白光干涉測量技術,也被稱為光學低相干干涉測量技術,使用的是低相干的寬譜光源,例如發光二極管、超輻射發光二極管等。同所有的光學干涉原理一樣,白光干涉同樣是通過觀察干涉圖樣的變化來分析干涉光程差的變化,進而通過各種解調方案實現對待測物理量的測量。采用寬譜光源的優點...
高像素傳感器設計方案取決于的光對焦水平,要求嚴格圖象室內空間NA的眼鏡片。另一方面,光譜共焦位移傳感器的屏幕分辨率通常采用光譜抗壓強度的全半寬來精確測量。高NA能夠降低半寬,提高分辨率。因而,在設計超色差攝像鏡頭時,NA應盡可能高的。高圖象室內空間NA能提高傳...
光譜共焦傳感器是專為需要高精度測量任務而設計的,通常應用于研發任務、實驗室和醫療、半導體制造、玻璃生產和塑料加工。除了對高反射、有光澤的金屬部件進行距離測量以外,這些傳感器還可用于測量深色、漫反射材料、以及透明薄膜、板或層的單面厚度測量。傳感器還受益于較大的間...
光譜共焦技術將軸向距離與波長建立起一套編碼規則,是一種高精度、非接觸式的光學測量技術。基于光譜共焦技術的傳感器作為一種亞微米級、快速精確測量的傳感器,已經被大量應用于表面微觀形狀、厚度測量、位移測量、在線監控及過程控制等工業測量領域。展望其未來,隨著光譜共焦傳...
采用對比測試方法,首先對基于白光共焦光譜技術的靶丸外表面輪廓測量精度進行了考核。為了便于比較,將原子力顯微鏡輪廓儀的測量數據進行了偏移。二者的低階輪廓整體相似,局部的輪廓信息存在一定的偏差,原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測量圓周輪廓結果不一致;此外,白光共焦...
光譜共焦是一種綜合了光學成像和光譜分析技術的高精度位移傳感器,在3C電子行業中應用極為大量。光譜共焦傳感器可以用于智能手機內線性馬達的位移測量,通過實時監控和控制線性馬達的位移,可大幅提高智能手機的定位功能和相機的成像精度。也能測量手機屏的曲面角度、厚度等。平...
靶丸內表面輪廓是激光核聚變靶丸的關鍵參數,需要精密檢測。本文首先分析了基于白光共焦光譜和精密氣浮軸系的靶丸內表面輪廓測量基本原理,建立了靶丸內表面輪廓的白光共焦光譜測量方法。此外,搭建了靶丸內表面輪廓測量實驗裝置,建立了基于靶丸光學圖像的輔助調心方法,實現了靶...
具有1 mm縱向色差的超色差攝像鏡頭,擁有0.4436的圖象室內空間NA和0.991的線形相關系數R2。這個構造達到了原始設計要求,表現出了光學性能。在實現線性散射方面,有一些關鍵條件需要考慮,并且可以采用不同的優化方法來完善設計。首先,線性散射的完成條件是確...
光譜共焦位移傳感器是一種基于共焦原理,采用復色光作為光源的傳感器,其測量精度可達到納米級,適用于測量物體表面漫反射或反射的情況。此外,光譜共焦位移傳感器還可以用于單向厚度測量透明物體。由于其具有高精度的測量位移特性,因此對于透明物體的單向厚度測量以及高精度的位...
目前,應用的顯微干涉方式主要有Mirau顯微干涉和Michelson顯微干涉兩張方式。在Mirau型顯微干涉結構,在該結構中物鏡和被測樣品之間有兩塊平板,一個是涂覆有高反射膜的平板作為參考鏡,另一塊涂覆半透半反射膜的平板作為分光棱鏡,由于參考鏡位于物鏡和被測樣...
白光干涉的相干原理早在1975年就被提出,并在1976年實現了在光纖通信領域中的應用。1983年,Brian Culshaw的研究小組報道了白光干涉技術在光纖傳感領域中的應用。隨后在1984年,報道了基于白光干涉原理的完整的位移傳感系統。這項研究成果證明了白光...
使用了迭代算法的光譜擬合法,其優缺點在很大程度上取決于所選擇的算法。隨著各種全局優化算法的引入,遺傳算法和模擬退火算法等新算法被用于薄膜參數的測量。其缺點是不夠實用,該方法需要一個較好的薄膜的光學模型(包括色散系數、吸收系數、多層膜系統),但是在實際測試過程中...
薄膜在現代光學、電子、醫療、能源和建材等技術領域得到廣泛應用,可以提高器件性能。但是由于薄膜制備工藝和生產環境等因素的影響,成品薄膜存在厚度分布不均和表面粗糙度大等問題,導致其光學和物理性能無法達到設計要求,嚴重影響其性能和應用。因此,需要開發出精度高、體積小...
這篇文章介紹了一種具有1毫米縱向色差的超色差攝像鏡頭,它具有0.4436的圖像室內空間NA和0.991的線性相關系數R2,其構造達到了原始設計要求并顯示出了良好的光學性能。實現線性散射需要考慮一些關鍵條件,并可以采用不同的優化方法來改進設計。首先,線性散射的實...
光鏡和參考板組成,光源發出的光經過顯微鏡后被分光棱鏡分成兩部分,一束作為參考光入射到參考鏡并反射,另一束作為測量光入射到樣品表面被反射,兩束反射光反射到分光棱鏡并發生干涉。由于實驗中需要調節樣品與被測樣品的角度,以便更好進行測量,5XMichelson型干涉物...
微納制造技術的發展推動著檢測技術進入微納領域,微結構和薄膜結構作為微納器件的重要部分,在半導體、航天航空、醫學、現代制造等領域得到了廣泛應用。由于微小和精細的特征,傳統的檢測方法無法滿足要求。白光干涉法被廣泛應用于微納檢測領域,具有非接觸、無損傷、高精度等特點...
光鏡和參考板組成,光源發出的光經過顯微鏡后被分光棱鏡分成兩部分,一束作為參考光入射到參考鏡并反射,另一束作為測量光入射到樣品表面被反射,兩束反射光反射到分光棱鏡并發生干涉。由于實驗中需要調節樣品與被測樣品的角度,以便更好進行測量,5XMichelson型干涉物...
光譜法是一種以光的干涉效應為基礎的薄膜厚度測量方法,分為反射法和透射法兩種類型。入射光在薄膜-基底-薄膜界面上的反射和透射會引起多光束干涉效應,不同特性的薄膜材料的反射率和透過率曲線是不同的,并且在全光譜范圍內與厚度一一對應。因此,可以根據這種光譜特性來確定薄...
作為重要元件,薄膜通常以金屬、合金、化合物、聚合物等為主要基材,品類涵蓋了光學膜、電隔膜、阻隔膜、保護膜、裝飾膜等多種功能性薄膜,廣泛應用于現代光學、電子、醫療、能源、建材等技術領域。常用薄膜的厚度范圍從納米級到微米級不等。納米和亞微米級薄膜主要是基于干涉效應...
靶丸內表面輪廓是激光核聚變靶丸關鍵參數之一,需要進行精密檢測。本文基于白光共焦光譜和精密氣浮軸系,分析了靶丸內表面輪廓測量的基本原理,并建立了相應的白光共焦光譜測量方法。同時,作者還搭建了靶丸內表面輪廓測量實驗裝置,并利用靶丸光學圖像的輔助調心方法,實現了靶丸...
光譜共焦傳感器使用復色光作為光源,可以達到微米級精度,并具備對漫反射或鏡反射被測物體的測量功能。此外,光譜共焦位移傳感器還可以實現對透明物體的單向厚度測量,其光源和接收光鏡為同軸結構,避免光路遮擋,適用于直徑4.5mm及以上的孔和凹槽的內部結構測量。在測量透明...
光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發出一束白光,透鏡組將其發散成一系列波長不同的單色光,通過同軸聚焦在一定范圍內形成一個連續的焦點組,每個焦點的單色光波長對應一個軸向位置。當樣品位于焦點范圍內時,樣品表面會聚焦后的光反射回去,這些反射回...
隨著社會不斷的發展,我們智能設備的進化越發迅速,愈發精密的設備意味著,對點膠設備提出更高的要求,需要應對更高的點膠精度。更靈活的點膠角度。目前手機中板和屏幕模組貼合時,需要在中板上點一圈透明的UV膠,這種膠由于白色反光的原因,只能使用光譜共焦傳感器進行完美測量...
激光位移傳感器是一種利用光學三角法原理進行非接觸式測量的傳感器。它通過將激光發射光束投射到被測物體表面,接收反射光并將光信號轉換為電信號輸出,從而獲取被測物體空間位置信息。激光位移傳感器具有結構小巧、測量速度快、精度高、測量光斑小、抗干擾能力強等特點,并***應...
在共焦位移傳感器中,能夠使在頭單元與控制裝置之間傳送投光用的光的光纖的端面具有共焦光學系統的銷孔的功能。由于使用受光波形和位移的測量值來控制顯示部的顯示,所以在設置頭單元時,能夠根據顯示部的顯示來容易地辨識頭單元是否被適當地設置。由于在控制裝置側控制顯示部的顯...
這篇文章介紹了一種具有1毫米縱向色差的超色差攝像鏡頭,它具有0.4436的圖像室內空間NA和0.991的線性相關系數R2,其構造達到了原始設計要求并顯示出了良好的光學性能。實現線性散射需要考慮一些關鍵條件,并可以采用不同的優化方法來改進設計。首先,線性散射的實...
使用了迭代算法的光譜擬合法,其優缺點在很大程度上取決于所選擇的算法。隨著各種全局優化算法的引入,遺傳算法和模擬退火算法等新算法被用于薄膜參數的測量。其缺點是不夠實用,該方法需要一個較好的薄膜的光學模型(包括色散系數、吸收系數、多層膜系統),但是在實際測試過程中...
安裝過程中需要注意保護傳感器光學部件。激光位移傳感器的測量原理是通過激光束對測量目標進行照射,并通過接收反射光信號來計算位移。因此,在安裝過程中,應特別注意保護傳感器的光學部件,避免碰撞和污染。在安裝完成后,還應定期清潔光學部件,以確保傳感器的測量精度和穩定性...
光譜共焦傳感器在數碼相機中的應用包括相位測距,可大幅提高相機的對焦精度和成像質量,并通過檢測相機的微小振動,實現圖像的防抖和抗震功能。同時,光譜共焦傳感器還可用于計算機硬盤的位移和振動測量,從而實現對硬盤存儲數據的穩定性和可靠性的實時監控。在硬盤的生產過程中,...
當以一端孑L軸線為基準來求同軸度時,此時對于測量裝置的測量精度要求非常高,因為當孔間距大時,同軸度誤差受測量誤差的影響很大。如圖2所示,在左側基準圓柱上測量兩個截面圓,構造一條直線。假設基準圓柱上兩測量截面間的距離較小,距離為10mm,而基準圓柱一截面與被測圓...