在上述具體實施方式中所描述的各個具體技術特征，在不矛盾的情況下，可以通過任何合適的方式進行組合，為了避免不必要的重復，本發明對各種可能的組合方式不再另行說明。

此外，本發明的各種不同的實施方式之間也可以進行任意組合，只要其不違背本發明的思想，其同樣應當視為本發明所公開的內容。

本發明涉及靶材領域，具體涉及一種長壽命靶材組件。

目前，現有的半導體濺射用ilc1013系列靶材的濺射壽命已經到了一個極限，為提高靶材的使用壽命，節省多次更換靶材的重復性。現有的技術都是通過磁場強度，把靶材表面設計成曲面來延長壽命，包括靶材本體及基體，所述基體的至少一面設有所述靶材本體，所述靶材本體是由高純度靶材合金粉末通過等離子弧噴涂機噴涂熔焊在所述基體上。所述基體與所述靶材本體的結合面為呈內凹的圓弧面。所述基體為矩形體或圓形。所述靶材的制造方法步驟如下：(1)準備合金粉體；(2)準備基體；(3)等離子轉移弧噴涂成型；(4)、清理被噴涂層表面，按照步驟(3)的要求再次噴涂處理，直至獲得要求厚度的靶材。本發明有益效果在于：一是生產的靶材無氣孔殘留；二是生產設備簡單、投資小；三是靶材可以修復再利用。 因為用處不一樣，所以不同用途的靶材對不同雜質含量的要求也不同。南通硫化鐵靶材定制

拋光片300包括拋光片部分310、拋光片第二部分320及拋光片第三部分330。所述拋光片部分310設置于所述頂板210的底部。所述拋光片第二部分320設置于所述頂板210與所述側板220的拐角處，且在所述拋光片部分310及拋光片第三部分330間平滑的過渡。所述拋光片第三部分330設置于所述側板220的內側面上，所述拋光片第三部分330表面與拋光片部分310表面垂直。拋光片第二部分320呈弧狀，與經圓角處理的靶材側棱相匹配，可對靶材側棱進行拋光。所述拋光片第三部分330表面為平整的平面，能夠對靶材側壁表面進行拋光。因此所述靶材拋光裝置100能夠同時對靶材側壁表面及經圓角處理的側棱進行拋光，有助于提高拋光作業效率。 上海碳酸鋰靶材通常是放熱反應，反應生成熱必須有傳導出去的途徑，否則，該化學反應無法繼續進行。

磁控濺射鍍膜生產ZnO∶Al（AZO）薄膜的工藝探討 目前主要的薄膜太陽能電池有：碲化鎘（CdTe）系薄膜太陽能電池、硒銦銅（CIS）系薄膜太陽能電池、非晶硅系薄膜太陽能電池、晶硅系薄膜太陽能電池。研究人員研制出了價格低廉、原材料豐富且性能穩定的絨面ZnO∶Al陷光結構來作為薄膜太陽能電池的前電極。具有彈坑狀絨面結構的AZO透明導電薄膜可以增強太陽光的散射作用，改善陷光效果，增加電池對太陽能的吸收量，提高薄膜太陽能電池的轉換效率。磁控濺射鍍膜工藝在玻璃襯底上制作AZO透明導電薄膜具有成膜速度快、膜層均勻、成膜面積大等優點，是較為合適的生產AZO薄膜的工藝方法。 目前由磁控濺射工藝生產透明導電薄膜AZO時所用靶材有兩種類型：①陶瓷AZO靶材；②合金鋅鋁靶材。應根據實際情況，選擇適合本企業的靶材產品。 作為一種新的TCO材料，AZO相對于ITO和FTO有很大優勢，要大規模產業化還必須在如何降低設備及工藝成本上進一步研發。從根本上說，AZO薄膜的結構性能的好壞決定了其光電性能的優劣，必須在工藝參數上多做研究，實現高質量和低成本的雙贏。

鈀，是銀白色過渡金屬，較軟，有良好的延展性和可塑性，能鍛造、壓延和拉絲。塊狀金屬鈀能吸收大量氫氣，使體積***脹大，變脆乃至破裂成碎片。   原 子 量:106.4   密 度（20℃）/g?cm-3:12.02   熔 點/℃:1552   蒸發溫度/℃:1460   沸 點/℃:3140   汽化溫度/℃:1317   比 熱 容（25℃）J?（g?K）-1:0.2443   電 阻 率（0℃）/uΩ?cm:10.6   熔 化 熱/kJ?mol-1:16.7   汽 化 熱/ kJ?mol-1:361.7   熱 導 率（0～100℃）/J?（cm?s?℃）-1:0.753   電阻溫度系數（0～100℃）/℃-1:0.0038   外 觀:銀白色   蒸 發 源（絲、片）:W（鍍Al2O3）   坩 堝:Al2O3   性 質:與難溶金屬形成合金，閃爍蒸發，在EB***內激烈飛濺，鈀是銀白色過渡金屬，較軟，有良好的延展性和可塑性，能鍛造、壓延和拉絲。塊狀金屬鈀能吸收大量氫氣，使體積***脹大，變脆乃至破裂成碎片。化學性質不活潑，常溫下在空氣和潮濕環境中穩定，加熱至 800℃，鈀表面形成一氧化鈀薄膜。  反應濺射生成物在靶表面、基片表面、和其他結構表面進行。

所述把手510包括桿狀部511和第二桿狀部512，所述桿狀部511的一端連接所述頂板210，另一端連接所述第二桿狀部512。所述桿狀部511延伸方向與所述頂板210表面相垂直，所述第二桿狀部512延伸方向與所述頂板210表面相平行。所述把手510的結構有利于操作人員牢固的抓握所述把手510，防止從所述把手510上滑脫。

在其他實施例中，所述固定板200內側面彎折處呈弧狀，所述防護層400彎折處呈弧狀，位于所述固定板200彎折處的所述拋光片300的厚度均勻。

此外，與前一實施例不同的是，所述拋光片部分310、拋光片第二部分320及拋光片第三部分330為一體成型。且所述拋光片部分310、拋光片第二部分320及拋光片第三部分330厚度相等。 靶材太薄、靶材太貴的情況等。 但下列情況綁定有弊端。上海碳酸鋰靶材

導電膠：采用的導電膠要耐高溫，厚度在0.02-0.05um。南通硫化鐵靶材定制

常見的PVD裝飾膜主要有幾大色系： 1.IP玫瑰金（rose gold）是一種黃金和銅的合金，由于其具有非常時尚、靚麗的玫瑰紅色彩，因而普遍用于首飾設計和加工。又稱粉色金（pink gold）、紅色金（red gold）。 2. IP金，用離子鍍膜的方式，讓靶材上的黃金沉積到要鍍的工件之上，一般由仿金層和表面金層兩層，表面金層的顏色與24K黃金一樣，厚度可以根據客戶的要求鍍不同的厚度。 3. 仿金系列（包括仿金色和仿玫瑰金），不含黃金，一般成份是由TiN TiCN ZrN ZrCN等陶瓷化合物組成，但很難達到真金的亮度。 4. 銀色系列，一般是鉻的化合物，顏色深淺可調整，可分冷色系列和暖色系列，冷色系列帶藍調，金屬光感好，暖色系列帶黃調，接近不銹鋼本色。 5. 黑色系列，一般是成份是金屬的碳化物，顏色深淺可以調整，色調根據客戶的要求也可以調整，不同的金屬碳化物具有不同的特性和色調，可以根據客戶的需要選擇不同的膜系。 6. 藍色系列，有天空藍，冰藍色，海洋藍，深藍等等，不同色系成份也有所不一樣。南通硫化鐵靶材定制

江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市，是一家專業生產濺射靶材和蒸發材料的公司，濺射靶材充分借鑒國外的先進技術，并通過與國內外**研發機構合作，整合各行業資源優勢，生產出多系列***濺射靶材產品。 公司目前主要生產金屬，合金，陶瓷三大類靶材產品。經過幾年的發展和技術積累，已經擁有：真空熱壓，冷壓燒結，真空熔煉，熱等靜壓，等離子噴涂等技術。另外也可根據客戶要求研發新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業提供***的靶材：平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺，冷壓燒結爐一臺，真空熔煉設備兩臺，等靜壓設備一臺，等離子噴涂兩套，綁定平臺兩套，各類機加工設備七臺，檢驗設備若干，確保出廠的每件產品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承：“一切以客戶的需求為導向，客戶的所有需求一次做好。”的發展理念。