也可在使懸掛式起重機30從存儲庫區域10a向規定區域(10b、10c、10d)移動的情況下使用第二機架內環繞軌道42,在使懸掛式起重機30從規定區域向存儲庫區域10a移動的情況下使用機架內環繞軌道41。另外,也可在使懸掛式起重機30從存儲庫區域10a向規定區域(10b、10c、10d)移動的情況下,以及在使懸掛式起重機30從規定區域向存儲庫區域10a移動的情況下,使用相同的機架內環繞軌道。另外,在法律允許的范圍內,引用作為日本申請的特愿2017-128569以及本說明書所引用的全部的文獻的內容并作為正文記載的一部分。附圖標記的說明lp…裝載端口、mn…維護裝置;st…暫存區;tl…處理裝置;2…物品;10…存儲庫;10a…存儲庫區域;10b…存儲庫區域(規定區域);10c…維護區域(規定區域);10d…規定區域;10f…作業者進入禁止區域;10g…作業者通路;11…保管部;12…交接口;20,20c,20d…起重機軌道;30…懸掛式起重機;31…起重機用行駛部;32…桅桿;33…升降臺;34…物品移載部;35…升降驅動部;40…高架搬運車軌道;41…機架內環繞軌道;41a、42a…外繞軌道;41b、42b…內繞軌道;41c、42c…連接軌道;42…第二機架內環繞軌道;43…機架間軌道;44…第二機架間軌道;50…高架搬運車。梁溪區寫字樓商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。江蘇長短途商鋪搬運服務
起重機用行駛部31以及搬運車用行駛部51均能在起重機軌道20以及高架搬運車軌道40行駛。這樣,起重機用行駛部31以及搬運車用行駛部51是共用的結構,所以不需要以與起重機用行駛部31及搬運車用行駛部51不同的其他結構進行制造,能夠減少懸掛式起重機30以及高架搬運車50的制造成本。此外,可以由一臺懸掛式起重機30使用多臺(例如兩臺)起重機用行駛部31。根據該結構,能夠經由桅桿32適當地保持作為重量物的載置部39以及物品2等。起重機用行駛部31以及搬運車用行駛部51具備共用的車輪71a以及供車輪71a安裝的行駛部主體71b。多個車輪71a分別與起重機軌道20或者高架搬運車軌道40的下方的內表面抵接。供多個車輪71a安裝的行駛部主體71b具備用于驅動車輪71a的行駛驅動部、或者各種傳感器。起重機軌道20以及高架搬運車軌道40具備供電部70。供電部70具有供電導軌75、以及被設置于供電導軌75的非接觸供電線76。供電部70被配置于起重機軌道20以及高架搬運車軌道40的下方,沿著起重機軌道20以及高架搬運車軌道40連續地或者斷續地設置。另外,在懸掛式起重機30的安裝部36以及高架搬運車50的安裝部52a設置有受電部73。受電部73經由非接觸供電線76而受電,向行駛部主體71b等供給電力。濱湖區寫字樓商鋪搬運公司電話濱湖區正規商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
但物品2也可是foup以外的物品。另外,搬運系統100也能夠應用于半導體制造領域以外的設備,物品2也可以是由設置搬運系統100的設備處理的各種物品。如圖1所示,搬運系統100具有:存儲庫10、高架搬運車軌道40、高架搬運車50、以及第二連結軌道60a、60b以及控制裝置80。存儲庫10被配置于存儲庫區域10a以及其它存儲庫區域(規定區域)10b內。圖2是表示存儲庫區域10a的一個例子的圖。如圖2所示,存儲庫10具備:保管部11、交接口12、起重機軌道20以及懸掛式起重機30。保管部11在上下方向被設置多層,并且在沿著懸掛式起重機30的移動方向的左右方向排列的狀態下保管物品2。保管部11使用能夠載置物品2的貨架部等。也可在載置物品2的貨架部設置有進入到被設置于物品2的底面的槽部的多個銷。該銷進入到物品2的槽部,由此物品2被定位于貨架部。多個保管部11在各存儲庫區域10a、10b中被設置于三個位置,但并不限于該結構,保管部11的數量是任意的。交接口12作為在與高架搬運車50等之間進行物品2的交接的場所設置。交接口12在存儲庫區域10a中設置多個。起重機軌道20沿著保管部11以及交接口12設置。
在半導體制造工廠等制造工廠中,配置有保管收納半導體晶圓的foup或者收納中間掩膜的中間掩膜盒等物品的存儲庫。存儲庫具備用于在多個保管架與交接口之間移載物品的起重機。作為該起重機公知有在被配置于頂棚的軌道上行駛的懸掛式起重機,為了提高物品的移載效率,提出了兩種懸掛式起重機在共用的軌道上行駛的構成(例如,參照文獻1)。文獻1:國際公開第2016/178347號對于文獻1所記載的存儲庫,兩種懸掛式起重機雖在共用的軌道上行駛,但其行駛范圍被限制在配置了存儲庫的一個存儲庫區域內。因此,在使該懸掛式起重機向其它的存儲庫區域移動時,或者為了維護而使懸掛式起重機向維護區域移動時,需要從軌道取下并搬運懸掛式起重機。但是,從軌道取下懸掛式起重機的作業麻煩且費事,作業者的負擔大。并且,由于使用特殊的搬運設備搬運已取下的懸掛式起重機,所以不僅成本提高,而且存在搬運也需要時間這樣的問題。技術實現要素:本發明目的是提供一種能夠容易地使懸掛式起重機在存儲庫區域內與規定區域之間移動而不使用特殊的搬運設備的搬運系統以及搬運方法。本發明的搬運系統具備:被配置于存儲庫區域內的存儲庫。新吳區短途商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
、第二桅桿42a、42b形成為中空或者實心的棒狀,截面形成為圓形狀、橢圓形狀、長圓形狀、或者四邊形狀等多邊形狀。、第二桅桿42a、42b的下端被設定為從地板面隔開規定間隔的狀態。在圖4中,在、第二行駛部41a、41b的下方經由安裝部46安裝有上部支承體47。、第二桅桿42a、42b安裝于上部支承體47的下表面側,并成為從、第二行駛部41a、41b懸掛的狀態。例如可以使用螺釘和螺母等緊固部件,也可以使用焊接等在上部支承體47安裝、第二桅桿42a、42b。此外,、第二桅桿42a、42b可以是一根,例如,可以分別設置于、第二行駛部41a、41b的行駛方向的前后。另外,、第二起重機40a、40b使用兩臺、第二行駛部41a、41b(參照圖2和圖3)。兩臺、第二行駛部41a、41b沿行駛方向排列配置,被上部支承體47連結。、第二桅桿42a、42b被兩臺、第二行駛部41a、41b支承。這樣,能夠利用兩臺、第二行駛部41a、41b可靠地支承作為重物的、第二桅桿42a、42b。此外,、第二起重機40a、40b并不限定于使用兩臺、第二行駛部41a、41b,也可以使用1臺或者3臺以上的、第二行駛部41a、41b。起重機40a的行駛部41a能夠從區段內頂棚軌道11駛入區段間頂棚軌道地進行行駛。即。惠山區品質商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。江蘇長短途商鋪搬運服務
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其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅動部、以及使升降驅動部向側方突出的橫向伸出機構,上述行駛部沿著區段內頂棚軌道、第二區段內頂棚軌道、以及區段間頂棚軌道行駛,其中,起重機在處理裝置的裝載端口、保管部、以及交接端口之間搬運物品,第二起重機在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運物品,高架搬運車在交接端口與第二交接端口之間搬運物品。根據本發明所涉及的搬運系統以及搬運方法,通過、第二起重機進行區段內的物品的搬運,從而能夠增加物品的保管數量,通過高架搬運車進行區段間的物品的搬運,從而能夠抑制與頂棚軌道下方的設備的干擾。另外,由于能夠防止沿著區段內頂棚軌道行駛的、第二起重機的、第二桅桿與裝載端口、、第二保管部、以及、第二交接端口的干擾,并且將區段內頂棚軌道由、第二起重機和高架搬運車共享,因此無需分別對應地另外設置頂棚軌道,能夠減少頂棚軌道的鋪設所需要的成本。另外,在、第二起重機是懸掛式起重機的情況下,由于無需在與、第二起重機對應的地上側(地板面側)設置軌道,因此能夠以低成本進行軌道的設置。另外,在區段內頂棚軌道和第二區段內頂棚軌道是環繞軌道。江蘇長短途商鋪搬運服務
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