三坐標測量機是加工現場常用的高精度產品尺寸及形位公差檢測設備，其具有通用性強，精確可靠等優點。本文面向一種特殊材料異型結構零件內曲面的表面粗糙度測量要求，提出一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術的表面粗糙度集成在線測量方法，利用工業現場常用的三坐標測量機平臺執行輪廓掃描，并記錄測量掃描位置實時空間橫坐標，根據空間坐標關系，將測量掃描區域的微觀高度信息和掃描采樣點組織映射為微觀輪廓，經高斯濾波處理和評價從而得到測量對象的表面粗糙度信息。光譜共焦技術在航空航天領域可以用于航空發動機和航天器部件的精度檢測。新型光譜共焦品牌企業

光譜共焦測量技術由于其高精度、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實時性高、對被測表面狀況要求低、以及高分辨率的獨特優勢，迅速成為工業測量的熱門傳感器，在生物醫學、材料科學、半導體制造、表面工程研究、精密測量、3C電子等領域得到大量應用。本次測量場景使用的是創視智能TS-C1200光譜共焦傳感頭和CCS控制器。TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠實現0.025μm的重復精度，±0.02% of F.S.的線性精度， 30kHz的采樣速度，以及±60°的測量角度，能夠適應鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面，支持485、USB、以太網、模擬量的數據傳輸接口。朝陽區光譜共焦應用案例光譜共焦位移傳感器可以實現對材料的變形過程進行精確測量，對于研究材料的變形行為具有重要意義。

玻璃基板是液晶顯示屏必不可少的零部件之一，一張液晶顯示屏要用二張玻璃基板，各自做為底層玻璃基板和彩色濾底版應用。玻璃基板的品質對控制面板成品屏幕分辨率、透光性、厚度、凈重、可視角度等數據都是有關鍵危害。玻璃基板是組成液晶顯示屏元器件一個基本上構件。這是一種表層極為平坦的方法生產制造薄玻璃鏡片。現階段在商業上運用的玻璃基板，其厚度為0.7 mm及0.5m m，且將要邁進特薄（如0.4mm）厚度之制造。大部分，一片TFT-LCD控制面板需用到二片玻璃基板。因為玻璃基板厚度很薄，而厚度規格監管又比較嚴格，一般在0.01mm的公差，關鍵清晰地測量夾層玻璃厚度、漲縮和平面度。選用創視智能自主生產研發的高精度光譜共焦位移傳感器可以非常好的處理這一難題，一次測量就可以完成了相對高度值、厚度系數的收集，再加上與此同時選用多個感應器測量，不僅提高了高效率，并且防止觸碰測量所造成的二次損害。

光譜共焦位移傳感器原理，由光源、透鏡組、控制箱等組成。光源發出1束白光，透鏡組先將白光發散成一系列波長不同的單色光，然后經同軸聚焦在一定范圍內形成1個連續的焦點組，每個焦點的單色光波長對應1個軸向位置。當樣品處于焦點范圍內時，樣品表面將聚焦后的光反射回去。這些反射回來的光經過與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過狹縫進入控制箱中的單色儀。因此，只有焦點位置正好處于樣品表面的單色光才能聚焦在狹縫上。單色儀將該波長的光分離出來，由控制箱中的光電組件識別并 得到樣品的軸向位置。采用高數值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達到較高分辨率，滿足薄膜厚度分布測量要求。光譜共焦技術可以對生物和材料的物理、化學、生物學等多個方面進行分析。

對光譜共焦位移傳感器原理進行理解與分析得出，想得到的理想鏡頭應該具備以下性能：首先需要其產生較大的軸向色差，通常需要對鏡頭進行消色差措施，而對于此傳感器需要利用其色差進行測量，并且還需將其擴大化，其次產生軸向色差后在軸上的焦點會由于單色光球差的問題導致光譜曲線響應FWHM(Full Width at Half Maximum)變大，影響分辨率，同時為確保單色光在軸上匯聚點單一，需要對其球差進行控制， 為使此位移傳感器從原理上保證傳感器的線性度，平衡傳感器各個聚焦位置的靈敏度，應盡量使焦點位置與波長成線性關系。光譜共焦技術的研究對于相關行業的發展具有重要意義。國產光譜共焦定做價格

光譜共焦位移傳感器可以實現對材料的變形過程進行實時監測，對于研究材料的力學行為具有重要意義。新型光譜共焦品牌企業

光譜共焦測量原理通過使用多透鏡光學系統將多色白光聚焦到目標表面來工作。透鏡的排列方式是通過控制色差（像差）將白光分散成單色光。工廠校準為每個波長分配了一定的偏差（特定距離）。只有精確聚焦在目標表面或材料上的波長才能用于測量。從目標表面反射的這種光通過共焦孔徑到達光譜儀，該光譜儀檢測并處理光譜變化。漫反射表面和鏡面反射表面都可以使用共焦彩色原理進行測量。共焦測量提供納米分辨率并且幾乎與目標材料分開運行。在傳感器的測量范圍內實現了一個非常小的、恒定的光斑尺寸。微型徑向和軸向共焦版本可用于測量鉆孔或鉆孔的內表面，以及測量窄孔、小間隙和空腔。新型光譜共焦品牌企業