三坐標測量機是加工現場常用的高精度產品尺寸及形位公差檢測設備，其具有通用性強，精確可靠等優點。本文面向一種特殊材料異型結構零件內曲面的表面粗糙度測量要求，提出一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術的表面粗糙度在線測量的方法，利用工業現場常用的三坐標測量機平臺執行輪廓掃描，并記錄測量掃描位置實時空間橫坐標，根據空間坐標關系，將測量掃描區域的微觀高度信息和掃描采樣點組織映射為微觀輪廓，經高斯濾波處理得到測量對象的表面粗糙度信息。光譜共焦位移傳感器具有高靈敏度和迅速響應的特點，可以實現實時測量和監測。小型光譜共焦檢測

在實踐中，光譜共焦位移傳感器可用于很多方面，如：利用獨特的光譜共焦測量原理，憑借一只探頭就可以實現對玻璃等透明材料進行精確的單向厚度測量。透明材料上表面及下表面都會形成不同波長反射光，通過計算可得出透明材料厚度。光譜共焦位移傳感器有效監控藥劑盤以及鋁塑泡罩包裝的填充量。可以使傳感器完成對被測表面的精確掃描，實現納米級的分辨率。光譜共焦傳感器可以單向對試劑瓶的壁厚進行測量,而且對瓶壁沒有壓力。可通過設計轉向反射鏡實現孔壁的結構檢測及凹槽深度的測盤。（創視智能已推出了90°側向出光版本探頭，可以直接進行深孔和凹槽的測量）光譜共焦傳感器用于層和玻璃間隙測且，以確定單層玻璃之間的間隙厚度。小型光譜共焦檢測光譜共焦技術可以測量位移，利用返回光譜的峰值波長位置；

背景技術:光學測量與成像技術,通過光源、被測物體和探測器三點共，去除焦點以外的雜散光，得到比傳統寬場顯微鏡更高的橫向分辨率，同時由于引入圓孔探測具有了軸向深度層析能力，通過焦平面的上下平移從而得到物體的微觀三維空間結構信息。這種三維成像能力使得共焦三維顯微成像技背景技術:光學測量與成像技術,通過光源、被測物體和探測器三點共，去除焦點以外的雜散光，得到比傳統寬場顯微鏡更高的橫向分辨率，同時由于引入圓孔探測具有了軸向深度層析能力，通過焦平面的上下平移從而得到物體的微觀三維空間結構信息。這種三維成像能力使得共焦三維顯微成像技術已經廣泛應用于醫學、材料分析、工業探測及計量等各種不同的領域之中。現有的光學測量術已經廣泛應用于醫學、材料分析、工業探測及計量等各種不同的領域之中。現有的光學測量與成像技術主要激光成像，其功耗大、成本高，而且精度較差,難以勝任復雜異形表面(如曲面、弧面、凸凹溝槽等)的高精度、穩定檢測或者成像的光譜共焦成像技術比激光成像具有更高的精度，而且能夠降低功耗和成本但現有的光譜共焦檢測設備大都是靜態檢測,檢測效率低，而且難以勝任復雜異形表面。

三坐標測量機是加工現場常用的高精度產品尺寸及形位公差檢測設備，具有通用性強，精確可靠等優點。本文面向一種特殊材料異型結構零件內曲面的表面粗糙度測量要求，提出一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術的表面粗糙度集成在線測量方法，利用工業現場常用的三坐標測量機平臺執行輪廓掃描，并記錄測量掃描位置實時空間橫坐標，根據空間坐標關系，將測量掃描區域的微觀高度信息和掃描采樣點組織映射為微觀輪廓，經高斯濾波處理和評價從而得到測量對象的表面粗糙度信息。國內外已經有很多光譜共焦技術的研究成果發表；

為了滿足全天候觀察的需求,設計了波段范圍為可見光-短波紅外寬光譜共焦光學成像系統。根據寬光譜共焦原理以及光學被動式無熱化原理，設計了一個波段范圍為0.4μm~2.5μm、焦距數為50 mm，F數為2.8的光學成像系統，該系統在可見光波段在奈奎斯特頻率為30 lp/mm時傳函值高于0.7，紅外波段在奈奎斯特頻率為30 lp/mm時傳函值高于0.5，探測器選用為15μm×15μm、像元數為640 pixel×512 pixel碲鎘汞探測器。該寬光譜共焦型光學系統均采用普通玻璃材料以及易加工的球面透鏡,在溫度范圍-40℃~+60℃內對光學系統消熱差,實現了無需調焦即可滿足晝夜觀察的使用需求,可廣泛應用于安防監控、森林防火等領域。光譜共焦技術可以實現對樣品內部結構的觀察和分析；小型光譜共焦檢測

光譜共焦技術是一種基于共焦顯微鏡原理的成像和分析技術；小型光譜共焦檢測

光譜共焦技術主要包括成像、位置確認和檢測三個步驟。首先，使用顯微鏡對樣品進行成像，并將圖像傳遞給計算機處理。然后通過算法對圖像進行位置確認，以確定樣品的空間位置。之后，通過對樣品的光譜信息分析，實現對其成分的檢測。在點膠行業中，光譜共焦技術可以準確地檢測點膠的位置和尺寸，確保點膠的質量和精度。同時，通過對點膠的光譜分析，可以了解到點膠的成分和性質，從而優化點膠工藝。該技術在點膠行業中的應用有以下幾個方面：提高點膠質量，光譜共焦技術可以檢測點膠的位置和尺寸，避免漏點或點膠過多等問題。同時，由于其高精度的檢測能力，可以確保點膠的精確度和一致性。提高點膠效率，通過光譜共焦技術對點膠的檢測，可以減少后續處理的步驟和時間，從而提高生產效率。此外，該技術還可以避免因點膠不良而導致的返工和維修問題。優化點膠工藝，通過對點膠的光譜分析，可以了解其成分和性質，從而針對不同的材料和需求優化點膠工藝。例如，根據點膠的光譜特征選擇合適的膠水類型、粘合劑強度以及固化溫度等參數。重新生成小型光譜共焦檢測