現變成替換體壁段23)移動至噴嘴13下方開展清洗，即自動清洗成功。綜上，在本實用新型所提供的工藝腔體中，通過將所述內層體壁拆分為多個內層體壁段，并在內層體壁**設立替換體壁段，用以適時替換被水污染的內層體壁段，從而可以分批次對內層體壁段開展替換，既不影響生產，也更換了更干凈的內層體壁，縮減了對晶圓的污染，提高產品質量。并且，本實用新型通過在所述軌道段上方設立一個或多個噴嘴，從而實現自動清洗的機能，且不須取出內層體壁段或替換體壁段，將原手動清洗內層體壁轉變為自動更換清洗，提高了生產效率。上述實施例*用以示例性地解釋本實用新型的法則及其效用，而非用以限制本實用新型。任何所屬技術領域的技術人員，在不違反本實用新型的精神上及范疇下，均可對本實用新型揭露的技術方案和技術內容做任何形式的等同替換或修改等變動，而仍屬于本實用新型的保護范圍之內。洺洲緊固件廠家開體花蘭設計。福建熱鍛開體花蘭定制

    本實用新型關乎半導體裝置領域，尤為關乎一種工藝腔體。背景技術：在半導體制造工藝中，有多種工藝腔體是運用旋轉的方法開展工作，但是旋轉就避免不住將剩余的化學物質甩到裹腔體的內壁上。以光刻工藝舉例來說解釋：光刻膠涂布是光刻的舉足輕重單元，但是在光刻膠涂布過程中，剩余的光刻膠被甩出晶圓表面，它們中的一部分不會經由管路排走，而是匯聚在工藝腔體的內壁。匯聚在工藝腔體內壁的光刻膠在干燥之后會演變為顆粒物，在涂布下一片晶圓時，高速轉動的晶圓會產生擾流并在晶圓的邊沿區域形成細微的真空，這些真空會吸引匯聚在工藝腔體內壁的顆粒物，**后散布在晶圓的表面，致使晶圓產生缺點。現有技術中會對工藝腔體的體壁開展定期維護與保養，需將整個工藝腔體的體壁拿下去展開清洗，同時需相應的體壁備用更換，引致減低了生產效率。因此，有必要提供一種可自動更換及清洗體壁的工藝腔體。技術實現元素：本實用新型的目的在于提供一種新的工藝腔體，能夠自動更換及清洗腔體的體壁，從而提高生產效率。為了達到上述目的，本實用新型提供了一種工藝腔體，包括：內層體壁，由所述內層體壁平分而成的內層體壁段；由承載所述內層體壁的承載物平分而成的承載段。福建哪里有開體花蘭選我們洺洲緊固件開體花蘭品牌。

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    用以即時替換被水污染的內層體壁段，從而可以分批次對內層體壁段開展替換，既不影響生產，也更換了更干凈的內層體壁，減小了對晶圓的污染，提高產品質量。附圖說明圖1為本實用新型實施例提供的工藝腔體側面剖視圖。圖2為本實用新型實施例提供的工藝腔體俯視圖。附圖標記說明：10-工藝腔體；11-承載段；12-軌道段；13-噴嘴；14-轉動軸；15-吸盤；16-支撐桿；17-排水管；18-排氣管；19-包裹層；21-內層體壁；22-內層體壁段；23-替換體壁段；30-晶圓；41-***軌道段；42-第二軌道段。具體實施方式下面將結合示意圖對本實用新型的實際實施方法開展更詳盡的描述。根據下列描述，本實用新型中的優點和特點將更明了。需解釋的是，附圖均使用十分簡化的形式且均采用非精細的比重，*用以簡便、清晰地輔助解釋本實用新型實施例的目的。在下文中，術語“***”“第二”等用以在相近元素之間展開區分，且不一定是用以敘述特定順序或時間依次。要了解，在合適狀況下，如此用到的這些術語可替換。相近的，如果本文所述的方式包括一系列步驟，且本文所顯現的這些步驟的次序并非須要是可執行這些步驟的***次序，且一些所述的步驟可被略去和/或一些本文未敘述的其他步驟可被添加到該方式。福建熱鍛開體花蘭定制

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