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光譜共焦測量技術是共焦原理和編碼技術的結合。白色光源和光譜儀可以完成一個相對高度范圍的準確測量。光譜共焦位移傳感器的準確測量原理如圖1所示。在光纖和超色差鏡片的幫助下，產生一系列連續而不重合的可見光聚焦點。當待測物體放置在檢測范圍內時，只有一種光波長能夠聚焦在待測物表面并反射回來，產生波峰信號。其他波長將失去對焦。使用干涉儀的校準信息可以計算待測物體的位置，并創建對應于光譜峰處波長偏移的編碼。超色差鏡片通過提高縱向色差，可以在徑向分離出電子光學信號的不同光譜成分，因此，是傳感器的關鍵部件，其設計方案非常重要。光譜共焦透鏡組設計和性能優化是光譜共焦技術研究的重要內容之一；工廠光譜共焦生產商光譜共...

隨著科技的不斷進步 ，手機已經成為我們日常生活中不可或缺的一部分。然而，隨著手機功能的不斷擴展和提升，手機零部件的質量和精度要求也越來越高。為了滿足這一需求，高精度光譜共焦傳感器被引入到手機零部件檢測中，為手機制造業提供了一種全新的解決方案。高精度光譜共焦傳感器是一種先進的光學檢測設備，它能夠實現在微米級別的精確測量，同時具有高速、高分辨率和高靈敏度的特點。這使得它在手機零部件檢測方面具有獨特的優勢。首先，高精度光譜共焦傳感器能夠實現對手機零部件表面缺陷的高精度檢測，包括微小的劃痕、凹陷和顆粒等。其次，它還能夠對手機零部件的材料成分進行準確分析，確保手機零部件的質量符合要求。另外，高精度光譜共...

精密幾何量計量測試中光譜共焦技術的應用十分重要，其能夠讓光譜共焦技術的應用效率得到提升。在進行應用的過程中，其首先需要對光譜共焦技術的原理進行分析，然后對其計量的傳感器進行綜合性的應用。從而獲取較為準確的測量數據。讓光譜共焦技術的應用效果發揮出來 。光譜共焦位移傳感器的工作原理就是使用寬譜光源照射到被測物體的表面，再通過光譜儀探測反射回來的光譜，光源發出的具有寬光諾的復色光 近似為點光源。在未來，光譜共焦技術將繼續發展，為更多領域帶來創新和改善。通過不斷的研究和應用，我們可以期待看到更多令人振奮的成果，使光譜共焦技術成為科學和工程領域的不可或缺的一部分，為測量和測試提供更多可能性。光譜共焦技術...

光譜共焦傳感器使用復色光作為光源，可以達到微米級精度，并具備對漫反射或鏡反射被測物體的測量功能。此外，光譜共焦位移傳感器還可以實現對透明物體的單向厚度測量，其光源和接收光鏡為同軸結構，避免光路遮擋，適用于直徑4.5mm及以上的孔和凹槽的內部結構測量。在測量透明物體的位移時，由于被測物體的上下兩個表面都會反射，而傳感器接收到的位移信號是通過其上表面計算出來的，從而可能引起一定誤差 。本文通過對平行平板位移測量的誤差分析，探討了這一誤差的來源和影響因素。光譜共焦位移傳感器可以實時監測材料的變化情況，對于研究材料的力學性能具有重要意義；孔檢測傳感器光譜共焦使用誤區光譜共焦測量技術是共焦原理和編碼技術...

光譜共焦傳感器可以用于數碼相機的相位測距，可大幅提高相機的對焦精度和成像質量。同時，還可以通過檢測相機的微小振動，實現圖像的防抖和抗震功能。光譜共焦傳感器可以用于計算機硬盤的位移和振動測量，從而實現對硬盤存儲數據的穩定性和可靠性的實時監控。在硬盤的生產過程中，光譜共焦傳感器也可用于進行各種機械結構件的位移、振動和形變測試。光譜共焦傳感器在3C電子行業中的應用領域極其大量，可用于各種控制和檢測環節，實現高精度、高可靠性、高速的測量與檢測 。連續光位置測量方法可以實現光譜的位置測量。高速光譜共焦安裝操作注意事項隨著精密儀器制造業的發展，人們對于工業生產測量的要求越來越高，希望能夠生產出具有精度高、...

在塑料薄膜和透明材料薄厚測量方面，研究人員探討了光譜共焦傳感器在全透明平板電腦平整度測量中由于不同折射率引入的測量誤差并進行了補償，在機器視覺技術方面利用光譜共焦傳感器檢測透明材料的薄厚及弧形玻璃曲面的薄厚。在外表粗糙度測量方面，研究人員闡述了不同方式測量外表粗糙度的優缺點，并選擇了基于光譜共焦傳感器的測量方式進行試驗，為外表粗糙度的高精密測量提供了一種新方法 。研究人員利用小二乘法計算校準誤差并進行了離散系統誤差測算，以減少光譜共焦傳感器校準后的誤差，并在不同精度標準器下探尋了光譜共焦傳感器的校準誤差變化情況，這對于今后光譜共焦傳感器的應用和科學研究具有重要意義。光譜共焦技術可以對材料表面和...

光譜共焦位移傳感器是基于共焦原理采用復色光為光源的傳感器，其測扯精度能夠達到nm量級，可用于表面呈漫反射或鏡反射的物體的測匱。此外，光譜共焦位移傳感器還可以對透明物體進行單向厚度測量。由于其在測量位 移方面具有高精度的特性，對千單層和多層透明物體，除準確測量該物體的位移之外，還可以單方向測量其厚度。本文將光譜共焦位移傳感器應用于位移測量中，通過實驗驗證光譜共焦測量系統能夠滿足高精度的位移測蜇要求 ，對今后將整個 小型化、產品化有著重要的意義。光譜共焦位移傳感器可以實現對材料的振動頻率和振動幅度的測量，對于研究材料的振動特性具有重要意義；小型光譜共焦量大從優光譜共焦技術將軸向距離與波長建立起一套...

光譜共焦測量原理是使用多透鏡光學系統將多色白光聚焦到目標表面上。透鏡的排列方式是通過控制色差（像差）將白光分散成單色光。每個波長都有一定的偏差（特定距離）進行工廠校準。只有精確聚焦在目標表面或材料上的波長才能用于測量。通過共焦孔徑反射到目標表面的光會被光譜儀檢測并處理。漫反射表面和鏡面反射表面都可以使用光譜共焦原理進行測量。共焦測量提供納米級分辨率，并且幾乎與目標材料分開運行。傳感器的測量范圍內有一個非常小的、恒定的光斑尺寸。微型徑向和軸向共焦版本可用于測量鉆孔或鉆孔內壁的表面，以及測量窄孔、小間隙和空腔 。光譜共焦技術可以對材料表面和內部進行接觸式的檢測和分析。高頻光譜共焦常見問題光譜共焦傳...

具有1 mm縱向色差的超色差攝像鏡頭，擁有0.4436的圖象室內空間NA和0.991的線形相關系數R2。這個構造達到了原始設計要求，表現出了光學性能。在實現線性散射方面，有一些關鍵條件需要考慮，并且可以采用不同的優化方法來完善設計。首先，線性散射的完成條件是確保攝像鏡頭的各光譜成分具有相同的焦點位置，以減少色差。為了滿足這一條件，需要采用精確的光學元件制造和裝配，以確保不同波長的光線匯聚在同一焦點上。此外，使用特殊的透鏡設計和涂層技術也可以減小縱向色差。在優化設計方面，一類方法是采用非球面透鏡，以更好地校正色差，提高圖象質量。另一類方法包括使用折射率不同的材料組合，以控制光線的傳播和散射。此外...

根據對光譜共焦位移傳感器原理的理解和分析，可以得出理想的鏡頭應具備以下性能：首先，產生較大的軸向色差，通常需要對鏡頭進行消色差措施，而該傳感器需要利用色差進行測量，需要將其擴大化 ；其次，產生軸向色差后，焦點在軸上會因單色光的球差問題而導致光譜曲線響應的FWHM（半峰全寬）變大，影響分辨率；同時，為確保單色光在軸上匯聚到單一點，需要控制其球差；為保證傳感器的線性度并平衡其各聚焦位置的靈敏度，焦點位置應盡量與波長成線性關系。光譜共焦技術在醫學、材料科學、環境監測等領域有著廣泛的應用；高精度光譜共焦設備生產物體的表面形貌可以基于距離的確定來進行。光譜共焦傳感器還可用于測量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度...

差動共焦拉曼光譜測試方法是一種通過激光激發樣品產生拉曼散射信號，并利用差動共焦顯微鏡提高空間分辨率、抑制激光背景和表面散射等干擾信號的非接觸式拉曼光譜測試方法。該方法將樣品放置于差動共焦顯微鏡中，利用兩束激光在焦平面聚焦下的共焦點對樣品進行局部激發，產生拉曼散射信號。其中一束激光在焦平面發生微小振動，通過檢測二者之間的光路差異，可以抑制激光背景和表面散射等干擾信號。該方法具有高空間分辨率和高信噪比等特點，可以實現微區域的化學組成分析和表征。該方法可用于單個納米顆粒、生物組織、納米線、nanofilm等微型樣品的表征，以及材料科學、生物醫學、環境科學等領域的研究。需要注意的是，在差動共焦拉曼光譜...

由于每一個波長都可以固定一個距離值，因此，通過將光譜山線峰值波長確定下來，就可以將精確的距離值推算出來。假設傳感器與物體表面存在相對移動，此時物體表面的中心點恰好處在單色光（A1）的像點處，可以作出光譜儀探測到的光譜曲線。通過測量得到不同的波長值，可以將物體表面不同點之間的相對位移值計算出來。如果配上精細的掃描機構，就可以對整體的二維表面輪廓及形貌進行精確的測量。相比其他傳統的位移傳感器 ，光譜共焦傳感器憑借獨特的測量原理，具有測量效率高、精度高、體積小、非接觸等特點，在各個領域都得到了大量的應用。光譜共焦位移傳感器可以實現對不同材料的位移測量，包括金屬、陶瓷、塑料等；小型光譜共焦的原理由于光...

差動共焦拉曼光譜測試方法是一種通過激光激發樣品產生拉曼散射信號，并利用差動共焦顯微鏡提高空間分辨率、抑制激光背景和表面散射等干擾信號的非接觸式拉曼光譜測試方法。該方法將樣品放置于差動共焦顯微鏡中，利用兩束激光在焦平面聚焦下的共焦點對樣品進行局部激發，產生拉曼散射信號。其中一束激光在焦平面發生微小振動，通過檢測二者之間的光路差異，可以抑制激光背景和表面散射等干擾信號。該方法具有高空間分辨率和高信噪比等特點，可以實現微區域的化學組成分析和表征。該方法可用于單個納米顆粒、生物組織、納米線、nanofilm等微型樣品的表征，以及材料科學、生物醫學、環境科學等領域的研究。需要注意的是，在差動共焦拉曼光譜...

譜共焦位移傳感器是一種高精度的光學測量儀器，主要應用于工業生產、科學研究和質量控制等領域。特別是在工業制造中，比如汽車工業的發動機制造領域，氣缸內壁的精度對發動機的性能和可靠性有著直接的影響。光譜共焦位移傳感器可以實現非接觸式測量，提供高精度和高分辨率的數據，制造商得以更好地掌握產品質量并提高生產效率。它利用激光共焦成像原理，能夠準確測量金屬內壁表面形貌，包括凹凸、微觀結構和表面粗糙度等參數。這些數據對保證發動機氣缸內壁的精密性和一致性非常重要 ，從而保障發動機性能和長期可靠性。此外，在科學研究領域，光譜共焦位移傳感器也扮演關鍵角色，幫助研究者進一步了解各種材料的微觀特性和表面形態，推動材料科...

譜共焦位移傳感器是一種高精度的光學測量儀器，主要應用于工業生產、科學研究和質量控制等領域。特別是在工業制造中，比如汽車工業的發動機制造領域，氣缸內壁的精度對發動機的性能和可靠性有著直接的影響。光譜共焦位移傳感器可以實現非接觸式測量，提供高精度和高分辨率的數據，制造商得以更好地掌握產品質量并提高生產效率。它利用激光共焦成像原理，能夠準確測量金屬內壁表面形貌，包括凹 凸、微觀結構和表面粗糙度等參數。這些數據對保證發動機氣缸內壁的精密性和一致性非常重要，從而保障發動機性能和長期可靠性。此外，在科學研究領域，光譜共焦位移傳感器也扮演關鍵角色，幫助研究者進一步了解各種材料的微觀特性和表面形態，推動材料科...

硅片柵線的厚度測量方法我們還用創視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器，TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠實現0.025 μm的重復精度，±0.02% of F.S.的線性精度，10kHz的測量速度，以及±60°的測量角度，能夠適應鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面，支持485、USB、以太網、模擬量的數據傳輸接口。我們主要測量太陽能光伏板硅片刪線的厚度，所以這次用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量。柵線測量方法：首先我們將需要掃描測量的硅片選擇三個區域進行標記如圖1，用光譜共焦C1200單探頭單側測量 ，柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運動平臺掃描測量（由...

光譜共焦技術主要包括成像、位置確認和檢測三個步驟。首先，使用顯微鏡對樣品進行成像，并將圖像傳遞給計算機處理。然后通過算法對圖像進行位置確認，以確定樣品的空間位置。之后，通過對樣品的光譜信息分析，實現對其成分的檢測。在點膠行業中，光譜共焦技術可以準確地檢測點膠的位置和尺寸，確保點膠的質量和精度。同時，通過對點膠的光譜分析，可以了解到點膠的成分和性質，從而優化點膠工藝 。該技術在點膠行業中的應用有以下幾個方面：提高點膠質量，光譜共焦技術可以檢測點膠的位置和尺寸，避免漏點或點膠過多等問題。同時，由于其高精度的檢測能力，可以確保點膠的精確度和一致性。提高點膠效率，通過光譜共焦技術對點膠的檢測，可以減少...

光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發出一束白光，透鏡組將其發散成一系列波長不同的單色光，通過同軸聚焦在一定范圍內形成一個連續的焦點組，每個焦點的單色光波長對應一個軸向位置。當樣品位于焦點范圍內時，樣品表面會聚焦后的光反射回去 ，這些反射回來的光再經過與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過狹縫進入控制箱中的單色儀。因此，只有位于樣品表面的焦點位置才能聚焦在狹縫上，單色儀將該波長的光分離出來，由控制箱中的光電組件識別并獲取樣品的軸向位置。采用高數值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達到較高分辨率，滿足薄膜厚度分布測量要求。光譜共焦技術可以實現高分辨率的成像和分析。原裝光譜共焦推薦實...

在精密幾何量計量測試中，光譜共焦技術是非常重要的應用，可以提高測量效率和精度。在使用光譜共焦技術進行測量之前，需要對其原理進行分析，并對應用的傳感器進行綜合應用，以獲得更準確的測量數據。光譜共焦位移傳感器的工作原理是使用寬譜光源照射被測物體表面，然后通過光譜儀檢測反射回來的光譜。 未來，光譜共焦技術將繼續發展，為更多領域帶來創新和改進。通過不斷的研究和應用，我們可以期待看到更多令人振奮的成果，使光譜共焦技術成為科學和工程領域不可或缺的一部分，為測量和測試提供更多可能性。光譜共焦位移傳感器具有非接觸式測量的優勢，可以在微觀尺度下進行精確的位移測量。原裝光譜共焦常用解決方案在精密幾何量計量測試中，...

隨著機械加工水平的不斷發展，各種的微小的復雜工件都需要進行精密尺寸測量與輪廓測量，例如：小工件內壁溝槽尺寸、小圓倒角等的測量，對于某些精密光學元件可以進行非接觸的輪廓形貌測量，避免在接觸測量時劃傷光學表面，解決了傳統傳感器很難解決的測量難題。一些精密光學元件也需要進行非接觸的輪廓形貌測量，以避免接觸測量時劃傷光學表面。這些用傳統傳感器難以解決的測量難題，均可用光譜共焦傳感器搭建測量系統以解決 。通過自行塔建的二維納米測量定位裝置，選用光譜其焦傳感器作為測頭，實現測量超精密零件的二維尺寸，滾針對渦輪盤輪廓度檢測的問題，利用光譜共焦式位移傳感器使得渦輪盤輪廓度在線檢測系統的設計能夠得以實現。與此同...

在精密幾何量計量測試中，光譜共焦技術是非常重要的應用，可以提高測量效率和精度。在使用光譜共焦技術進行測量之前，需要對其原理進行分析，并對應用的傳感器進行綜合應用，以獲得更準確的測量數據。光譜共焦位移傳感器的工作原理是使用寬譜光源照射被測物體表面，然后通過光譜儀檢測反射回來的光譜。未來，光譜共焦技術將繼續發展，為更多領域帶來創新和改進。通過不斷的研究和應用，我們可以期待看到更多令人振奮的成果，使光譜共焦技術成為科學和工程領域不可或缺的一部分 為測量和測試提供更多可能性。光譜共焦位移傳感器通常由光源、光譜儀、探測器和信號處理器等組成。原裝光譜共焦經銷批發本文通過對比測試方法，考核了基于白光共焦光譜...

在實踐中，光譜共焦位移傳感器可用于很多方面，如：利用獨特的光譜共焦測量原理，憑借一只探頭就可以實現對玻璃等透明材料進行精確的單向厚度測量。透明材料上表面及下表面都會形成不同波長反射光，通過計算可得出透明材料厚度。光譜共焦位移傳感器有效監控藥劑盤以及鋁塑泡罩包裝的填充量。可以使傳感器完成對被測表面的精確掃描，實現納米級的分辨率。光譜共焦傳感器可以單向對試劑瓶的壁厚進行測量,而且對瓶壁沒有壓力。可通過設計轉向反射鏡實現孔壁的結構檢測及凹槽深度的測盤。（創視智能已推出了90°側向出光版本探頭，可以直接進行深孔和凹槽的測量）光譜共焦傳感器用于層和玻璃間隙測且，以確定單層玻璃之間的間隙厚度 。國內外已經...

靶丸內表面輪廓是激光核聚變靶丸關鍵參數之一，需要進行精密檢測。本文基于白光共焦光譜和精密氣浮軸系，分析了靶丸內表面輪廓測量的基本原理，并建立了相應的白光共焦光譜測量方法。同時，作者還搭建了靶丸內表面輪廓測量實驗裝置，并利用靶丸光學圖像的輔助調心方法，實現了靶丸內表面低階輪廓的精密測量，獲得了準確的靶丸內表面輪廓曲線。作者在實驗中驗證了測量結果的可靠性，并進行了不確定度分析，結果表明，白光共焦光譜能夠實現靶丸內表面低階輪廓的精密測量 。光譜共焦位移傳感器可以實現對材料的微小變形進行精確測量，對于研究材料的性能具有重要意義；國產光譜共焦應用根據對光譜共焦位移傳感器原理的理解和分析，可以得出理想的...

靶丸內表面輪廓是激光核聚變靶丸的關鍵參數，需要精密檢測。本文首先分析了基于白光共焦光譜和精密氣浮軸系的靶丸內表面輪廓測量基本原理，建立了靶丸內表面輪廓的白光共焦光譜測量方法。此外，搭建了靶丸內表面輪廓測量實驗裝置，建立了基于靶丸光學圖像的輔助調心方法，實現了靶丸內表面輪廓的精密測量，獲得了準確的靶丸內表面輪廓曲線;對測量結果的可靠性進行了實驗驗證和不確定度分析，結果表明 ，白光共焦光譜能實現靶丸內表面低階輪廓的精密測量.光譜共焦技術可以在工業生產中發揮重要作用。平面度測量 光譜共焦廠家集成于2D掃描系統上，光譜共焦位移傳感器可以提供針對負載表面形貌的2D和高度測量數據。創新的光譜共焦原理使本傳...

根據對光譜共焦位移傳感器原理的理解和分析，可以得出理想的鏡頭應具備以下性能：首先，產生較大的軸向色差，通常需要對鏡頭進行消色差措施，而該傳感器需要利用色差進行測量，需要將其擴大化 ；其次，產生軸向色差后，焦點在軸上會因單色光的球差問題而導致光譜曲線響應的FWHM（半峰全寬）變大，影響分辨率；同時，為確保單色光在軸上匯聚到單一點，需要控制其球差；為保證傳感器的線性度并平衡其各聚焦位置的靈敏度，焦點位置應盡量與波長成線性關系。光譜共焦技術在醫療器械制造中可以用于醫療器械的精度檢測和測量。新型光譜共焦制造廠家背景技術:光學測量與成像技術,通過光源、被測物體和探測器三點共，去除焦點以外的雜散光，得到比...

光譜共焦測量技術是共焦原理和編碼技術的結合 。白色光源和光譜儀可以完成一個相對高度范圍的準確測量。光譜共焦位移傳感器的準確測量原理如圖1所示。在光纖和超色差鏡片的幫助下，產生一系列連續而不重合的可見光聚焦點。當待測物體放置在檢測范圍內時，只有一種光波長能夠聚焦在待測物表面并反射回來，產生波峰信號。其他波長將失去對焦。使用干涉儀的校準信息可以計算待測物體的位置，并創建對應于光譜峰處波長偏移的編碼。超色差鏡片通過提高縱向色差，可以在徑向分離出電子光學信號的不同光譜成分，因此是傳感器的關鍵部件，其設計方案非常重要。光譜共焦位移傳感器可以實現對材料的振動頻率和振動幅度的測量，對于研究材料的振動特性具有...

光譜共焦位移傳感器作為一種新型位移傳感器，因為其測量精度高，對于雜光等干擾光線傳感器不敏感具有較強的抵抗能力等特點，應用前景十分大量。文章通過對原理的分析，設計了一款色散鏡頭使用H-K9L和H-ZF4A玻璃，采用正負透鏡組分離結構組合形成鏡頭組，使用凹凸透鏡補償法該鏡，在486, ..._,656nm波長范圍內，色散范圍約為焦量與波長之間通過線性擬合所得其線性性達到0.9976，很好的平衡了傳感器各個聚焦位置的靈敏度，配以合適的光譜儀，傳感器的分辨率可達到5nm的測量精度。符合設計要求產生了較大的線性軸向色散，在保證大色散范圍的同時軸向色散與波長之間也存在著好的線性。光譜共焦位移傳感器可以實現...

物體的表面形貌可以基于距離的確定來進行。光譜共焦傳感器還可用于測量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結構。當測量對象包含不同類型的材料（例如塑料和金屬）時，盡管距離值保持不變，但反射率會突出材料之間的差異。劃痕和不平整會影響反射度并變得更加直觀。在檢測到信號強度的變化后，系統會創建目標及其精細結構的精確圖像。除了距離測量之外，另一種選擇是使用信號強度進行測量，這可以實現精細結構的可視化。通過恒定的曝光時間，可以獲得關于表面評估的附加信息 。光譜共焦技術的應用可以提高生產效率和質量。工廠光譜共焦廠家直銷價格玻璃基板是液晶顯示屏必須的部件之一，每個液晶屏需要兩個玻璃基板，用作底部基板和彩色濾光片底部...

客戶一直使用潔凈室中的激光測量設備來檢查對齊情況，但每個組件的對齊檢查需要大約十分鐘，時間太長了。因此，客戶要求我們開發一種特殊用途的測試和組裝機器，以減少校準檢查所需的時間。現在，我們使用機器人搬運系統將閥門、閥瓣和銷組件轉移到專門的自動裝配機中。為了避免由于移動機器人的振動引起的任何測量干擾，我們將光譜共焦位移傳感器安裝在單獨的框架和支架上，盡管仍然靠近要測量的部件。該機器已經通過測試和驗證。光譜共焦能夠提高研究和制造的精度和效率，為科學研究和工業生產提供了有力的技術支持。孔檢測傳感器光譜共焦應用光譜共焦是一種先進的光學顯微鏡技術，通過聚焦光束在樣品上，利用譜學分析方法獲取樣品的高分辨率成...

光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分 。光源發出一束白光，透鏡組將其發散成一系列波長不同的單色光，通過同軸聚焦在一定范圍內形成一個連續的焦點組 ，每個焦點的單色光波長對應一個軸向位置。當樣品位于焦點范圍內時，樣品表面會聚焦后的光反射回去，這些反射回來的光再經過與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過狹縫進入控制箱中的單色儀。因此，只有位于樣品表面的焦點位置才能聚焦在狹縫上，單色儀將該波長的光分離出來，由控制箱中的光電組件識別并獲取樣品的軸向位置。采用高數值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達到較高分辨率，滿足薄膜厚度分布測量要求。光譜共集技術在電子制造領域可以用于電子元件的精度檢測和測量...