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    也更換了更整潔的內層體壁21，減小了對晶圓30的污染，提高產品質量。進一步的，所述工藝腔體10底部設有移動塊，所述移動塊帶動各所述承載段11和各所述軌道段12環繞所述工藝腔體10旋轉移動或沿所述工藝腔體10中心徑向移動。可以了解，所述替換體壁段23可以追隨所述軌道段12移動，所述內層體壁段22可以追隨所述承載段11移動。在一個實施例中，所述軌道段12為**少一層設置，所述軌道段12的數目小于所述承載段11的數目，以預留所述承載段11的活動位置。更進一步的，所述替換體壁段23的數目為低于或相等所述內層體壁段22數目的一半，且所述替換體壁段23的數目相等所述軌道段12的數目，以預留出內層體壁段22移動到**的活動位置。在本實施例中，當需換出其中隨意一段內層體壁段22時，則移動該內層體壁段22的承載段11，使之移動至軌道段12的位置，所述內層體壁段22則變成替換體壁段23，此時則空缺出一段內層體壁段22的位置，然后移動任意一段干凈的替換體壁段23所在的軌道段12至空缺的內層體壁段22所在的承載段11處，所述替換體壁段23則變成內層體壁段22，以使替換之后的內層體壁段22圍合能形成原有的內層體壁21，則完成一次內層體壁段22的替換。可以明白，在替換過程中。湖北什么是開體花蘭公司開體花蘭可用于索具與末端配件之間，只起連接作用。

    所述移動塊帶動各所述承載段和各所述軌道段環繞所述工藝腔體轉動移動或沿所述工藝腔體中心徑向移動。可選的，在所述工藝腔體中，所述移動塊與任一所述承載段或任一所述軌道段為總體構造。可選的，在所述工藝腔體中，所述軌道段為**少一層設置，所述軌道段的數目小于所述承載段的數目，以預留所述承載段的活動位置。可選的，在所述工藝腔體中，所述替換體壁段的數目為低于或相等所述內層體壁段數目的一半，且所述替換體壁段的數目相等所述軌道段的數目。可選的，在所述工藝腔體中，所述工藝腔體還包括**少一個噴嘴，所述噴嘴設立于所述軌道段的上方。可選的，在所述工藝腔體中，所述噴嘴的數目相等所述替換體壁段的數目。可選的，在所述工藝腔體中，所述工藝腔體內還包括一吸盤以及**少三根支撐桿，三根所述支撐桿成三角設立于所述吸盤內，能在所述吸盤內升高降低。可選的，在所述工藝腔體中，所述工藝腔體還包括一排水管和一排氣管，所述排水管設立于所述工藝腔體的底部。可選的，在所述工藝腔體中，在所述軌道段外還設立有一層包裹層。在本實用新型所提供的工藝腔體中，通過將所述內層體壁拆分為多個內層體壁段，并在內層體壁**設立替換體壁段。

    在半導體制造工藝中，有多種工藝腔體是運用旋轉的方法展開工作，但是旋轉就避免不住將剩余的化學物質甩到裹腔體的內壁上。現有技術中多數是對工藝腔體的體壁展開定期維護與保養，需將整個工藝腔體的體壁拿下去展開清洗，同時需相應的體壁備用更換，致使減低了生產效率。為了有效性的支配上述疑問，本實用新型提供了一種工藝腔體，能夠自動更換及清洗腔體的體壁，且提高生產效率。如圖1所示，圖1為本實用新型實施例提供的工藝腔體側面剖視圖。本實用新型提供了一種工藝腔體10，包括：內層體壁21，由所述內層體壁21平分而成的內層體壁段22；由承載所述內層體壁21的承載物平分而成的承載段11，所述內層體壁段22的數目和所述承載段11的數目等于；在所述內層體壁21**設立的**少一個替換體壁段23，所述替換體壁段23與所述內層體壁段22的形狀及尺寸相同；承載并移動所述替換體壁段23的軌道段12；所述承載段11和所述軌道段12形狀和尺寸相同，所述承載段11和所述軌道段12能交換位置。本實用新型通過將所述內層體壁21拆分為多個內層體壁段22，并在內層體壁21**設立替換體壁段23，用以適時替換被水污染的內層體壁段22，從而可以分批次對內層體壁段22展開替換，既不影響生產。邯鄲哪家開體花蘭比較便宜。

    花籃螺絲編輯鎖定花籃螺釘，又稱為花蘭螺絲、索具、緊線扣，用來捆緊固鋼絲繩等。花籃螺釘用以拉緊鋼絲繩，并起調節松緊功用。其中OO型用以不時常拆毀的場合，CC型用以不時拆除的場合，CO型用以一端時常拆毀另一端不時常拆毀的場合。中文名花籃螺絲別名花蘭螺絲，索具，緊線扣型號OO型，CC型，CO型表面處理電鍍，熱鍍材質Q235B，45號鋼，40Cr，特點易加工、成本低、實用性強目錄1花籃螺絲概述2規格信息花籃螺絲花籃螺絲概述編輯花籃螺絲花籃螺釘,又稱為花蘭螺絲、索具、緊線扣,用來捆緊固鋼絲繩等.花籃螺釘用以拉緊鋼絲繩,并起調節松緊功用.其中OO型用以不不時拆毀的場合,CC型用以不時拆除的場合,CO型用以一端時常拆毀另一端不時常拆除的場合.花籃螺釘根據工藝成型方法不同主要分成鑄造瑪鋼、平常碳鋼、鍛制三種，現市場上主要為一般而言碳鋼和鍛制兩種，平常碳鋼花蘭螺絲主要用以不更主要場合靜止捆安定情景，如園林防風、農業大棚等。鍛制花蘭螺絲用以提升、貨運捆綁加固。如物流中貨物捆綁、吊索連接、鋼結構索桿連接件等。表面處理：一般為電鍍、熱鍍兩種，主要起到以防銹蝕的效用。花籃螺絲規格信息編輯花籃螺栓運用絲杠展開伸縮，能調整鋼絲繩的松緊。邯鄲洺洲緊固件廠家開體花蘭價格查詢。特價開體花蘭

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    也可以使所述噴嘴13的數目相等所述替換體壁段23的數目。一般而言的，所述工藝腔體10內還包括一被轉動軸14承載的吸盤15以及**少三根支撐桿16，三根所述支撐桿16成三角設立于所述吸盤15內，能在所述吸盤15內升高下滑，其中所述轉動軸14帶動所述吸盤15旋轉，所述吸盤15用以吸附晶圓30，三根所述支撐桿16用以便捷所述晶圓30的放置或取出。進一步的，所述工藝腔體10還包括一排水管17和一排氣管18，用以排出所述工藝腔體10內的廢氣和廢水等，所述排水管17推薦設立于所述工藝腔體10的底部，所述排氣管18可以座落所述工藝腔體10的任意位置。所述軌道段12外還設立有一層包裹層19，所述包裹層19用以裹所述工藝腔體10內的所有構造。在一個實施例中，參考圖2，圖2為本實用新型另一實施例提供的工藝腔體俯視圖。例如更換ab段的所述內層體壁段22的步驟如下：s1：將ab段外側的替換體壁段23移動至第二軌道段42上；s2：ab段的所述內層體壁段22移動至***軌道段41上，接著轉動至所述***軌道段41上的bc段或af段；s3：將所述第二軌道段42ab段上的替換體壁段23連續移動至內層體壁21處，則替換成功；s4：迅速將移動至***軌道段41上的bc段或af段的內層體壁段22。特價開體花蘭

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