所述靶材的比較大厚度為24mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結構;所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為3°;所述斜面位于所述平面和第二平面之間;所述平面為圓形;所述第二平面為環形;所述靶材的材質包括鋁;所述背板的材質包括銅。所得靶材組件濺射強度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。實施例5本實施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.82mm;所述靶材表面的硬度為21hv;其中,所述靶材的比較大厚度為23mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結構;所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為1°;所述斜面位于所述平面和第二平面之間;所述***平面為圓形;所述第二平面為環形;所述靶材的材質包括鋁;所述背板的材質包括銅和鋁。所得靶材組件濺射強度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。
由于活性反應氣體粒子與靶面原子相碰撞產生化學反應生成化合物原子。山東Eu靶材
靶材拋光裝置100還包括:防護層400,所述防護層400位于所述固定板200與所述拋光片300之間。防護層400為彈性材料,能夠在所述固定板200及靶材間提供緩沖,避免所述固定板200觸撞靶材導致靶材受損。防護層400的厚度為30mm~35mm。若所述防護層400的厚度過小,所述防護層400起到的緩沖效果差,難以有效的保護靶材。若所述防護層400的厚度過大,使得所述防護層400的體積過大,進而造成所述靶材拋光裝置100的體積過大,對操作者使用所述靶材拋光裝置100帶來不必要的困難。防護層400的材料。在其他實施例中,所述防護層的材料還可以為橡膠或棉花。防護層400與所述固定板200間通過粘結劑相粘接。所述防護層400與所述拋光片300間也通過粘結劑相粘接。在其他實施例中,所述拋光片朝向所述防護層的表面上具有勾刺結構,所述防護層與所述拋光片間通過所述勾刺結構相固定。鎮江AlTi靶材廠家靶材綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。
拋光片300包括拋光片部分310、拋光片第二部分320及拋光片第三部分330。所述拋光片部分310設置于所述頂板210的底部。所述拋光片第二部分320設置于所述頂板210與所述側板220的拐角處,且在所述拋光片部分310及拋光片第三部分330間平滑的過渡。所述拋光片第三部分330設置于所述側板220的內側面上,所述拋光片第三部分330表面與拋光片部分310表面垂直。拋光片第二部分320呈弧狀,與經圓角處理的靶材側棱相匹配,可對靶材側棱進行拋光。所述拋光片第三部分330表面為平整的平面,能夠對靶材側壁表面進行拋光。因此所述靶材拋光裝置100能夠同時對靶材側壁表面及經圓角處理的側棱進行拋光,有助于提高拋光作業效率。
真空離子鍍的耐腐蝕性: 金屬零件是要銹蝕的,但如果零件上鍍有一層防蝕鍍層,就能防止零件生銹。由于離子鍍所獲得的鍍層致密度高,少,耐腐蝕性能好,并能沉積許多其他工藝至今不能沉積的優良防腐蝕鍍層。因此,離子鍍目前在鍍防腐蝕材料方面應用廣。如水上飛機的壁板及其他外表零件,可用此法鍍復防止鹽霧和海水腐蝕的防蝕鍍層;與鋁合金零件相配合的其他材料零件也可用此法鍍鋁,以防止電位差腐蝕。此外,隨著飛機飛行速度和高度的提高以及宇宙探索的進展,鈦合金的應用越來越多,如果仍象鋁合金零件那樣采用鍍鎘防腐蝕,使用中就有鎘脆的危險;但如若鍍以三氧化二鋁,則能完全滿足要求。不過電鍍等工藝是無法鍍這種材料的。離子鍍卻能大顯神通。到目前為止,適合于用離子鍍的防蝕材料除氧化鋁以外,還有鉻、鈦、鉭、不銹鋼等。所鍍的航空零件有螺釘、螺帽、鉚釘、銷釘、導管、接頭、陀螺轉子、精密齒輪、金屬密封環等。通常靶材為多晶結構,晶粒大小可由微米到毫米量級。
鋁鈧合金靶材(AlSc),尺寸按需求定制,比列按需求定制,含鈧比較高能做到AlSc45wt%,質量優異,雜質含量低,歡迎新老客戶來電咨詢洽談。江陰典譽新材料科技有限公司生產的金屬鈧,品質優異,**全球。鋁鈧合金生產歷史悠久,擁有豐富的經驗,目前推出的鋁鈧合金靶材已被微電子行業大型廠商采用。相關靶材清單如下:稀土合金靶材:鋁鈧AlSc;鈰釓CeGd;鈰鎂CeMg;鈰釤CeSm;鏑鈷DyCo;鏑鐵DyFe;釓銅GdCu;釓鐵GdFe;鈥銅HoCu;鑭鋁LaAl;鑭鎳LaNi;鋁釹AlNd;釹鐵NdFe;釹鐵硼NdFe;鎳鎂鈰NiMgCe;鎳鎂鐵鈰NiMgFeCe;鋱鏑鐵TbDyFe;鋱鐵TbFe;釔鋁YAl;釔銅YCu;釔鐵YFe;釔鎂YMg;釔鎳YNi;釔鋯ZrY關掉機器,把設備的濺射靶卸下來,靶附近的零件仔細清洗一下。南京Ba靶材價格
而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。山東Eu靶材
拋光片第二部分320呈弧狀,與經圓角處理的靶材側棱相匹配,可對靶材側棱進行拋光。所述拋光片第三部分330表面為平整的平面,能夠對靶材側壁表面進行拋光。因此所述靶材拋光裝置100能夠同時對靶材側壁表面及經圓角處理的側棱進行拋光,有助于提高拋光作業效率。由于操作人員同時對靶材側壁表面及經圓角處理的側棱進行拋光,因此操作人員施加在靶材側壁表面及側棱上的力度差異小,拋光工藝結束后,靶材側壁表面及經圓角處理的側棱表面具有相近似甚至完全相同的平整度,使得拋光表面具有良好的均一性,有助于改善濺射鍍膜質量。若分步驟對靶材側壁表面及經圓角處理的側棱表面進行拋光,操作人員在兩個步驟中施加的力度容易差別較大,造成拋光處理后,靶材側壁表面與側棱表面粗糙度差異大,使得靶材側壁表面與側棱表面交接處具有臺階。在濺射鍍膜過程中,所述臺階容易導致前列放電,影響濺射鍍膜的均一性,造成鍍膜質量差。山東Eu靶材
江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業生產濺射靶材和蒸發材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術,并通過與國內外**研發機構合作,整合各行業資源優勢,生產出多系列***濺射靶材產品。 公司目前主要生產金屬,合金,陶瓷三大類靶材產品。經過幾年的發展和技術積累,已經擁有:真空熱壓,冷壓燒結,真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術。另外也可根據客戶要求研發新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好。”的發展理念。