光譜共焦傳感器作為一種新型高精密傳感器，其測 量精密度可達 土 0.02%。開始產生在法國的，相較于光柵尺、容柵 或電感器電臺廣播、電感器差動變壓器式偏移傳感器，其在偏移測量方面的優勢更加明顯?，F如今，因為光譜共焦傳感器擁有高精密、，因而，其在幾何量高精密測量層面的應用愈來愈普遍，如漫反射光及平面圖反射面的偏移測量、平整度測量、塑料薄膜及透明材料薄厚測量、外表粗糙度測量等。在偏移測量層面，自光譜共焦傳感器面世至今，它基本功能就是測量偏移。馬敬等對光譜共焦傳感器的散射目鏡進行分析，制定了散射目鏡的構造，提升了光譜共焦傳感器的各項特性；畢 超 等 利 用光譜共焦傳感器完成了對飛機發動機電機轉子葉子空隙的高精密、高效率的測量。在平整度測量層面，位恒政等對光譜共焦傳感器的檢測誤差進行分析，在其中，對其平面圖檢測誤差科學研究時，利用光譜共焦傳感器對圓平晶的平整度開展測量，獲得了平面圖檢測誤差值。光譜共焦技術可以在不破壞樣品的情況下進行分析。高采樣速率光譜共焦產品基本性能要求

硅片柵線的厚度測量方法我們還用創視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器，TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠實現0.025 μm的重復精度，±0.02% of F.S.的線性精度，10kHz的測量速度，以及±60°的測量角度，能夠適應鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面，支持485、USB、以太網、模擬量的數據傳輸接口。。我們主要測量太陽能光伏板硅片刪線的厚度，所以我們這次用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量。柵線測量方法：首先我們將需要掃描測量的硅片選擇三個區域進行標記如圖1，用光譜共焦C1200單探頭單側測量，柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運動平臺掃描測量（由于柵線不是一個平整面，自身有一定的曲率，對測量區域的選擇隨機性影響較大）高頻光譜共焦技術指導光譜共焦技術主要來自共焦顯微術，早期由美國學者Minsky提出。

玻璃基板是液晶顯示屏必不可少的零部件之一，一張液晶顯示屏要用二張玻璃基板，各自做為底層玻璃基板和彩色濾底版應用。玻璃基板的品質對控制面板成品屏幕分辨率、透光性、厚度、凈重、可視角度等數據都是有關鍵危害。玻璃基板是組成液晶顯示屏元器件一個基本上構件。這是一種表層極為平坦的方法生產制造薄玻璃鏡片。現階段在商業上運用的玻璃基板，其厚度為0.7 mm及0.5m m，且將要邁進特薄（如0.4mm）厚度之制造。大部分，一片TFT-LCD控制面板需用到二片玻璃基板。因為玻璃基板厚度很薄，而厚度規格監管又比較嚴格，一般在0.01mm的公差，關鍵清晰地測量夾層玻璃厚度、漲縮和平面度。選用創視智能自主生產研發的高精度光譜共焦位移傳感器可以非常好的處理這一難題，一次測量就可以完成了相對高度值、厚度系數的收集，再加上與此同時選用多個感應器測量，不僅提高了高效率，并且防止觸碰測量所造成的二次損害。

在塑料薄膜及透明材料薄厚測量層面，朱萬彬等闡述了光譜共焦傳感器在測量全透明平板電腦的平整度時，由全透明平板電腦的折光率不同而引進的測量誤差并進行補償；曹太騰等基千三維數據 測量的機器視覺技術，利用光譜共焦傳感器對透明材料薄厚及弧形玻璃曲面薄厚進行檢測。在外表粗糙度測量層面，沈雪琴等闡述了不一樣 方式測量外表粗糙度時優缺點 ，選擇了根據光譜共焦傳感器的測量方式并進行了有關試驗，為外表粗糙度的高精密測量提供了一種新方法；林杰俊等利用光譜共焦法測量外表粗糙度樣塊的表面粗糙度，并闡述了其 測量不確定度。文中利用  小二乘法測算校準誤差并進行了離散系統誤差測算，減少光譜共焦傳感器校準后的誤差，并在不同精密度標準器下，探尋光譜共焦傳感器的校準誤差的變化情況，對今后對光譜共焦傳感器的應用及科學研究擁有重要意義。激光共焦掃描顯微鏡將被測物體沿光軸移動或將透鏡沿光軸移動。

靶丸內表面輪廓是激光核聚變靶丸的關鍵參數，需要精密檢測。本文首先分析了基于白光共焦光譜和精密氣浮軸系的靶丸內表面輪廓測量基本原理，建立了靶丸內表面輪廓的白光共焦光譜測量方法。此外，搭建了靶丸內表面輪廓測量實驗裝置，建立了基于靶丸光學圖像的輔助調心方法，實現了靶丸內表面輪廓的精密測量，獲得了準確的靶丸內表面輪廓曲線; 對測量結果的可靠性進行了實驗驗證和不確定度分析，結果表明，白光共焦光譜能實現靶丸內表面低階輪廓的精密測量.基于白光LED的光譜共焦位移傳感器是一種新型的傳感器。小型光譜共焦產品使用誤區

光譜共焦技術在航空航天領域可以用于航空發動機和航天器部件的精度檢測。高采樣速率光譜共焦產品基本性能要求

三坐標測量機是加工現場常用的高精度產品尺寸及形位公差檢測設備，其具有通用性強，精確可靠等優點。本文面向一種特殊材料異型結構零件內曲面的表面粗糙度測量要求，提出一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術的表面粗糙度集成在線測量方法，利用工業現場常用的三坐標測量機平臺執行輪廓掃描，并記錄測量掃描位置實時空間橫坐標，根據空間坐標關系，將測量掃描區域的微觀高度信息和掃描采樣點組織映射為微觀輪廓，經高斯濾波處理和評價從而得到測量對象的表面粗糙度信息。高采樣速率光譜共焦產品基本性能要求

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