譜共焦技術主要包括成像、位置確認和檢測三個步驟。首先,使用顯微鏡對樣品進行成像,并將圖像傳遞給計算機處理。然后通過算法對圖像進行位置確認,以確定樣品的空間位置。之后,通過對樣品的光譜信息分析,實現對其成分的檢測。在點膠行業中,光譜共焦技術可以準確地檢測點膠的...
對同一靶丸相同位置進行白光垂直掃描干涉,建立靶丸的垂直掃描干涉裝置,通過控制光學輪廓儀的運動機構帶動干涉物鏡在垂直方向上的移動,從而測量到光線穿過靶丸后反射到參考鏡與到達基底直接反射回參考鏡的光線之間的光程差,顯然,當一束平行光穿過靶丸后,偏離靶丸中心越遠的光...
具有1 mm縱向色差的超色差攝像鏡頭,擁有0.4436的圖象室內空間NA和0.991的線形相關系數R2。這個構造達到了原始設計要求,表現出了光學性能。在實現線性散射方面,有一些關鍵條件需要考慮,并且可以采用不同的優化方法來完善設計。首先,線性散射的完成條件是確...
具有1 mm縱向色差的超色差攝像鏡頭,擁有0.4436的圖象室內空間NA和0.991的線形相關系數R2。這個構造達到了原始設計要求,表現出了光學性能。在實現線性散射方面,有一些關鍵條件需要考慮,并且可以采用不同的優化方法來完善設計。首先,線性散射的完成條件是確...
光譜共焦測量技術由于其高精度、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實時性高、對被測表面狀況要求低以及高分辨率等特點,已成為工業測量的熱門傳感器,在生物醫學、材料科學、半導體制造、表面工程研究、精密測量和3C電子等領域廣泛應用。本次測量場景采用了創視智能TS...
客戶一直使用安裝在潔凈室的激光測量設備來檢查對齊情況,每個組件大約需要十分鐘才能完成必要的對齊檢查,耗時太久。因此,客戶要求我們開發一種特殊用途的測試和組裝機器,以減少校準檢查所需的時間。現在,我們使用機器人搬運系統將閥門、閥瓣和銷組件轉移到專門的自動裝配機中...
高精度光譜共焦位移傳感器具有非常高的測量精度 。它能夠實現納米級的位移測量,對于晶圓表面微小變化的檢測具有極大的優勢。在半導體行業中,晶圓的表面質量對于芯片的制造具有至關重要的影響,因此需要一種能夠jing'q精確測量晶圓表面位移的傳感器來保證芯片的質量。其次...
光譜共焦位移傳感器是一種基于共焦原理,采用復色光作為光源的傳感器,其測量精度可達到納米級,適用于測量物體表面漫反射或反射的情況。此外,光譜共焦位移傳感器還可以用于單向厚度測量透明物體。由于其具有高精度的測量位移特性,因此對于透明物體的單向厚度測量以及高精度的位...
隨著機械加工水平的不斷發展,各種的微小的復雜工件都需要進行精密尺寸測量與輪廓測量,例如:小工件內壁溝槽尺寸、小圓倒角等的測量,對于某些精密光學元件可以進行非接觸的輪廓形貌測量,避免在接觸測量時劃傷光學表面,解決了傳統傳感器很難解決的測量難題。一些精密光學元件也...
光譜共焦位移傳感器作為一種新型位移傳感器,因為其測量精度高,對于雜光等干擾光線傳感器不敏感具有較強的抵抗能力等特點,應用前景十分大量。文章通過對原理的分析,設計了一款色散鏡頭使用H-K9L和H-ZF4A玻璃,采用正負透鏡組分離結構組合形成鏡頭組,使用凹凸透鏡補...
高精度光譜共焦位移傳感器具有非常高的測量精度 。它能夠實現納米級的位移測量,對于晶圓表面微小變化的檢測具有極大的優勢。在半導體行業中,晶圓的表面質量對于芯片的制造具有至關重要的影響,因此需要一種能夠jing'q精確測量晶圓表面位移的傳感器來保證芯片的質量。其次...
隨著汽車行業的迅速發展 ,汽車零部件的加工質量和精度要求也越來越高。為了滿足這一需求,高精度光譜共焦傳感器成為了一種可靠的解決方案。本文將探討高精度光譜共焦傳感器在汽車零部件加工方面的應用,并提出相應的解決方案。首先,高精度光譜共焦傳感器在汽車零部件加工中的應...
這篇文章介紹了一種具有1毫米縱向色差的超色差攝像鏡頭,它具有0.4436的圖像室內空間NA和0.991的線性相關系數R2,其構造達到了原始設計要求并顯示出了良好的光學性能。實現線性散射需要考慮一些關鍵條件,并可以采用不同的優化方法來改進設計。首先,線性散射的實...
差動共焦拉曼光譜測試方法是一種通過激光激發樣品產生拉曼散射信號,并利用差動共焦顯微鏡提高空間分辨率、抑制激光背景和表面散射等干擾信號的非接觸式拉曼光譜測試方法。該方法將樣品放置于差動共焦顯微鏡中,利用兩束激光在焦平面聚焦下的共焦點對樣品進行局部激發,產生拉曼散...
膜厚儀是一種可以用于精確測量光學薄膜厚度的儀器,是光學薄膜制備和表征中不可或缺的工具。在光學薄膜領域,薄膜的厚度直接影響到薄膜的光學性能和應用效果。因此,準確測量薄膜厚度對于研究和生產具有重要意義。膜厚儀測量光學薄膜的具體方法通常包括以下幾個步驟:樣品準備:首...
光學測厚方法結合了光學、機械、電子和計算機圖像處理技術,以光波長為測量基準,從原理上保證了納米級的測量精度。由于光學測厚是非接觸式的測量方法,因此被用于精密元件表面形貌及厚度的無損測量。針對薄膜厚度的光學測量方法,可以按照光吸收、透反射、偏振和干涉等不同光學原...
風洞測試是空氣動力學領域的一項重要技術,被廣泛應用于飛行器、汽車和建筑等領域的設計和優化中。在風洞測試中,機翼翼型的二維測量是非常重要的,因為它可以預測模型的受力和俯仰力矩,從而指導設計和優化。攻角是指氣動模型相對于風向的角度,攻角的微小變化會導致力和力矩的大...
白光掃描干涉法能免除色光相移干涉術測量的局限性。白光掃描干涉法采用白光作為光源,白光作為一種寬光譜的光源,相干長度較短,因此發生干涉的位置只能在很小的空間范圍內。而且在白光干涉時,有一個確切的零點位置。當測量光和參考光的光程相等時,所有波段的光都會發生相長干涉...
光譜共焦傳感器是一種高精度位移傳感器,綜合了光學成像和光譜分析技術,廣泛應用于3C(計算機、通信和消費電子)電子行業。在智能手機中,光譜共焦傳感器可用于線性馬達的位移測量,通過實時監控和控制線性馬達的位移,可大幅提高智能手機的定位功能和相機的成像精度。同時,還...
光譜共焦技術主要包括成像、位置確認和檢測三個步驟。首先,使用顯微鏡對樣品進行成像,并將圖像傳遞給計算機處理。然后通過算法對圖像進行位置確認,以確定樣品的空間位置。之后,通過對樣品的光譜信息分析,實現對其成分的檢測。在點膠行業中,光譜共焦技術可以準確地檢測點膠的...
三坐標測量機是加工現場常用的高精度產品尺寸及形位公差檢測設備,其具有通用性強,精確可靠等優點。本文面向一種特殊材料異型結構零件內曲面的表面粗糙度測量要求,提出一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術的表面粗糙度在線測量的方法,利用工業現場常用的三坐標測量機平臺執行輪...
表面粗糙度是指零件表面在加工過程中由于不同的加工方法、機床與刀具的精度、振動及磨損等因素形成的微觀水平狀況,其間距和峰谷較小。表面粗糙度是表面質量的一個重要衡量指標,關系到零件的磨損、密封、潤滑、疲勞等機械性能。表面粗糙度的測量可以通過接觸式測量和非接觸式測量...
本文提出了一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術的表面粗糙度集成在線測量方法,適用于一種特殊材料異型結構零件內曲面的表面粗糙度測量要求。該方法利用三坐標測量機平臺對零件進行輪廓掃描,并記錄測量掃描位置的空間橫坐標,然后根據空間坐標關系,將微觀高度信息和采樣點組合成...
由于不同性質和形態的薄膜對系統的測量量程和精度的需求不盡相同,因而多種測量方法各有優缺,難以一概而論。按照薄膜厚度的增加,適用的測量方式分別為橢圓偏振法、分光光度法、共聚焦法和干涉法。對于小于1μm的較薄薄膜,白光干涉輪廓儀的測量精度較低,分光光度法和橢圓偏振...
激光位移傳感器是一種利用光學三角法原理進行非接觸式測量的傳感器。它通過將激光發射光束投射到被測物體表面,接收反射光并將光信號轉換為電信號輸出,從而獲取被測物體空間位置信息。激光位移傳感器具有結構小巧、測量速度快、精度高、測量光斑小、抗干擾能力強等特點,并***應...