激光位移傳感器在精密制造行業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用。如在汽車制造中,激光位移傳感器可以用于測量車身的變形和尺寸,確保汽車的質(zhì)量和安全性能。在航空航天制造中 ,激光位移傳感器可以用于測量航空器件的尺寸和變形,以及機(jī)翼的形狀和彎曲度。在微電子制造中,激光位移傳感器可以...
在激光三角法的光學(xué)成像系統(tǒng)中,像點(diǎn)移動(dòng)的位移是測量結(jié)果的依據(jù),作為成像對(duì)象的激光斑點(diǎn)的尺寸對(duì)測量的精度有很大的影響。在一個(gè)衍射受限系統(tǒng)中,成像的焦深大小為:它是表征光斑能清晰地成像在探測器上的縱向范圍,一定的焦深范圍是激光三角測量傳感器實(shí)現(xiàn)精密測量的前提條件。...
激光位移傳感器在鋰電極片測厚行業(yè)應(yīng)用 。其采用的激光光點(diǎn)呈橢圓形,長軸直徑遠(yuǎn)大于正負(fù)極材料顆粒,在測量時(shí)能起到厚度平均的作用,不會(huì)因?yàn)闃O片表面的顆粒太大導(dǎo)致測量過程中出現(xiàn)極小范圍內(nèi)的波峰和波谷 。因此,采用該激光位移傳感器做測厚儀用于測量鋰電池正負(fù)極極片厚度是...
激光位移傳感器具有同步功能,可以用于差動(dòng)測厚、測長等,特別適用于工業(yè)自動(dòng)化生產(chǎn)。激光位移傳感器以其的測量性能實(shí)現(xiàn)非接觸在線測量位移、三維尺寸、厚度、 表面輪廓、物體形變、振動(dòng)、液位、工件分揀和各種大型構(gòu)件如橋梁、飛機(jī)和艦船骨架、機(jī)床導(dǎo)軌的定位安裝、動(dòng)態(tài)監(jiān)測重要...
在實(shí)踐中,光譜共焦位移傳感器可用于很多方面,如:利用獨(dú)特的光譜共焦測量原理,憑借一只探頭就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)玻璃等透明材料進(jìn)行精確的單向厚度測量。透明材料上表面及下表面都會(huì)形成不同波長反射光,通過計(jì)算可得出透明材料厚度。光譜共焦位移傳感器有效監(jiān)控藥劑盤以及鋁塑泡罩包裝...
白光干涉在零光程差處 ,出現(xiàn)零級(jí)干涉條紋,隨著光程差的增加,光源譜寬范圍內(nèi)的每條譜線各自形成的干涉條紋之間互有偏移,疊加的整體效果使條紋對(duì)比度下降。測量精度高,可以實(shí)現(xiàn)測量,采用白光干涉原理的測量系統(tǒng)的抗干擾能力強(qiáng),動(dòng)態(tài)范圍大,具有快速檢測和結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點(diǎn)。普...
光位移傳感器在新能源光伏等行業(yè)應(yīng)用中,具有非常重要的作用。例如,在風(fēng)能發(fā)電領(lǐng)域中,激光位移傳感器可以用于實(shí)時(shí)監(jiān)測風(fēng)力發(fā)電機(jī)葉片的位移,從而及時(shí)發(fā)現(xiàn)葉片的形變和振動(dòng)情況,保證發(fā)電機(jī)的正常運(yùn)行。此外,在新能源汽車領(lǐng)域中,激光位移傳感器可以用于測量電池、電機(jī)等關(guān)鍵部...
隨后安裝在貼裝臺(tái)單元上的激光位移傳感器403檢測鍵合頭370上拾取的芯片的傾角,結(jié)合兩位移傳感器360和403的初始角度差值,利用調(diào)平機(jī)構(gòu)340對(duì)芯片做出與貼裝臺(tái)401上貼裝位間的平行調(diào)整;其調(diào)平的具體實(shí)現(xiàn)過程如下:音圈電機(jī)343動(dòng)作,從而實(shí)現(xiàn)音圈模組341產(chǎn)...
光譜共焦測量技術(shù)是共焦原理和編碼技術(shù)的結(jié)合 。白色光源和光譜儀可以完成一個(gè)相對(duì)高度范圍的準(zhǔn)確測量。光譜共焦位移傳感器的準(zhǔn)確測量原理如圖1所示。在光纖和超色差鏡片的幫助下,產(chǎn)生一系列連續(xù)而不重合的可見光聚焦點(diǎn)。當(dāng)待測物體放置在檢測范圍內(nèi)時(shí),只有一種光波長能夠聚焦...
根據(jù)對(duì)光譜共焦位移傳感器原理的理解和分析,可以得出理想的鏡頭應(yīng)具備以下性能:首先,產(chǎn)生較大的軸向色差,通常需要對(duì)鏡頭進(jìn)行消色差措施,而該傳感器需要利用色差進(jìn)行測量,需要將其擴(kuò)大化 ;其次,產(chǎn)生軸向色差后,焦點(diǎn)在軸上會(huì)因單色光的球差問題而導(dǎo)致光譜曲線響應(yīng)的FWH...
激光位移傳感器是一種應(yīng)用的非接觸式測量設(shè)備,其主要用于非標(biāo)檢測設(shè)備中。國內(nèi)所使用的激光測量儀器幾乎完全依賴于國外進(jìn)口。該傳感器具有同步功能,可用于差動(dòng)測厚、測長等 ,特別適用于工業(yè)自動(dòng)化生產(chǎn)。激光位移傳感器具有的測量性能,可用于在線測量位移、三維尺寸、厚度、表...
激光三角法測量原理可有效應(yīng)用于三維曲面的非接觸精密測量,測量數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)處理結(jié)果直接關(guān)系到測量精度的提高,同時(shí)也與測量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、被測物體特性及環(huán)境條件等因素有關(guān) 。從激光三角法的測量機(jī)理出發(fā),針對(duì)易拉罐罐蓋開啟口壓痕殘余厚度測量中影響測量的關(guān)鍵問題進(jìn)行分析和研究...
靶丸殼層折射率 、厚度及其分布參數(shù)是激光慣性約束聚變(ICF)物理實(shí)驗(yàn)中非常關(guān)鍵的參數(shù),精密測量靶丸殼層折射率、厚度及其分布對(duì)ICF精密物理實(shí)驗(yàn)研究具有非常重要的意義。由于靶丸尺寸微小(亞毫米量級(jí))、結(jié)構(gòu)特殊(球形結(jié)構(gòu))、測量精度要求高,如何實(shí)現(xiàn)靶丸殼層折射率...
客戶一直使用潔凈室中的激光測量設(shè)備來檢查對(duì)齊情況,但每個(gè)組件的對(duì)齊檢查需要大約十分鐘,時(shí)間太長了。因此,客戶要求我們開發(fā)一種特殊用途的測試和組裝機(jī)器,以減少校準(zhǔn)檢查所需的時(shí)間。現(xiàn)在,我們使用機(jī)器人搬運(yùn)系統(tǒng)將閥門、閥瓣和銷組件轉(zhuǎn)移到專門的自動(dòng)裝配機(jī)中。為了避免由...
隨著科技的不斷發(fā)展,對(duì)微小位移的測量需求也越來越高。尤其是在納米科技領(lǐng)域,微小位移的測量對(duì)于研究物質(zhì)的性質(zhì)和行為至關(guān)重要。而激光位移傳感器作為一種高精度 、高靈敏度的位移測量工具 ,被應(yīng)用于微小位移的測量。在納米科技中,激光位移傳感器可以用于測量納米級(jí)別的位移...
物體的表面形貌可以基于距離的確定來進(jìn)行。光譜共焦傳感器還可用于測量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結(jié)構(gòu)。當(dāng)測量對(duì)象包含不同類型的材料(例如塑料和金屬)時(shí),盡管距離值保持不變,但反射率會(huì)突出材料之間的差異。劃痕和不平整會(huì)影響反射度并變得更加直觀。在檢測到信號(hào)強(qiáng)度...
干涉法與分光光度法都是利用相干光形成等厚干涉條紋的原理來確定薄膜厚度和折射率 ,然而與薄膜自發(fā)產(chǎn)生的等傾干涉不同,干涉法是通過設(shè)置參考光路,形成與測量光路間的干涉條紋,因此其相位信息包含兩個(gè)部分,分別是由參考平面和測量平面間掃描高度引起的附加相位和由透明薄膜內(nèi)...
第三視覺定位包括分別布置在多自由度鍵合頭 300和貼裝臺(tái)單元401上的激光位移傳感器360、403,它們相互配合并用于對(duì)鍵合頭所拾取芯片和基板各自相對(duì)于XY平面的傾角進(jìn)行精確測量及定位;第四視覺定位系統(tǒng)包括布置在多自由度鍵合頭上并由相機(jī)351和平面鏡352共同...
干涉測量法[9-10]是基于光的干涉原理實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜厚度測量的光學(xué)方法 ,是一種高精度的測量技術(shù)。采用光學(xué)干涉原理的測量系統(tǒng)一般具有結(jié)構(gòu)簡單,成本低廉,穩(wěn)定性好,抗干擾能力強(qiáng),使用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。對(duì)于大多數(shù)的干涉測量任務(wù),都是通過薄膜表面和基底表面之間產(chǎn)生的干涉條...
表面粗糙度測量方法具體流程如下 :(1)待測工件定位。將待測工件平穩(wěn)置于坐標(biāo)測量機(jī)測量平臺(tái)上,調(diào)用標(biāo)準(zhǔn)紅寶石測針測量其空間位置和姿態(tài),為按測量工藝要求確定測量位置提供數(shù)據(jù)。(2)輪廓掃描。測量機(jī)測量臂更換掛載光譜共焦傳感器的光學(xué)探頭,驅(qū)動(dòng)探頭運(yùn)動(dòng)至工件測量位置...
光譜共焦測量技術(shù)由于其具有測量精度高、測量速度快、可以實(shí)現(xiàn)非接觸測量的獨(dú)特優(yōu)勢而被大量應(yīng)用于工業(yè)級(jí)測量。讓我們先來看一下光譜共焦技術(shù)的起源和光譜共焦技術(shù)在精密幾何量計(jì)量測試中的成熟典型應(yīng)用。共焦顯微術(shù)的概念首先是由美國的 Minsky 于 1955年提出, 其...
激光位移傳感器在新能源光伏等行業(yè)應(yīng)用范圍廣。在太陽能光伏領(lǐng)域中,激光位移傳感器可以用于對(duì)太陽能電池板進(jìn)行高精度的位移測量,以確保電池板的穩(wěn)定性和可靠性。在風(fēng)能發(fā)電領(lǐng)域中,激光位移傳感器可以用于對(duì)風(fēng)力發(fā)電機(jī)葉片的位移進(jìn)行測量,以確定葉片的形變和振動(dòng)情況,從而提高...
高精度光譜共焦位移傳感器具有非常高的測量精度 。它能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)的位移測量,對(duì)于晶圓表面微小變化的檢測具有極大的優(yōu)勢。在半導(dǎo)體行業(yè)中,晶圓的表面質(zhì)量對(duì)于芯片的制造具有至關(guān)重要的影響,因此需要一種能夠jing'q精確測量晶圓表面位移的傳感器來保證芯片的質(zhì)量。其次...
表面粗糙度測量方法具體流程如下 :(1)待測工件定位。將待測工件平穩(wěn)置于坐標(biāo)測量機(jī)測量平臺(tái)上,調(diào)用標(biāo)準(zhǔn)紅寶石測針測量其空間位置和姿態(tài),為按測量工藝要求確定測量位置提供數(shù)據(jù)。(2)輪廓掃描。測量機(jī)測量臂更換掛載光譜共焦傳感器的光學(xué)探頭,驅(qū)動(dòng)探頭運(yùn)動(dòng)至工件測量位置...
三坐標(biāo)測量機(jī)是加工現(xiàn)場常用的高精度產(chǎn)品尺寸及形位公差檢測設(shè)備,其具有通用性強(qiáng),精確可靠等優(yōu)點(diǎn)。本文面向一種特殊材料異型結(jié)構(gòu)零件內(nèi)曲面的表面粗糙度測量要求,提出一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術(shù)的表面粗糙度在線測量的方法,利用工業(yè)現(xiàn)場常用的三坐標(biāo)測量機(jī)平臺(tái)執(zhí)行輪...
道路是交通運(yùn)輸?shù)闹匾M成部分 ,其平整度和幾何形狀對(duì)行車安全、行車舒適性、車輛燃油經(jīng)濟(jì)性等方面都有著重要影響。為了確保道路的安全和舒適,需要對(duì)道路的平整度和幾何形狀進(jìn)行定期檢測和維護(hù)。而激光位移傳感器在道路檢測領(lǐng)域中的應(yīng)用,為道路的檢測和維護(hù)提供了更加準(zhǔn)確和高...
壓縮機(jī)在承受載荷時(shí)會(huì)發(fā)生微小變形,變形的大小將直接影響零部件之間的裝配以及余隙容積等,因此準(zhǔn)確測試結(jié)構(gòu)的變形對(duì)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)驗(yàn)證至關(guān)重要。測試與分析結(jié)構(gòu)微變形的方法有很多種[1-8],傳統(tǒng)常用的是千分表(如圖1所示)測試,通過機(jī)械探針接觸被測物體表面,讀取表盤的指針...
干涉法作為面掃描方式可以一次性對(duì)薄膜局域內(nèi)的厚度進(jìn)行解算 ,適用于對(duì)面型整體形貌特征要求較高的測量對(duì)象。干涉法算法在于相位信息的提取,借助多種復(fù)合算法通常可以達(dá)到納米級(jí)的測量準(zhǔn)確度。然而主動(dòng)干涉法對(duì)條紋穩(wěn)定性不佳,光學(xué)元件表面的不清潔、光照度不均勻、光源不穩(wěn)定...
物體的表面形貌可以通過測量距離來確定,光譜共焦傳感器可以用于測量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結(jié)構(gòu)。當(dāng)測量對(duì)象包含不同類型的材料時(shí),盡管距離值保持不變,但反射率會(huì)突出材料之間的差異。劃痕和不平整會(huì)影響反射率并變得可見。系統(tǒng)會(huì)創(chuàng)建目標(biāo)及其精細(xì)結(jié)構(gòu)的精確圖像,只...
譜共焦位移傳感器,作為一種高度精密的光學(xué)測量儀器 ,擔(dān)負(fù)著重要的測量任務(wù)。其主要應(yīng)用領(lǐng)域包括工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)研究和質(zhì)量控制等,其中對(duì)金屬內(nèi)壁輪廓的準(zhǔn)確測量至關(guān)重要。在工業(yè)制造中,特別是汽車行業(yè)的發(fā)動(dòng)機(jī)制造領(lǐng)域,氣缸內(nèi)壁的精度直接關(guān)系到發(fā)動(dòng)機(jī)性能和可靠性。因此,采...