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MEMS制作工藝-太赫茲超導混頻陣列的MEMS體硅集成天線與封裝技術： 太赫茲波是天文探測領域的重要波段，太赫茲波探測對提升人類認知宇宙的能力有重要意義。太赫茲超導混頻接收機是具有代表性的高靈敏天文探測設備。天線及混頻芯片封裝是太赫茲接收前端系統...

MEMS繼電器與開關。其優勢是體積小（密度高，采用微工藝批量制造從而降低成本），速度快，有望取代帶部分傳統電磁式繼電器，并且可以直接與集成電路IC集成，極大地提高產品可靠性。其尺寸微小，接近于固態開關，而電路通斷采用與機械接觸（也有部分產品采用其他通斷方式），...

微機電系統是微米大小的機械系統，其中也包括不同形狀的三維平板印刷產生的系統。這些系統的大小一般在微米到毫米之間。在這個大小范圍中日常的物理經驗往往不適用。比如由于微機電系統的面積對體積比比一般日常生活中的機械系統要大得多，其表面現象如靜電、潤濕等比體積現象如慣...

微流控芯片反應信號的收集和分析的難題：由于反應體系較小，故而只產生較低的信號強度，如何收集并分析芯片中產生的信號，是微流控芯片研究的另一項重點，因此，微流控芯片大多需要龐大的信號讀取和分析設備。近年來便攜性、自動化、敏感的新型微流控芯片讀取設備受到科研人員關注...

微流控芯片的常見故障及預防措施：泄漏：微流控芯片中的微通道和閥門等部件容易發生泄漏，應注意密封性和連接的可靠性。堵塞：微流控芯片中的微通道可能會因為微粒或氣泡的堵塞而導致流體無法正常流動，應注意樣品的凈化和操作的規范性。漂移：由于溫度、壓力等原因，微流控芯片中...

微流控芯片的常見故障及預防措施：泄漏：微流控芯片中的微通道和閥門等部件容易發生泄漏，應注意密封性和連接的可靠性。堵塞：微流控芯片中的微通道可能會因為微粒或氣泡的堵塞而導致流體無法正常流動，應注意樣品的凈化和操作的規范性。漂移：由于溫度、壓力等原因，微流控芯片中...

MEMS超表面對特性的調控： 1.超表面meta-surface對偏振的調控：在偏振方面，超表面可實現偏振轉換、旋光、矢量光束產生等功能。 2.超表面meta-surface對振幅的調控。超表面可以實現光的非對稱透過、消反射、增透射、磁鏡、類E...

MEMS制作工藝柔性電子： 柔性電子（Flexible Electronics）是一種技術的通稱，是將有機/無機材料電子器件制作在柔性/可延性基板上的新興電子技術。相對于傳統電子，柔性電子具有更大的靈活性，能夠在一定程度上適應不同的工作環境，滿足設備...

MEMS技術的主要分類：傳感MEMS技術是指用微電子微機械加工出來的、用敏感元件如電容、壓電、壓阻、熱電耦、諧振、隧道電流等來感受轉換電信號的器件和系統。它包括速度、壓力、濕度、加速度、氣體、磁、光、聲、生物、化學等各種傳感器，按種類分主要有:面陣觸覺傳感器、...

MEMS制作工藝-聲表面波器件的特點： 3.由于聲表面波器件是在單晶材料上用半導體平面工藝制作的，所以它具有很好的一致性和重復性，易于大量生產，而且當使用某些單晶材料或復合材料時，聲表面波器件具有極高的溫度穩定性。 4.聲表面波器件的抗輻射能力...

MEMS制作工藝-太赫茲傳感器： 太赫茲（THz）波憑借其可以穿透大多數不透光材料的特點，在對材料中隱藏物體和缺陷的無損探測方面具有明顯的優勢。然而，由于受到成像速度和分辨率的束縛，現有的太赫茲探測系統面臨著成像通量和精度的限制。此外，使用大陣列像素...

MEMS制作工藝-微流控芯片： 微流控芯片技術(Microfluidics)是把生物、化學、醫學分析過程的樣品制備、反應、分離、檢測等基本操作單元集成到一塊微米尺度的芯片上， 自動完成分析全過程。 微流控芯片（microfluidic chip...

MEMS制作工藝柔性電子的領域： 隨著電子設備的發展，柔性電子設備越來越受到大家的重視，這種設備是指在存在一定范圍的形變（彎曲、折疊、扭轉、壓縮或拉伸）條件下仍可工作的電子設備。 柔性電子涵蓋有機電子、塑料電子、生物電子、納米電子、印刷電子等，...

MEMS制作工藝-聲表面波器件的原理： 聲表面波器件是在壓電基片上制作兩個聲一電換能器一叉指換能器。所謂叉指換能器就是在壓電基片表面上形成形狀像兩只手的手指交叉狀的金屬圖案，它的作用是實現聲一電換能。聲表面波SAW器件的工作原理是，基片左端的換能...

MEMS傳感器的主要應用領域有哪些？ 運動追蹤在運動員的日常訓練中，MEMS傳感器可以用來進行3D人體運動測量，通過基于聲學TOF，或者基于光學的TOF技術，對每一個動作進行記錄，教練們對結果分析，反復比較，以便提高運動員的成績。隨著MEMS技術的進...

基于MEMS技術的SAW器件： 聲表面波(SAW)傳感器是近年來發展起來的一種新型微聲傳感器，是種用聲表面波器件作為傳感元件，將被測量的信息通過聲表面波器件中聲表面波的速度或頻率的變化反映出來，并轉換成電信號輸出的傳感器。 聲表面波傳感...

大部分用戶對汽車、打印機內的MEMS無感，這些器件與用戶中間經過了數層中介。但是可穿戴/直接與用戶接觸，提升消費者科技感，更受年輕用戶喜愛，例子可見Fitbit等健身手環。該領域重要的主要有三大塊：消費、健康及工業，我們在此主要討論更受關注的前兩者。消費領域的...

MEMS的采樣精度，速度，適用性都可以達到較高水平，同時由于其體積優勢可直接植入人體，是醫療輔助設備中關鍵的組成部分。傳統大型醫療器械優勢明顯，精度高，但價格昂貴，普及難度較大，且一般一臺設備只完成單一功能。相比之下，某些醫療目標可以通過MEMS技術，利用其體...

MEMS具有以下幾個基本特點，微型化、智能化、多功能、高集成度和適于大批量生產。MEMS技術的目標是通過系統的微型化、集成化來探索具有新原理、新功能的元件和系統。 MEMS技術是一種典型的多學科交叉的前沿性研究領域，幾乎涉及到自然及工程科學的所有領域，如電子技...

主要由傳感器、作動器（執行器）和微能源三大部分組成，但現在其主要都是傳感器比較多。 特點：1.和半導體電路相同，使用刻蝕，光刻等微納米MEMS制造工藝，不需要組裝，調整；2.進一步的將機械可動部，電子線路，傳感器等集成到一片硅板上；3.它很少占用地方...

模型生物微流控芯片的設計Choudhary等人設計了多通道微流控灌注平臺，用于培養斑馬魚胚胎并捕獲胚胎內各種組織和apparatus的實時圖像。其中包含三個不同的部分。這些包括一個微流控梯度發生器，一排八個魚缸和八個輸出通道。在魚缸中，魚胚胎被單獨放置。流體梯...

MEMS技術的主要分類：生物MEMS技術是用MEMS技術制造的化學/生物微型分析和檢測芯片或儀器，統稱為Bio-sensor技術，是一類在襯底上制造出的微型驅動泵、微控制閥、通道網絡、樣品處理器、混合池、計量、增擴器、反應器、分離器以及檢測器等元器件并集成為多...

微流控芯片的組成：微流控芯片由主體芯片、流體控制模塊、信號采集模塊和外部控制模塊組成。主體芯片是一個微通道網絡，由微流道、微閥門、微泵等構成；流體控制模塊負責流體的輸入、輸出和控制；信號采集模塊用于采集傳感器的信號；外部控制模塊用于控制芯片的操作。 ...

安捷倫已有一些儀器使用趨向于具有更多可用性方面的經驗，并將這些經驗應用到了微流體技術開發上。微流體和生物傳感器的項目經理Kevin Killeen博士在接受采訪時說，安捷倫的目標是為終端使用者解除負擔，“由適宜的儀器產品組裝成的系統可以讓非專業人士操縱專業設備...

MEMS傳感器的主要應用領域有哪些？ 運動追蹤在運動員的日常訓練中，MEMS傳感器可以用來進行3D人體運動測量，通過基于聲學TOF，或者基于光學的TOF技術，對每一個動作進行記錄，教練們對結果分析，反復比較，以便提高運動員的成績。隨著MEMS技術的進...

什么是微流控技術？微流控技術是一門精確控制和操縱流體的科學技術，這些流體在幾何空間上被限制在小規模流道中，通常流道系統的直徑低于100μm。對于科學家和工程師來講，微流體一詞的使用方式存在不同；對許多教授來說，微流控是一個科學領域，主要應用于通過直徑在100微...

微流控芯片對于胰島素的補充檢測：抗胰島素自身抗體是Ⅰ型糖尿病中出現的抗體，但當胰島素被固定在檢測平臺上時，表位結合位點的關鍵三級結構發生改變，故而難以用常規方法檢測，Zhang等在芯片表面噴涂生物相容的支鏈聚乙二醇層，用以保護胰島抗原的天然構象，該芯片可以在低...

模型生物微流控芯片的設計Choudhary等人設計了多通道微流控灌注平臺，用于培養斑馬魚胚胎并捕獲胚胎內各種組織和apparatus的實時圖像。其中包含三個不同的部分。這些包括一個微流控梯度發生器，一排八個魚缸和八個輸出通道。在魚缸中，魚胚胎被單獨放置。流體梯...

微流控芯片反應信號的收集和分析的難題：由于反應體系較小，故而只產生較低的信號強度，如何收集并分析芯片中產生的信號，是微流控芯片研究的另一項重點，因此，微流控芯片大多需要龐大的信號讀取和分析設備。近年來便攜性、自動化、敏感的新型微流控芯片讀取設備受到科研人員關注...

心臟組織微流控芯片（HoC）是一種先進的OoC，它模仿了服用劑型或特定藥物分子后人類心臟的整體生理學。使用該芯片已經觀察到一些不良反應。Mathur等人在2015年證明了動物試驗不足以估計測試藥物分子相對于人體的確切藥代動力學和藥效學。為此，微流控芯片技術在心...