光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來，其無需軸向掃描，直接由波長對應(yīng)軸向距離信息，從而大幅提高測量速度。而基于光譜共焦技術(shù)的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度、非接觸式的新型傳感器，精度理論上可達 nm 量級。由于光譜共焦傳感器對被測表面狀況要求低，允許被測表面有更大的傾斜角，測量速度快，實時性高，迅速成為工業(yè)測量的熱門傳感器，大量應(yīng)用于精密定位、薄膜厚度測量、微觀輪廓精密測量等領(lǐng)域。本文在論述光譜共焦技術(shù)原理的基礎(chǔ)上，列舉了光譜共焦傳感器在幾何量計量測試中的典型應(yīng)用，探討共焦技術(shù)在未來精密測量的進一步應(yīng)用，展望其發(fā)展前景。光譜共焦技術(shù)將對未來的科學(xué)研究和產(chǎn)業(yè)發(fā)展產(chǎn)生重大影響。寧波光譜共焦生產(chǎn)廠家哪家好

光譜共焦測量技術(shù)由于其具有測量精度高、測量速度快、可以實現(xiàn)非接觸測量的獨特優(yōu)勢而被大量應(yīng)用于工業(yè)級測量。讓我們先來看一下光譜共焦技術(shù)的起源和光譜共焦技術(shù)在精密幾何量計量測試中的成熟典型應(yīng)用。共焦顯微術(shù)的概念首先是由美國的 Minsky 于 1955年提出, 其利用共焦原理搭建臺共焦顯微鏡, 并于1957年申請了專利。自20世紀(jì)90年代,   隨著計算機技術(shù)的飛速發(fā)展,   共焦顯微術(shù)成了研究的熱點，得到快速的發(fā)展。光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來,其無需軸向掃描, 直接由波長對應(yīng)軸向距離信息, 從而大幅提高測量速度。   而基于光譜共焦技術(shù)的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度、 非接觸式的新型傳感器,   目前精度上可達nm量級。 共焦測量術(shù)由于其高精度、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實時性高、對被測表面狀況要求低、以及高分辨率的獨特優(yōu)勢，迅速成為工業(yè)測量的熱門傳感器，在生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、 表面工程研究、 精密測量等領(lǐng)域得到大量應(yīng)用。嘉興光譜共焦技術(shù)指導(dǎo)光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的變形過程進行精確測量，對于研究材料的變形行為具有重要意義。

硅片柵線的厚度測量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器，TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度，±0.02% of F.S.的線性精度，10kHz的測量速度，以及±60°的測量角度，能夠適應(yīng)鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面，支持485、USB、以太網(wǎng)、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口。。我們主要測量太陽能光伏板硅片刪線的厚度，所以我們這次用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量。柵線測量方法：首先我們將需要掃描測量的硅片選擇三個區(qū)域進行標(biāo)記如圖1，用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測量，柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運動平臺掃描測量（由于柵線不是一個平整面，自身有一定的曲率，對測量區(qū)域的選擇隨機性影響較大）

隨著機械加工水平的不斷發(fā)展，各種的微小的復(fù)雜工件都需要進行精密尺寸測量與輪廓測量，例如：小工件內(nèi)壁溝槽尺寸、小圓倒角等的測量，對于某些精密光學(xué)元件可以進行非接觸的輪廓形貌測量，避免在接觸測量時劃傷光學(xué)表面，解決了傳統(tǒng)傳感器很難解決的測量難題。一些精密光學(xué)元件也需要進行非接觸的輪廓形貌測量，以避免接觸測量時劃傷光學(xué)表面。這些用傳統(tǒng)傳感器難以解決的測量難題，均可用光譜共焦傳感器搭建測量系統(tǒng)以解決。通過自行塔建的二維納米測量定位裝置，選用光譜其焦傳感器作為測頭，實現(xiàn)測量超精密零件的二維尺寸，滾針對渦輪盤輪廓度檢測的問題，利用光譜共焦式位移傳感器使得渦輪盤輪廓度在線檢測系統(tǒng)的設(shè)計能夠得以實現(xiàn)。與此同時，在進行幾何量的整體測量過程中，還需要采取多種不同的方式對其結(jié)構(gòu)體系進行優(yōu)化。從而讓幾何尺寸的測量更為準(zhǔn)確。光譜共焦技術(shù)可以測量位移，利用返回光譜的峰值波長位置。

客戶一直在使用安裝在潔凈室的較好的激光測量設(shè)備檢查對齊情況，每個組件大約需要十分鐘才能完成必要的對齊檢查，這太長了。“因此，客戶要求我們開發(fā)一種特殊用途的測試和組裝機器，以減少校準(zhǔn)檢查所需的時間。現(xiàn)在，我們使用機器人搬運系統(tǒng)將閥門、閥瓣和銷組件轉(zhuǎn)移到專門的自動裝配機中。為了避免由于移動機器人的振動引起的任何測量干擾，我們將光譜共焦位移傳感器安裝在單獨的框架和支架上，盡管仍然靠近要測量的部件。該機器現(xiàn)已經(jīng)過測試和驗證。光譜共焦技術(shù)的精度可以達到納米級別。寶山區(qū)光譜共焦招商加盟

光譜共焦技術(shù)可以在環(huán)境保護中發(fā)揮重要作用。寧波光譜共焦生產(chǎn)廠家哪家好

光譜共焦位移傳感器原理，由光源、透鏡組、控制箱等組成。光源發(fā)出1束白光，透鏡組先將白光發(fā)散成一系列波長不同的單色光，然后經(jīng)同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成1個連續(xù)的焦點組，每個焦點的單色光波長對應(yīng)1個軸向位置。當(dāng)樣品處于焦點范圍內(nèi)時，樣品表面將聚焦后的光反射回去。這些反射回來的光經(jīng)過與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過狹縫進入控制箱中的單色儀。因此，只有焦點位置正好處于樣品表面的單色光才能聚焦在狹縫上。單色儀將該波長的光分離出來，由控制箱中的光電組件識別并 得到樣品的軸向位置。采用高數(shù)值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達到較高分辨率，滿足薄膜厚度分布測量要求。寧波光譜共焦生產(chǎn)廠家哪家好

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