PVD技術常用的方法PVD基本方法:真空蒸發、濺射、離子鍍(空心陰極離子鍍、熱陰極離子鍍、電弧離子鍍、活性反應離子鍍、射頻離子鍍、直流放電離子鍍),以下介紹幾種常用的方法。電子束蒸發電子束蒸發是利用聚焦成束的電子束來加熱蒸發源,使其蒸發并沉積在基片表面而形成薄膜。濺射沉積濺射是與氣體輝光放電相聯系的一種薄膜沉積技術。濺射的方法很多,有直流濺射、RF濺射和反應濺射等,而用得較多的是磁控濺射、中頻濺射、直流濺射、RF濺射和離子束濺射。RF(射頻)濺射RF濺射使用的頻率約為13.56MHz,它不需要熱陰極,能在較低的氣壓和較低的電壓下進行濺射。RF濺射不可以沉積金屬膜,而且可以沉積多種材料的絕緣介質膜,因而使用范圍較廣。電弧離子鍍陰極弧技術是在真空條件下,通過低電壓和高電流將靶材離化成離子狀態,從而完成薄膜材料的沉積,該技術材料的離化率更高,薄膜性能更加優異。在收緊靶材夾具時,請先用手轉緊一顆鏍栓。蘇州鑭鍶鈷氧靶作用
NCVM不導電膜是什么,它有哪些特點? NCVM又稱不連續鍍膜技術或不導電電鍍技術,是一種起緣普通真空電鍍的高新技術。真空電鍍,簡稱VM,是vacuum metallization的縮寫。它是指金屬材料在真空條件下,運用化學、物理等特定手段進行有機轉換,使金屬轉換成粒子,沉積或吸附在塑膠材料的表面,形成膜,也就是我們所謂的鍍膜。真空不導電電鍍,又稱NCVM,是英文Non conductive vacuum metallization的縮寫。它的加工工藝高于普通真空電鍍,其加工制程比普通制程要復雜得多。 NCVM特點是采用鍍出金屬及絕緣化合物等薄膜,利用各相不連續之特性,得到外觀有金屬質感且不影響到無線通訊傳輸之效果。首先要實現不導電,滿足無線通訊產品的正常使用;其次要保證“金屬質感”這一重要的外觀要求;通過UV涂料與鍍膜層結合,保證產品的物性和耐候性,滿足客戶需求。武漢鈦鋯靶費用影響靶中毒的因素主要是反應氣體和濺射氣體的比例,反應氣體過量就會導致靶中毒。
購買靶材的注意事項有哪些許多用戶在采購靶材時沒有從專業的角度去考慮,下面為大家指出購買靶材時需要注意的事項。
對于所有的金屬來說,純度是靶材的主要性能指標之一,靶材的純度對后期產品薄膜的性能影響很大。但是每一個產品對靶材的純度要求也有不相同的地方。
其次就是靶材的雜質含量。在經過一系列的靶材工藝處理后靶材固體中的雜質和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。因為用處不一樣,所以不同用途的靶材對不同雜質含量的要求也不同。比如現在的半導體工業用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。
有些陰極設計是與陽極的空隙較小,所以在安裝靶材時需要確保陰極與陽極之間沒有接觸也不能存在導體,否則會產生短路。
請參考設備商操作手冊中關于如何正確安裝靶材的相關信息。在收緊靶材夾具時,請先用手轉緊一顆鏍栓,再用手轉緊對角線上的另外一顆鏍栓,如此重復直到安裝上所有鏍栓后,再用工具收緊。七.濺射靶材的制備方法有哪些?濺射靶材是指通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜設備在適當工藝條件下濺射沉積在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。濺射靶材廣泛應用于裝飾、工模具、玻璃、電子器件、半導體、磁記錄、平面顯示、太陽能電池等眾多領域,不同領域需要的靶材各不相同。 由于所使用冷卻水的潔凈程度和設備運行過程中可能會產生的污垢會沉積在陰極冷卻水槽內。
什么是3D玻璃? 現在數碼產品使用的玻璃蓋板分為:2D玻璃,2.5D玻璃,還有3D玻璃。2D玻璃就是普通的純平面玻璃,沒有任何弧形設計;2.5D玻璃則為中間是平面的,但邊緣是弧形設計;而3D屏幕,無論是中間還是邊緣都采用弧形設計。 3D曲面玻璃的特色符合 3C 產品設計需求。3C 產品設計如智能手機、智能手表、平板計算機、可穿戴式智能產品、儀表板等陸續出現 3D 產品,已經明確引導3D曲面玻璃發展方向。3D曲面玻璃輕薄、透明潔凈、抗指紋、防眩光、堅硬、耐刮傷、耐候性佳等優點,可型塑做出3D多形狀外觀具有產品特殊設計新穎性與質感佳,又可增加弧形邊緣觸控功能帶來出色的觸控手感、無線充電機能,并能解決天線布置空間不足及增強收訊功能,使產品更美觀出色,產品設計差異化使消費者更能青睞。濺射過程不影響靶材合金、混合材質的比例和性質。無錫氟化鐿靶哪家好
不過在實際應用中,對靶材的純度要求也不盡相同。蘇州鑭鍶鈷氧靶作用
非晶硅薄膜的制備方法 非晶硅薄膜的制備方法有很多,如低壓化學氣相沉積(LPCVD),等離子體增強化學氣相沉積(PECVD),直流(射頻)磁控濺射等。生長多晶硅薄膜的方法有:化學氣相沉積包括低壓化學氣相沉積(LPCVD)、大氣壓強化學氣相沉積(APCVD)、等離子體化學氣相沉積(PCVD)以及液相生長、激光再晶化和固相晶化法(SPC)等。固相晶化法是指在(高溫)退火的條件下,使固態非晶硅薄膜的硅原子被、重組,從而轉化為多晶硅薄膜。它的特點是非晶固體發生晶化的溫度低于其熔融后結晶的溫度。常規高溫爐退火、快速熱退火、金屬誘導晶化、微波誘導晶化等都屬于固相晶化的范疇。本文采用PECVD 和磁控濺射方法在不同的條件下制備了a- Si: H 和a- Si 薄膜,并采取高溫退火和激光誘導晶化的方式,利用X- 射線衍射及拉曼光譜,對制備的非晶硅薄膜晶化過程進行了系統地研究。蘇州鑭鍶鈷氧靶作用
江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業生產濺射靶材和蒸發材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術,并通過與國內外**研發機構合作,整合各行業資源優勢,生產出多系列***濺射靶材產品。 公司目前主要生產金屬,合金,陶瓷三大類靶材產品。經過幾年的發展和技術積累,已經擁有:真空熱壓,冷壓燒結,真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術。另外也可根據客戶要求研發新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好。”的發展理念。