靶丸內表面輪廓是激光核聚變靶丸的關鍵參數，需要精密檢測。本文首先分析了基于白光共焦光譜和精密氣浮軸系的靶丸內表面輪廓測量基本原理，建立了靶丸內表面輪廓的白光共焦光譜測量方法。此外，搭建了靶丸內表面輪廓測量實驗裝置，建立了基于靶丸光學圖像的輔助調心方法，實現了靶丸內表面輪廓的精密測量，獲得了準確的靶丸內表面輪廓曲線; 對測量結果的可靠性進行了實驗驗證和不確定度分析，結果表明，白光共焦光譜能實現靶丸內表面低階輪廓的精密測量.光譜共焦技術可以實現對樣品的定量分析。高速光譜共焦產品使用誤區

集成于2D掃描系統上，光譜共焦位移傳感器可以提供針對負載表面形貌的2D和高度測量數據。創新的光譜共焦原理使本傳感器可以直接透過透明件工件的前后表面測量厚度，整個過程需要使用一個傳感器從工件的一個側面測量。相對于三角反射原理的激光位移傳感器，本儀器因采用同軸光，從而可以更有效地測量弧工件的厚度。高采樣頻率，小尺寸體積和卡放的數據接口，使本儀器非常容易集成至在線生產和檢測設備中，實現線上檢測。由于采用超高的采樣頻率和超高精度,光譜共焦傳感器可以對震動物件進行測量,傳感器采用的非接觸設計，避免測量過程中對震動物件造成干擾，同時可以對復雜區域進行詳細的測量和分析。南京光譜共焦性價比高企業光譜共焦技術可以實現對樣品的光學參數進行測量和分析。

采用對比測試方法，首先對基于白光共焦光譜技術的靶丸外表面輪廓測量精度進行了考核，圖5(a)是靶丸外表面輪廓的原子力顯微鏡輪廓儀和白光共焦光譜輪廓儀的測量曲線。為了便于比較，將原子力顯微鏡輪廓儀的測量數據進行了偏移。從圖中可以看出，二者的低階輪廓整體相似，局部的輪廓信息存在一定的偏差，原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測量圓周輪廓結果不一致;此外，白光共焦光譜的信噪比較原子力低，這表明白光共焦光譜適用于靶丸表面低階的輪廓誤差的測量。圖5(b)是靶丸外表面輪廓原子力顯微鏡輪廓儀測量數據和白光共焦光譜輪廓儀測量數據的功率譜曲線，從圖中可以看出，在模數低于100的功率譜范圍內，兩種方法的測量結果一致性較好，當模數大于100時，白光共焦光譜的測量數據大于原子力顯微鏡的測量數據，這也反應了白光共焦光譜儀在高頻段測量數據信噪比相對較差的特點。由于光譜傳感器Z向分辨率比原子力低一個量級，同時，受環境振動、光譜儀采樣率及樣品表面散射光等因素的影響，共焦光譜檢測數據高頻隨機噪聲可達100nm左右。

高像素傳感器設計方案取決于的光對焦水平，要求嚴格圖象室內空間NA的眼鏡片。另一方面，光譜共焦位移傳感器的屏幕分辨率通常采用光譜抗壓強度的全半寬來精確測量。高NA能夠降低半寬，提高分辨率。因而，在設計超色差攝像鏡頭時，NA應盡可能高的。高圖象室內空間NA能提高傳感器系統的燈源使用率，使待測表層輪廊以比較大視角或一定方向歪斜。可是，NA的提高也會導致球差擴大，并產生電子光學設計優化難度。傳感器檢測范圍主要是由超色差鏡片的縱向色差確定。因為光譜儀在各個波長的像素一致，假如縱向色差與波長之間存在離散系統，這類離散系統也會導致感應器在各個波長的像素或敏感度存在較大差別，危害傳感器特性。縱向色差與波長的線性相關選用線形相關系數來精確測量，必須接近1。一般有兩種方法能夠形成充足強的色差：運用玻璃的當然散射;應用衍射光學元器件(DOE)。除開生產制造難度高、成本相對高外，當能見光根據時，透射耗損也非常高。光譜共焦位移傳感器可以實現對材料的微小變形進行精確測量，對于研究材料的性能具有重要意義。

主要對光譜共焦傳感器的校準時的誤差進行研究。分別利用激光干涉儀與高精度測長機對光譜共焦傳感器進行測量，用球面測頭保證光譜共焦傳感器的光路位于測頭中心，以保證光譜共焦傳感器的在測量時的安裝精度，然后更換平面側頭，對光譜共焦傳感器進行校準。用 小二乘法對測量數據進行處理，得到測量數據的非線性誤差。結果表明：高精度測長機校準時的非線性誤差為0.030%，激光干涉儀校準時的分析線性誤差為0.038%。利用 小二乘法進行數據處理及非線性誤差的計算，減小校準時產生的同軸度誤差及光譜共焦傳感器的系統誤差，提高對光譜共焦傳感器的校準精度。光譜共焦技術的發展將有助于解決現實生產和生活中的問題。防水光譜共焦工廠

光譜共焦技術可以在醫學診斷中發揮重要作用。高速光譜共焦產品使用誤區

隨著機械加工水平的不斷發展，各種的微小的復雜工件都需要進行精密尺寸測量與輪廓測量，例如：小工件內壁溝槽尺寸、小圓倒角等的測量，對于某些精密光學元件可以進行非接觸的輪廓形貌測量，避免在接觸測量時劃傷光學表面，解決了傳統傳感器很難解決的測量難題。一些精密光學元件也需要進行非接觸的輪廓形貌測量，以避免接觸測量時劃傷光學表面。這些用傳統傳感器難以解決的測量難題，均可用光譜共焦傳感器搭建測量系統以解決。通過自行塔建的二維納米測量定位裝置，選用光譜其焦傳感器作為測頭，實現測量超精密零件的二維尺寸，滾針對渦輪盤輪廓度檢測的問題，利用光譜共焦式位移傳感器使得渦輪盤輪廓度在線檢測系統的設計能夠得以實現。與此同時，在進行幾何量的整體測量過程中，還需要采取多種不同的方式對其結構體系進行優化。從而讓幾何尺寸的測量更為準確。高速光譜共焦產品使用誤區

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