表面粗糙度是指零件在加工過程中由于不同的加工方法、機(jī)床與刀具的精度、振動及磨損等因素在工件加工表面上形成的具有較小間距和較小峰谷的微觀水平狀況，是表面質(zhì)量的一個重要衡量指標(biāo)，關(guān)系零件的磨損、密封、潤滑、疲勞、研和等機(jī)械性能。表面粗糙度測量主要可分為接觸式測量和非接觸式測量。觸針式接觸測量容易劃傷測量表面、針尖易磨損、測量效率低、不能測復(fù)雜表面，而非接觸測量相對而言可以實現(xiàn)非接觸、高效、在線實時測量，而成為未來粗糙度測量的發(fā)展方向。目前常用的非接觸法主要有干涉法、散射法、散斑法、聚焦法等。而其中聚焦法較為簡單實用。采用光譜共焦位移傳感器，搭建了一套簡易的測量裝置，對膜式燃?xì)獗淼拈y蓋粗糙度進(jìn)行了非接觸的測量，以此來判斷閥蓋密封性合格與否，取得了一定的效果。基于光譜共焦傳感器，利用其搭建的二維納米測量定位裝置對粗糙度樣塊進(jìn)行表面粗糙度的非接觸測量，并對測量結(jié)果進(jìn)行不確定評定，得到 U95 為 13.9%。光譜共焦技術(shù)可以實現(xiàn)對樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)的觀察和分析。長寧區(qū)新品光譜共焦

光譜共焦是一種綜合了光學(xué)成像和光譜分析技術(shù)的高精度位移傳感器，在3C（計算機(jī)、通信和消費(fèi)電子）電子行業(yè)中應(yīng)用極為大量。光譜共焦傳感器可以用于智能手機(jī)內(nèi)線性馬達(dá)的位移測量，通過實時監(jiān)控和控制線性馬達(dá)的位移，可大幅提高智能手機(jī)的定位功能和相機(jī)的成像精度。也能測量手機(jī)屏的曲面角度、厚度等。平板電腦內(nèi)各種移動結(jié)構(gòu)部件的位移和振動檢測是平板電腦生產(chǎn)過程中非常重要的環(huán)節(jié)。光譜共焦傳感器可以通過對平板電腦內(nèi)的各種移動機(jī)構(gòu)、控制元件進(jìn)行精密位移、振動、形變和應(yīng)力等參數(shù)的測量，從而實現(xiàn)對其制造精度和運(yùn)行狀態(tài)的實時監(jiān)控。珠海光譜共焦技術(shù)指導(dǎo)光譜共焦技術(shù)將對未來的科學(xué)研究和產(chǎn)業(yè)發(fā)展產(chǎn)生重大影響。

在實踐中，光譜共焦位移傳感器可用于很多方面，如：利用獨(dú)特的光譜共焦測量原理，憑借一只探頭就可以實現(xiàn)對玻璃等透明材料進(jìn)行精確的單向厚度測量。光譜共焦位移傳感器有效監(jiān)控藥劑盤以及鋁塑泡罩包裝的填充量。可以使傳感器完成對被測表面的精確掃描，實現(xiàn)納米級的分辨率。光譜共焦傳感器可以單向?qū)υ噭┢康谋诤襁M(jìn)行測量:,而且對瓶壁沒有壓力。可通過設(shè)計轉(zhuǎn)向反射鏡實現(xiàn)孔壁的結(jié)構(gòu)檢測及凹槽深度的測盤。（創(chuàng)視智能已推出了90°側(cè)向出光版本探頭，可以直接進(jìn)行深孔和凹槽的測量）光譜共焦傳感器用于層和玻璃間隙測且，以確定單層玻璃之間的間隙厚度。

采用對比測試方法，首先對基于白光共焦光譜技術(shù)的靶丸外表面輪廓測量精度進(jìn)行了考核，圖5(a)是靶丸外表面輪廓的原子力顯微鏡輪廓儀和白光共焦光譜輪廓儀的測量曲線。為了便于比較，將原子力顯微鏡輪廓儀的測量數(shù)據(jù)進(jìn)行了偏移。從圖中可以看出，二者的低階輪廓整體相似，局部的輪廓信息存在一定的偏差，原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測量圓周輪廓結(jié)果不一致;此外，白光共焦光譜的信噪比較原子力低，這表明白光共焦光譜適用于靶丸表面低階的輪廓誤差的測量。圖5(b)是靶丸外表面輪廓原子力顯微鏡輪廓儀測量數(shù)據(jù)和白光共焦光譜輪廓儀測量數(shù)據(jù)的功率譜曲線，從圖中可以看出，在模數(shù)低于100的功率譜范圍內(nèi)，兩種方法的測量結(jié)果一致性較好，當(dāng)模數(shù)大于100時，白光共焦光譜的測量數(shù)據(jù)大于原子力顯微鏡的測量數(shù)據(jù)，這也反應(yīng)了白光共焦光譜儀在高頻段測量數(shù)據(jù)信噪比相對較差的特點。由于光譜傳感器Z向分辨率比原子力低一個量級，同時，受環(huán)境振動、光譜儀采樣率及樣品表面散射光等因素的影響，共焦光譜檢測數(shù)據(jù)高頻隨機(jī)噪聲可達(dá)100nm左右。光譜共焦技術(shù)可以實現(xiàn)對樣品的定量分析。

在容器玻璃的生產(chǎn)過程中，瓶子的圓度和壁厚是重要的質(zhì)量特征。因此，必須檢查這些參數(shù)。任何有缺陷的容器都會立即被拒絕并返回到玻璃熔體中。高處理速度與防止損壞瓶子的需要相結(jié)合，需要快速的非接觸式測量程序。而光譜共焦傳感器適合這項測量任務(wù)。該系統(tǒng)在兩個點上同步測量。數(shù)據(jù)通過 EtherCAT 接口實時輸出，厚度校準(zhǔn)功能允許在傳感器的整個測量范圍內(nèi)進(jìn)行精確的厚度測量。無論玻璃顏色如何，自動曝光控制都可以實現(xiàn)穩(wěn)定的測量。國內(nèi)外已經(jīng)有很多光譜共焦技術(shù)的研究成果發(fā)表。黃浦區(qū)光譜共焦性價比高

光譜共焦位移傳感器可以實時監(jiān)測材料的變化情況，對于研究材料的力學(xué)性能具有重要意義。長寧區(qū)新品光譜共焦

在塑料薄膜及透明材料薄厚測量層面，朱萬彬等闡述了光譜共焦傳感器在測量全透明平板電腦的平整度時，由全透明平板電腦的折光率不同而引進(jìn)的測量誤差并進(jìn)行補(bǔ)償；曹太騰等基千三維數(shù)據(jù) 測量的機(jī)器視覺技術(shù)，利用光譜共焦傳感器對透明材料薄厚及弧形玻璃曲面薄厚進(jìn)行檢測。在外表粗糙度測量層面，沈雪琴等闡述了不一樣 方式測量外表粗糙度時優(yōu)缺點 ，選擇了根據(jù)光譜共焦傳感器的測量方式并進(jìn)行了有關(guān)試驗，為外表粗糙度的高精密測量提供了一種新方法；林杰俊等利用光譜共焦法測量外表粗糙度樣塊的表面粗糙度，并闡述了其 測量不確定度。文中利用  小二乘法測算校準(zhǔn)誤差并進(jìn)行了離散系統(tǒng)誤差測算，減少光譜共焦傳感器校準(zhǔn)后的誤差，并在不同精密度標(biāo)準(zhǔn)器下，探尋光譜共焦傳感器的校準(zhǔn)誤差的變化情況，對今后對光譜共焦傳感器的應(yīng)用及科學(xué)研究擁有重要意義。長寧區(qū)新品光譜共焦