靶材材質對靶濺射電壓的影響 1. 在真空條件不變的條件下,不同材質與種類靶材對磁控靶的正常濺射電壓會產生一定的影響。 2. 常用的靶材(如銅Cu、鋁Al、鈦Ti?)的正常濺射電壓一般在400~600V的范圍內。 3. 有的難濺射的靶材(如錳Mn、鉻Cr等) 的濺射電壓比較高, 一般需>700V以上才能完成正常磁控濺射過程;而有的靶材(如氧化銦錫ITO) 的濺射電壓比較低,可以在200多伏電壓時實現正常的磁控濺射沉積鍍膜。 4. 實際鍍膜過程中,由于工作氣體壓力變化,或陰極與陽極間距偏小(使真空腔體內阻抗特性發生變化),或真空腔體與磁控靶的機械尺寸不匹配,同時選用了輸出特性較軟的靶電源等原因,導致磁控靶的濺射電壓(即靶電源輸出電壓)遠低于正常濺射示值,則可能會出現靶前存雖然呈現出很亮的光圈,就是不能見到靶材離子相應顏色的泛光,以至不能濺射成膜的狀況。如果不能及時調整反應氣體流量,化合物覆蓋面積增加的速率得不到***,濺射溝道將進一步被化合物覆蓋。武漢氟化鉀靶價錢
什么是靶材綁定主要從靶材綁定的定義,適用范圍和背靶的選擇三個方面來為大家介紹一下靶材綁定。一.靶材綁定的定義靶材綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要由三種方式:壓接、釬焊和導電膠。1.壓接:采用壓條,一般為了提高接觸的良好性,會增加石墨紙、Pb或In皮;2.釬焊:一般使用軟釬料的情況下,要求濺射功率小于20W/cm2,釬料常用In、Sn、In-Sn;3.導電膠:采用的導電膠要耐高溫,厚度在0.02-0.05um。二.綁定的適用范圍建議綁定的靶材:ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及燒結靶材;錫、銦等軟金屬靶;靶材太薄、靶材太貴的情況等。
武漢氟化鉀靶價錢靶中毒時,靶面形成一層絕緣膜,正離子到達陰極靶面時由于絕緣層的阻擋,不能直接進入陰極靶面。
塊狀金屬鈀能吸收大量氫氣,使體積脹大,變脆乃至破裂成碎片。化學性質不活潑,常溫下在空氣和潮濕環境中穩定,加熱至 800℃,鈀表面形成一氧化鈀薄膜。 二、主要產品: 1、鈀 顆粒 99.99% 常規尺寸:φ3*6mm;量大可定做 2、鈀 靶材 99.99%? 常規尺寸:φ50*1mm;φ60*3mm;φ76.2*4mm等,尺寸可定做 3、電鏡鈀片常規尺寸:φ57*0.1mm *0.2mm 4、鈀 箔片 99.9 2mm等,尺寸可定做 二、其他 : 打穿的鈀靶材、鈀殘料可提供回收再加工 。 回收流程如下: 稱重----清洗、提純---熔煉加工---靶材等成品 高純靶,靶靶材鈀顆粒,鈀粉,鈀靶材 產品編碼 產品名稱 規格 應用 Sc-I4006 鈧 x 真空熔煉 Li-G30610 鋰 顆粒 99.9% φ6*10mm 真空熔煉 Sr-I2011 鍶 塊狀 99% 氮氣包裝 真空熔煉 Mg-G3514 鎂 顆粒 99.93% 4mm類球形 真空熔煉 Mg-I3503 鎂 塊狀 99.95% 200g/塊 真空熔煉 Fe-G3533 鐵 顆粒 99.95% φ3*3mm 真空熔煉 Cr-G3501 mm 真空熔煉 Al-G4066 鋁 顆粒 99.99% φ6*6mm 真空熔煉 Cu-G5033 銅 顆粒 99.999% φ3*3mm 真空熔煉 Cu-G3533 銅 顆粒 99.95% φ3*3mm 真空熔煉 Ti-G3033 鈦 顆粒 99.9% φ3*3mm 真空熔煉 Ni-G3025 鎳 顆粒 99.9% φ2*5mm 真空熔煉 V-G3015 釩 顆粒 99.9% 樹枝狀
為高技術制高點的芯片產業中,濺射靶材是超大規模集成電路制造的必需原材料。它利用離子源產生的離子,在高真空中經過加速聚集,而形成高速度能的離子束流,轟擊固體表面,離子和固體表面原子發生動能交換,使固體表面的原子離開固體并沉積在基底表面,被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料,稱為濺射靶材。靶材是濺射過程的重點材料。集成電路中單元器件內部由襯底、絕緣層、介質層、導體層及保護層等組成,其中,介質層、導體層甚至保護層都要用到濺射鍍膜工藝,因此濺射靶材是制備集成電路的重點材料之一。集成電路領域的鍍膜用靶材主要包括鋁靶、鈦靶、銅靶、鉭靶、鎢鈦靶等,要求靶材純度很高,一般在5N()以上。靶材分類濺射靶材種類繁多,依據不同的分類標準,可以有不同的類別。濺射靶材可按形狀分類、按化學成份分類以及按應用領域分類。 磁控濺射金屬靶時,無法起輝的原因有很多,常見主要原因。
基于非晶IGZO真空材料的阻變存儲器與憶阻器 從真空材料結構及電子結構角度入手,將In、Ga 元素引入到ZnO 材料中形成InGaZnO(IGZO)非晶合金材料,由于球對稱的In 5s 軌道交疊較大,使得該材料具有形變對電學輸運影響較小且遷移率較高的特點。 利用上述材料優勢,采用室溫工藝,在塑料襯底上制作了高性能IGZO 柔性阻變存儲器。器件在連續十萬次大角度彎折測試中,性能穩定,存儲信息未丟失。變溫電學輸運特性的研究表明:阻變行為與氧離子移動密切相關,該存儲器的低阻導電通道由缺氧局域結構組成,而缺氧態的局部氧化導致了存儲器由低阻態向高阻態的轉變。 在此基礎上,利用IGZO 非晶薄膜的電學性質可調節性及其對激勵信號可作出動態反應等特點,設計并制備了由兩層不同含氧量IGZO 薄層構成的憶阻器件;實現了對人腦神經突觸多種基本功能的仿生模擬,涉及興奮性突觸后電流、非線性傳輸特性、長時程/短時程可塑性、刺激頻率響應特性、STDP 機制、經驗式學習等多個方面。
使進氣流量控制在產生靶中毒的前沿,確保工藝過程始終處于沉積速率陡降前的模式。武漢氟化鉀靶價錢
同時還進行反應濺射制備氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。武漢氟化鉀靶價錢
真空熔煉 Mn-F2701 電解錳 片狀 99.7% 1-10mm 真空熔煉 Co-F3501 電解鈷 片狀 99.95% 1-10mm 真空熔煉 Co-I3504 電積鈷 塊狀 99.95% 40*40*5mm 真空熔煉 Co-G3533 鈷 顆粒 99.95% φ3*3mm 真空熔煉 W-G3536 m 真空熔煉 Ta-G3533 鉭 顆粒 99.95% φ3*3mm 真空熔煉 Nb-G3533 鈮 顆粒 99.95% φ3*3mm 真空熔煉 Mo-G3533 m 真空熔煉 Si-I5011 多晶硅 塊狀 99.999% 不規則塊狀 真空熔煉 In-G4501 銦 顆粒 99.995% 1-3mm 真空熔煉 Zr-I2402 海綿鋯 塊狀 99.4% 3-25mm 真空熔煉 Hf-I2402 海 m 真空熔煉 Ge-G5006 鍺 顆粒 99.999% 3-5mm 真空熔煉 La-I3011 鑭 塊狀 99.9% 不規則塊狀 真空熔煉 Er-I3011 鉺 塊狀 99.9% 不規則塊狀 真空熔煉 Dy-I3011 鏑 塊狀 99.9% 不規則塊狀 真空熔煉 W-P3504 鎢 粉末 99.95% 325目 粉末冶金 Al-P3504 &nbs 5目 粉末冶金 TiC-P2514 碳化鈦 粉末 99.5% 3-5μm 粉末冶金 HfC-P2514 碳化鉿 粉末 99.5% 3-5μm 粉末冶金 ZrB2-P2519 二硼化鋯 粉末 99.5% 10μm 粉末冶金 Ti-F2612 .2*L 耗材配件 Ta-F3513 鉭 0*0.2mm 耗材配件 Nb-F3513 *100*0.2mm 耗材配件 合金定制 流程:1.客戶提供需要的配比、塊材大小和用量要求;
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江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業生產濺射靶材和蒸發材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術,并通過與國內外**研發機構合作,整合各行業資源優勢,生產出多系列***濺射靶材產品。 公司目前主要生產金屬,合金,陶瓷三大類靶材產品。經過幾年的發展和技術積累,已經擁有:真空熱壓,冷壓燒結,真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術。另外也可根據客戶要求研發新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好。”的發展理念。