光譜共焦傳感器作為一種新型高精密傳感器，其測 量精密度可達 土 0.02%。開始產生在法國的，相較于光柵尺、容柵 或電感器電臺廣播、電感器差動變壓器式偏移傳感器，其在偏移測量方面的優勢更加明顯。現如今，因為光譜共焦傳感器擁有高精密、，因而，其在幾何量高精密測量層面的應用愈來愈普遍，如漫反射光及平面圖反射面的偏移測量、平整度測量、塑料薄膜及透明材料薄厚測量、外表粗糙度測量等。在偏移測量層面，自光譜共焦傳感器面世至今，它基本功能就是測量偏移。馬敬等對光譜共焦傳感器的散射目鏡進行分析，制定了散射目鏡的構造，提升了光譜共焦傳感器的各項特性；畢 超 等 利 用光譜共焦傳感器完成了對飛機發動機電機轉子葉子空隙的高精密、高效率的測量。在平整度測量層面，位恒政等對光譜共焦傳感器的檢測誤差進行分析，在其中，對其平面圖檢測誤差科學研究時，利用光譜共焦傳感器對圓平晶的平整度開展測量，獲得了平面圖檢測誤差值。光譜共焦技術具有很大的市場潛力。非接觸式光譜共焦按需定制

光譜共焦位移傳感器在金屬內壁輪廓掃描測量中具有大量的應用，以下是幾種典型應用：尺寸測量利用光譜共焦位移傳感器可以精確地測量金屬內壁的尺寸，如直徑、圓度等。通過測量內壁不同位置的直徑，可以評估內壁的形變和扭曲程度，進而評估加工質量。表面形貌測量光譜共焦位移傳感器可以高精度地測量金屬內壁的表面形貌，如粗糙度、峰谷分布等。通過對表面形貌數據進行處理和分析，可以評估加工表面的質量，進而優化加工參數和提高加工效率。

海北州光譜共焦廠家光譜共焦三維形貌儀用超大色散線性物鏡組設計是一項重要的研究內容。

隨著機械加工水平的不斷發展，各種的微小的復雜工件都需要進行精密尺寸測量與輪廓測量，例如：小工件內壁溝槽尺寸、小圓倒角等的測量，對于某些精密光學元件可以進行非接觸的輪廓形貌測量，避免在接觸測量時劃傷光學表面，解決了傳統傳感器很難解決的測量難題。一些精密光學元件也需要進行非接觸的輪廓形貌測量，以避免接觸測量時劃傷光學表面。這些用傳統傳感器難以解決的測量難題，均可用光譜共焦傳感器搭建測量系統以解決。通過自行塔建的二維納米測量定位裝置，選用光譜其焦傳感器作為測頭，實現測量超精密零件的二維尺寸，滾針對渦輪盤輪廓度檢測的問題，利用光譜共焦式位移傳感器使得渦輪盤輪廓度在線檢測系統的設計能夠得以實現。與此同時，在進行幾何量的整體測量過程中，還需要采取多種不同的方式對其結構體系進行優化。從而讓幾何尺寸的測量更為準確。

非球面中心偏差的測量手段主要包括接觸式(百分表)和非接觸式(光學傳感器)。文章基于自準直定心原理和光譜共焦位移傳感技術，對高階非球面的中心偏差進行了非接觸精密測量。光學加工人員根據測量出的校正量和位置方向對球面進行拋光，使非球面透鏡的中心偏差滿足光學系統設計的要求。由于非球面已加工到一定精度要求，因此對球面的拋光和磨削是糾正非球面透鏡中心偏差的主要方法。利用軸對稱高階非球面曲線的數學模型計算被測環D帶的旋轉角度θ，即光譜共焦位移傳感器的工作角。光譜共焦技術主要來自共焦顯微術，早期由美國學者Minsky提出。

主要是對光譜共焦傳感器的校準后的誤差進行分析。各自利用干涉儀與高精密測長機對光譜共焦傳感器開展測量，用曲面測針確保光譜共焦傳感器的激光光路坐落于測針，以確保光譜共焦傳感器在測量時安裝精密度，隨后拆換平面圖歪頭，對光譜共焦傳感器開展校準。用小二乘法對測量數據進行解決，獲得測量數據庫的離散系統誤差。結果顯示：高精密測長機校準后的離散系統誤差為 0.030%，激光器于涉儀校準時的分析線形誤差為0.038%。利用小二乘法開展數據處理方法及離散系統誤差的計算，減少校準時產生的平行度誤差及光譜共焦傳感器的系統誤差，提高對光譜共焦傳感器的校準精密度。光譜共焦位移傳感器可以實現對材料的變形過程進行實時監測，對于研究材料的力學行為具有重要意義。九江國內光譜共焦

光譜共焦位移傳感器可以實現非接觸式位移測量。非接觸式光譜共焦按需定制

在點膠工藝中生成的膠水小球目前只能通過視覺系統檢驗。在生產中必須保證點膠路線是連貫和穩定的，而通過色散共焦測量傳感器系統就能夠控制許多質檢標準中的很多參數。膠水小球相對于其他結構必須安置在正中間。在點膠起始和結束的異常的材料積聚能被檢測出來。色散共焦測量就連缺口也能被檢測到。在3C領域，對于精密點膠的要求越來越高，這就要求必須實時檢測膠水高度來實現精密點膠的閉環控制。由于膠水有透明及非透明多種材質，并且膠型輪廓較為復雜，傾斜角度大，傳統激光傳感器無法準確測量出膠水輪廓高度。創視智能探頭擁有的測量角度，可以適用于各種膠水輪廓高度測量，特別是在圓孔膠高檢測擁有的優勢。所以目前業界通用做法，就是采用超大角度光譜共焦傳感器，由于光譜共焦傳感器采用白光，白光是復合光，總會有光線可以反射回來，而且針對弧面，加大了光筆的反射夾角(45°)，所以才能完美的測出白色透明點膠的輪廓。非接觸式光譜共焦按需定制